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一種顯示面板及其制程的制作方法

文檔序號(hào):12862916閱讀:465來(lái)源:國(guó)知局
一種顯示面板及其制程的制作方法與工藝

【技術(shù)領(lǐng)域】

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種顯示面板及其制程。



背景技術(shù):

現(xiàn)有的顯示面板主要包括有液晶(liquidcrystaldisplay,lcd)顯示面板和oled(organiclightemittingdiode,oled)顯示面板。其中,oled顯示面板具有自發(fā)光、驅(qū)動(dòng)電壓低、發(fā)光效率高、響應(yīng)時(shí)間短、清晰度與對(duì)比度高、近180°視角、使用溫度范圍寬,可實(shí)現(xiàn)柔性顯示與大面積全色顯示等諸多優(yōu)點(diǎn),被業(yè)界公認(rèn)為是最有發(fā)展?jié)摿Φ娘@示面板。

傳統(tǒng)的技術(shù)中,如圖1所示,傳統(tǒng)的顯示面板包括相對(duì)設(shè)置陣列基板和彩膜基板,陣列基板依次包括第一基板101、第一金屬層102、第一絕緣層103、第二金屬層104、保護(hù)層105和公共電極106,彩膜基板依次包括第二基板201、黑矩陣202、色阻層203和公共電極層204,陣列基板和彩膜基板通過(guò)框架固定并形成密封空間,密封空間內(nèi)填充液晶和間隔物,間隔物包括主間隔物和副間隔物,主間隔物和副間隔物設(shè)置在彩膜基板一側(cè)。其中間隔物(ps)和黑矩陣(bm)為不同的材料,不同的制程。其中ps為透明的材料,通過(guò)灰階調(diào)掩膜版(graytonemask,gtm)或者半階調(diào)掩膜版(halftonemask,htm)的光罩工藝,做出高度不同的主間隔物(mianps)和副間隔物(subps)。

bps(blackphotospacer)是一種黑色的彈性材料,既能在邊框區(qū)起到bm的遮光作用,又能在顯示區(qū)起到ps的支撐作用。bps材料的出現(xiàn)使得把bm和ps兩道制程合在一起成為了可能。該技術(shù)能夠節(jié)省液晶屏制作一道工藝制程,從而能夠節(jié)省包括mask成本,工藝制程,儀器機(jī)臺(tái)等產(chǎn)生的成本。通過(guò)多階調(diào)掩膜版(mtm,multitonemask)的光罩技術(shù),對(duì)bps實(shí)現(xiàn)三個(gè)不同照光強(qiáng)度的曝光,顯影后得到三個(gè)不同厚度的bps圖形,即bm、mainps、subps。mtm光罩復(fù)雜且昂貴,而且因?yàn)樾枰骖櫲齻€(gè)高度,bps制程工藝難。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明的一個(gè)目的在于提供一種顯示面板,其可以降低bps制程工藝,并且較低成本。

本發(fā)明的另一個(gè)目的在于提供一種顯示面板制程,其可以降低bps制程工藝,并且較低成本。

為解決上述問(wèn)題,本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例提供了一種顯示面板,包括:

一基板層;

一第一金屬層,形成在所述基板層上,所述第一金屬層包括柵極線;

一第一絕緣層,形成在所述第一金屬層上;

一第二金屬層,形成在所述第一絕緣層上,并與所述柵極線形成薄膜晶體管;

一色阻層,形成在所述第二金屬層上,所述色阻層對(duì)應(yīng)柵極線設(shè)有通槽,所述通槽內(nèi)設(shè)有互不相連的第一色阻塊和第二色阻塊;

一保護(hù)層,形成在所述色阻層上,用于保護(hù)色阻層;

一遮光層,形成在所述保護(hù)層上,所述遮光層對(duì)應(yīng)所述通槽設(shè)置,所述遮光層包括基部、對(duì)應(yīng)第一色阻塊的第一突起、以及對(duì)應(yīng)第二色阻塊的第二突起,所述第一突起成主間隔物,所述第二突起形成副間隔物,以使所述主間隔物和副間隔與所述基部物形成段差;

所述保護(hù)層對(duì)應(yīng)第二色阻塊設(shè)置通槽,所述第二副間隔物與所述第二色阻塊直接連接,以使所述主間隔物和副間隔物形成段差。

在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的顯示面板中,所述第一色阻塊和第二色阻塊分別包括兩層色阻層,且所述兩層色阻層為不同顏色的色阻層。

在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的顯示面板中,所述第一色阻塊和第二色阻塊包括一層色阻層。

在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的顯示面板中,所述第一色阻塊和第二色阻塊包括多層色阻層。

在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的顯示面板中,所述第一色阻塊包括多層色阻層,所述第二色阻塊包括一層色阻層,以增加所述主間隔物和副間隔物之間的段差。

在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的顯示面板中,所述第一色阻塊和第二色阻塊分別連接所述通槽兩側(cè),所述第一色阻塊的寬度大于所述第二色阻塊的寬度,以使設(shè)置在所述第一色阻塊上遮光層的厚度,大于所述第二色阻塊上遮光層的厚度,增加所述主間隔物和副間隔物之間的段差。

為解決上述問(wèn)題,本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例還提供了一種顯示面板的制程,所述顯示面板的制程包括:

提供一基板層;

在所述基板層上形成第一金屬層,所述第一金屬層包括柵極線;

在所述第一金屬層上形成第一絕緣層;

在所述第二絕緣層上形成第二金屬層,所述第二金屬層與所述柵極線形成薄膜晶體管;

在所述第二金屬層上形成色阻層,將所述色阻層對(duì)應(yīng)柵極線設(shè)置通槽,在所述通槽內(nèi)設(shè)置互不相連的第一色阻塊和第二色阻塊;

在所述色阻層上形成保護(hù)層,用于保護(hù)色阻層;

在所述保護(hù)層上形成遮光層,所述遮光層對(duì)應(yīng)所述通槽設(shè)置,所述遮光層包括基部、對(duì)應(yīng)第一色阻塊的第一突起、以及對(duì)應(yīng)第二色阻塊的第二突起,所述第一突起成主間隔物,所述第二突起形成副間隔物,以使所述主間隔物和副間隔與所述基部物形成段差;

所述保護(hù)層對(duì)應(yīng)第二色阻塊設(shè)置通槽,所述第二副間隔物與所述第二色阻塊直接連接,以使所述主間隔物和副間隔物形成段差。

在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的顯示面板的制程中,所述第一色阻塊包括多層色阻層,所述第二色阻塊包括一層色阻層,以增加所述主間隔物和副間隔物之間的段差。

在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的顯示面板的制程中,設(shè)置所述第一色阻塊的寬度大于所述第二色阻塊的寬度,以使設(shè)置在所述第一色阻塊上遮光層的厚度,大于所述第二色阻塊上遮光層的厚度,增加所述主間隔物和副間隔物之間的段差。

在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的顯示面板的制程中,設(shè)置所述第一突起和第一色阻塊之間的保護(hù)層的厚度為預(yù)設(shè)厚度,以調(diào)整所述主間隔物和副間隔物的段差。

相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明的有益效果是:遮光層形成在保護(hù)層上,且對(duì)應(yīng)色阻層的通槽設(shè)置,遮光層包括基部、對(duì)應(yīng)第一色阻塊的第一突起、以及對(duì)應(yīng)第二色阻塊的第二突起,所述第一突起成主間隔物,所述第二突起形成副間隔物,以使所述主間隔物和副間隔與所述基部物形成段差;保護(hù)層對(duì)應(yīng)第二色阻塊設(shè)置通槽,第二副間隔物與所述第二色阻塊直接連接,以使主間隔物和副間隔物形成段差。主間隔物與副間隔物的段差通過(guò)保護(hù)層的厚度來(lái)實(shí)現(xiàn)。主間隔物和副間隔物與基部的段差通過(guò)色阻塊的高度差來(lái)實(shí)現(xiàn)。然后bpsmask只采用一個(gè)透過(guò)率,使用普通的mask即可,mask成本低。通過(guò)較簡(jiǎn)易的方式實(shí)現(xiàn)bps三段差,能有效地降低制程和材料開(kāi)發(fā)難度,節(jié)約光罩成本和制程成本。

為讓本發(fā)明的上述內(nèi)容能更明顯易懂,下文特舉優(yōu)選實(shí)施例,并配合所附圖式,作詳細(xì)說(shuō)明如下:

【附圖說(shuō)明】

圖1為傳統(tǒng)的顯示面板的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2為傳統(tǒng)的顯示面板的mask示意圖;

圖3為本發(fā)明實(shí)施例顯示面板的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖4為本發(fā)明實(shí)施例顯示面板的另一結(jié)構(gòu)示意圖;

圖5為本發(fā)明實(shí)施例顯示面板的俯視結(jié)構(gòu)示意圖;

圖6為本發(fā)明實(shí)施例顯示面板的又一結(jié)構(gòu)示意圖;

圖7為本發(fā)明實(shí)施例顯示面板制程的流程圖。

【具體實(shí)施方式】

這里所公開(kāi)的具體結(jié)構(gòu)和功能細(xì)節(jié)僅僅是代表性的,并且是用于描述本發(fā)明的示例性實(shí)施例的目的。但是本發(fā)明可以通過(guò)許多替換形式來(lái)具體實(shí)現(xiàn),并且不應(yīng)當(dāng)被解釋成僅僅受限于這里所闡述的實(shí)施例。

在本發(fā)明的描述中,需要理解的是,術(shù)語(yǔ)“中心”、“橫向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系,僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作,因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。此外,術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”僅用于描述目的,而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個(gè)或者更多個(gè)該特征。在本發(fā)明的描述中,除非另有說(shuō)明,“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上。另外,術(shù)語(yǔ)“包括”及其任何變形,意圖在于覆蓋不排他的包含。

在本發(fā)明的描述中,需要說(shuō)明的是,除非另有明確的規(guī)定和限定,術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解,例如,可以是固定連接,也可以是可拆卸連接,或一體地連接;可以是機(jī)械連接,也可以是電連接;可以是直接相連,也可以通過(guò)中間媒介間接相連,可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本發(fā)明中的具體含義。

這里所使用的術(shù)語(yǔ)僅僅是為了描述具體實(shí)施例而不意圖限制示例性實(shí)施例。除非上下文明確地另有所指,否則這里所使用的單數(shù)形式“一個(gè)”、“一項(xiàng)”還意圖包括復(fù)數(shù)。還應(yīng)當(dāng)理解的是,這里所使用的術(shù)語(yǔ)“包括”和/或“包含”規(guī)定所陳述的特征、整數(shù)、步驟、操作、單元和/或組件的存在,而不排除存在或添加一個(gè)或更多其他特征、整數(shù)、步驟、操作、單元、組件和/或其組合。

在圖中,結(jié)構(gòu)相似的單元是以相同標(biāo)號(hào)表示。

下面參考圖1至圖7描述本發(fā)明實(shí)施例一種顯示面板及其制程。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例,如圖1至圖7所示,圖1為傳統(tǒng)的顯示面板的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為傳統(tǒng)的顯示面板的mask示意圖;圖3為本發(fā)明實(shí)施例顯示面板的結(jié)構(gòu)示意圖;圖4為本發(fā)明實(shí)施例顯示面板的另一結(jié)構(gòu)示意圖;圖5為本發(fā)明實(shí)施例顯示面板的俯視結(jié)構(gòu)示意圖;圖6為本發(fā)明實(shí)施例顯示面板的又一結(jié)構(gòu)示意圖;圖7為本發(fā)明實(shí)施例顯示面板制程的流程圖。

如圖3、圖4和圖5所示,本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種顯示面板,該顯示面板依次包括:基板層301、第一金屬層302、第一絕緣層303、第二金屬層305、色阻層306、保護(hù)層307和遮光層310。其中:

基板層301可以為低溫多晶硅(ltps,lowtemperaturepoly-silicon)基板。也可以為玻璃基板、樹(shù)脂基板等。第一金屬層302,形成在所述基板層301上,所述第一金屬層302包括柵極線。第一絕緣層303,形成在所述第一金屬層302上。第二金屬層305,形成在所述第一絕緣層303的上,并與所述柵極線形成薄膜晶體管。第二金屬層305還包括數(shù)據(jù)線等。色阻層306,形成在所述第二金屬層305上,所述色阻層306對(duì)應(yīng)柵極線設(shè)有通槽,所述通槽內(nèi)設(shè)有互不相連的第一色阻塊3061和第二色阻塊3062。保護(hù)層307,形成在所述色阻層306上,用于保護(hù)色阻層306。

遮光層310,形成在所述保護(hù)層307上,所述遮光層310對(duì)應(yīng)所述通槽設(shè)置,遮光層310包括基部313、對(duì)應(yīng)第一色阻塊3061的第一突起311、以及對(duì)應(yīng)第二色阻塊3062的第二突起312,所述第一突起311形成主間隔物,所述第二突起312起形成副間隔物,以使所述主間隔物和副間隔與所述基部313形成段差;

所述保護(hù)層307對(duì)應(yīng)第二色阻塊3062設(shè)置通槽,所述第二副間隔物與所述第二色阻塊3062直接連接,以使所述主間隔物和副間隔物形成段差。

傳統(tǒng)的顯示面板采用bps材料把bm和ps兩道制程合在一起,如圖2所示,對(duì)bps實(shí)現(xiàn)三個(gè)不同照光強(qiáng)度的曝光,顯影后得到三個(gè)不同厚度的bps圖形。

本實(shí)施例中,主間隔物和副間隔物的段差通過(guò)保護(hù)層307的厚度來(lái)實(shí)現(xiàn)。遮光層310基部313與主間隔物和副間隔物的段差通過(guò)第一色阻塊3061和第二色阻塊3062的高度差來(lái)實(shí)現(xiàn)。然后bpsmask只采用一個(gè)透過(guò)率,使用普通的mask即可,mask成本低。通過(guò)較簡(jiǎn)易的方式實(shí)現(xiàn)bps三段差,能有效地降低制程和材料開(kāi)發(fā)難度,節(jié)約光罩成本和制程成本。

可選的,第二金屬層305上還可以設(shè)置第二保護(hù)層304。保護(hù)層307上還設(shè)有像素電極308,像素電極用于與第二金屬層電性連接。該顯示面板還包括彩膜基板,彩膜基板包括第二基板401和像素電極402。

可選的,所述第一色阻塊3061和第二色阻塊3062包括一層色阻層。一層色阻層方便制作,該色阻層根據(jù)第一色阻塊3061和第二色阻塊3062的位置設(shè)定,如色阻層包括紅色色阻區(qū)域、綠色色阻區(qū)域和藍(lán)色色阻區(qū)域,第一色阻塊3061在藍(lán)色色阻區(qū)域內(nèi)則包括一層藍(lán)色色阻層,第二色阻塊3062在紅色色阻區(qū)域則包括一層紅色色阻層。

還可選的,如圖6所示,所述第一色阻塊3061和第二色阻塊3062包括多層色阻層。多層色阻層方便提高主間隔物和副間隔物與色阻層306的基部313的段差。多層色阻層可以包括兩層色阻層,也可以包括更多層色阻層,如三層、四層等。兩層色阻層可以為同一種顏色的色阻層,也可以為不同顏色的色阻層,如紅色色阻層和藍(lán)色色阻層堆疊,能夠加大段差又能較好的遮光。

還可選的,所述第一色阻塊3061包括多層色阻層,所述第二色阻塊3062包括一層色阻層,以增加所述主間隔物和副間隔物之間的段差。

具體的,色阻層306設(shè)有通槽,保護(hù)層307對(duì)應(yīng)通槽設(shè)有凹槽,凹槽內(nèi)填充bps材料形成遮光層310,在通槽內(nèi)對(duì)應(yīng)主間隔物設(shè)有兩層色阻層或多層色阻層,在通槽內(nèi)對(duì)應(yīng)副間隔物設(shè)有一層色阻層,以使遮光層310的基部313、副間隔物和主間隔物形成三段差。遮光層310的基部313形成新的bm。如此,mask可以使用一種透過(guò)率來(lái)做bm、mainps、subps。其中mainps以兩層色阻層或多層色阻層堆疊墊起,subps以一層色阻層墊起,bm、mainps、subps均用100%光罩透過(guò)率。

在一些實(shí)施例中,所述第一色阻塊3061和第二色阻塊3062分別連接所述通槽兩側(cè),所述第一色阻塊3061的寬度大于所述第二色阻塊3062的寬度,以使設(shè)置在所述第一色阻塊3061上遮光層310的厚度,大于所述第二色阻塊3062上遮光層310的厚度,增加所述主間隔物和副間隔物之間的段差。

因?yàn)楸Wo(hù)層和遮光層的厚度會(huì)隨色阻塊表面積的變大而增大,因此,設(shè)置在第一色阻塊的保護(hù)層和遮光層的厚度,大于第二色阻塊上的保護(hù)層和遮光層的厚度,第一色阻塊3061和第二色阻塊3062的長(zhǎng)度相等,主間隔物和副間隔物的段差可以通過(guò)色阻塊的寬度的調(diào)控來(lái)實(shí)現(xiàn)。根據(jù)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),色阻寬度20um和100um,對(duì)應(yīng)的mainps的高度分別為3.2um和3.8um,從而可以使mainps和subps的段差做到0.5um-0.6um,滿足設(shè)計(jì)要求。

如圖7所示,本發(fā)明實(shí)施例還公開(kāi)了一種顯示面板的制程,該顯示面板的制程包括步驟s501-s508。

s501:提供一基板層。

s502:在所述基板層上形成第一金屬層,所述第一金屬層包括柵極線。

s503:在所述第一金屬層上形成第一絕緣層。

s504:在所述第二絕緣層上形成第二金屬層,所述第二金屬層與所述柵極線形成薄膜晶體管。

s505:在所述第二金屬層上形成色阻層,將所述色阻層對(duì)應(yīng)柵極線設(shè)置通槽,在所述通槽內(nèi)設(shè)置互不相連的第一色阻塊和第二色阻塊。

s506:在所述色阻層上形成保護(hù)層,用于保護(hù)色阻層。

s507:在所述保護(hù)層上形成遮光層,所述遮光層對(duì)應(yīng)所述通槽設(shè)置,所述遮光層對(duì)應(yīng)第一色阻塊設(shè)有第一突起并形成主間隔物,所述遮光層對(duì)應(yīng)第二色阻塊設(shè)有第二突起并起形成副間隔物,以使所述遮光層與所述主間隔物和副間隔物形成段差。

s508:所述保護(hù)層對(duì)應(yīng)第二色阻塊設(shè)置通槽,所述第二副間隔物與所述第二色阻塊直接連接,以使所述主間隔物和副間隔物形成段差。

本實(shí)施例主間隔物和副間隔物的段差通過(guò)保護(hù)層的厚度來(lái)實(shí)現(xiàn)。遮光層的基部與主間隔物和副間隔物的段差通過(guò)色阻塊的高度差來(lái)實(shí)現(xiàn)。然后bpsmask只采用一個(gè)透過(guò)率,使用普通的mask即可,mask成本低。通過(guò)較簡(jiǎn)易的方式實(shí)現(xiàn)bps三段差,能有效地降低制程和材料開(kāi)發(fā)難度,節(jié)約光罩成本和制程成本。

可選的,所述述第一色阻塊和第二色阻塊包括一層色阻層。一層色阻層方便制作,該色阻層根據(jù)第一色阻塊和第二色阻塊的位置設(shè)定,如色阻層包括紅色色阻區(qū)域、綠色色阻區(qū)域和藍(lán)色色阻區(qū)域,第一色阻塊在藍(lán)色色阻區(qū)域內(nèi)則包括一層藍(lán)色色阻層,第二色阻塊在紅色色阻區(qū)域則包括一層紅色色阻層。

可選的,所述述第一色阻塊和第二色阻塊包括多層色阻層。多層色阻層方便提高主間隔物和副間隔物與色阻層的基部的段差。多層色阻層可以包括兩層色阻層,也可以包括更多層色阻層,如三層、四層等。兩層色阻層可以為同一種顏色的色阻層,也可以為不同顏色的色阻層,如紅色色阻層和藍(lán)色色阻層堆疊,能夠加大段差又能較好的遮光。

還可選的,所述第一色阻塊包括多層色阻層,所述第二色阻塊包括一層色阻層,以增加所述主間隔物和副間隔物之間的段差。具體的,色阻層設(shè)有通槽,保護(hù)層對(duì)應(yīng)通槽設(shè)有凹槽,凹槽內(nèi)填充bps材料形成遮光層,在通槽內(nèi)對(duì)應(yīng)主間隔物設(shè)有兩層色阻層或多層色阻層,在通槽內(nèi)對(duì)應(yīng)副間隔物設(shè)有一層色阻層,以使遮光層的基部、副間隔物和主間隔物形成三段差。遮光層的基部形成新的bm。如此,mask可以使用一種透過(guò)率來(lái)做bm、mainps、subps。其中mainps以兩層色阻層或多層色阻層堆疊墊起,subps以一層色阻層墊起,bm、mainps、subps均用100%光罩透過(guò)率。

在一些實(shí)施例中,設(shè)置所述第一色阻塊的寬度大于所述第二色阻塊的寬度,以使設(shè)置在所述第一色阻塊上遮光層的厚度,大于所述第二色阻塊上遮光層的厚度,增加所述主間隔物和副間隔物之間的段差。

因?yàn)楸Wo(hù)層和遮光層的厚度會(huì)隨色阻塊表面積的變大而增大,因此,設(shè)置在第一色阻塊的保護(hù)層和遮光層的厚度,大于第二色阻塊上的保護(hù)層和遮光層的厚度,第一色阻塊3061和第二色阻塊3062的長(zhǎng)度相等,主間隔物和副間隔物的段差可以通過(guò)色阻塊的寬度的調(diào)控來(lái)實(shí)現(xiàn)。根據(jù)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),色阻塊的寬度20um和100um,對(duì)應(yīng)的mainps的高度分別為3.2um和3.8um,從而可以使mainps和subps的段差做到0.5um-0.6um,滿足設(shè)計(jì)要求。

在一些實(shí)施例中,設(shè)置所述第一突起和第一色阻塊之間的保護(hù)層的厚度為預(yù)設(shè)厚度,以調(diào)整所述主間隔物和副間隔物的段差。預(yù)設(shè)厚度根據(jù)主間隔物和副間隔物的段差的需要設(shè)置??梢酝ㄟ^(guò)設(shè)置第一突起和第一色阻塊之間的保護(hù)層的厚度以調(diào)整主間隔物和副間隔物的段差。

bps材料對(duì)ht(halftone,即半透型光罩)的穩(wěn)定性及均勻性差,采用ftm(fulltonemask,即100%透過(guò)率),提高了材料及設(shè)計(jì)的穩(wěn)定性,對(duì)材料的能力要求降低,采用雙層色阻設(shè)計(jì),底層載臺(tái)厚度增加,bpscoating厚度相應(yīng)減少,一方面可以減少材料成本,另一方面減薄bps厚度,可以提高設(shè)計(jì)可行性,也可以避免bps厚度過(guò)厚對(duì)bps制程mask識(shí)別不到的問(wèn)題,雙色色阻對(duì)于段差的調(diào)控能力也會(huì)更強(qiáng)。

雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實(shí)施例揭露如上,但上述優(yōu)選實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員,在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi),均可作各種更動(dòng)與潤(rùn)飾,因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求界定的范圍為準(zhǔn)。

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