專(zhuān)利名稱(chēng)：面板蝕刻制程的方法及其裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)一種面板蝕刻制程的方法及其裝置，尤指一種可在蝕刻制程中改善蝕刻均勻度以及增進(jìn)蝕刻效率的方法及裝置。
背景技術(shù)：
濕式蝕刻技術(shù)是利用薄膜與特定溶液間所進(jìn)行的化學(xué)反應(yīng)來(lái)去除基底上的薄膜，以便在基底上形成所需的圖案或是令該基底完成薄型化工程，此技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是制程單純、設(shè)備簡(jiǎn)單、成本低廉以及加工效率快。然如所知，蝕刻是利用化學(xué)反應(yīng)來(lái)進(jìn)行薄膜的去除或薄型化工程，而化學(xué)反應(yīng)本身并不具方向性，所以這種等向性的蝕刻特征導(dǎo)致其較難以精確操控在局部位置的蝕刻結(jié)果；另外，此種蝕刻方式由于受到蝕刻液本身黏稠度的影響，很難使整個(gè)表面均勻地蝕刻，導(dǎo)致有部分區(qū)域造成蝕刻不完全，而在其它區(qū)域則有底切(undercutting)的現(xiàn)象，嚴(yán)重影響產(chǎn)品良率；然而隨著產(chǎn)品組件的尺寸越作越小，加工精度越來(lái)越高，蝕刻加工的均勻度也就更顯重要了。
此外，近年來(lái)在消費(fèi)性電子產(chǎn)品益趨于輕薄短小的趨勢(shì)下，使這類(lèi)產(chǎn)品的基本組件～顯示面板亦被要求必須符合輕薄的要件，而一般顯示面板的輕薄化主要是通過(guò)由對(duì)其玻璃基板施行薄型化制程來(lái)達(dá)成目的；在眾多已知的薄型化制程技術(shù)中最常被采用的就是蝕刻的方式，這主要是考慮到蝕刻的薄型化制程通常具有優(yōu)良的加工效率，且制程中不易產(chǎn)生應(yīng)力造成薄玻璃板的損害，然而誠(chéng)如前段所述，蝕刻加工過(guò)程的缺失也會(huì)衍生許多不良的結(jié)果，例如蝕刻不均勻?qū)е虏ＡО弩w各部厚薄不一(尤其應(yīng)用于較大面積的玻璃基材時(shí))，使玻璃板體的機(jī)械強(qiáng)度銳減而容易遭受損害，而蝕刻不均勻亦會(huì)產(chǎn)生表面粗糙的情況，影響到液晶顯示組件的影像品質(zhì)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的是提供一種改良的面板蝕刻制程的方法及其裝置，是用以在面板上形成所需圖案及/或用來(lái)進(jìn)行面板的薄型化制程，其是將面板平置地固設(shè)于一蝕刻工作槽中，然后在槽中注入適量足以沉浸該面板的蝕刻液，并于蝕刻的進(jìn)程中使該槽體以呈向一側(cè)傾斜并作圓錐形旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，以令槽中的蝕刻液順沿槽體傾斜旋動(dòng)而流動(dòng)，使之對(duì)平置固設(shè)在槽內(nèi)的面板產(chǎn)生往復(fù)旋動(dòng)沖洗效果，以加速蝕刻效率，并通過(guò)由該流動(dòng)使蝕刻液可均勻地接觸面板表面，因而獲致均勻的蝕刻效果。
根據(jù)本發(fā)明所提供的面板蝕刻制程的方法，其進(jìn)行蝕刻制程的步驟是首先是提供一工作槽，并將欲蝕刻加工的面板平置地固設(shè)于該工作槽中，再對(duì)該工作槽中提供足以沉浸該面板的蝕刻液以進(jìn)行蝕刻，并在蝕刻進(jìn)程中，使該槽體以呈向一側(cè)傾斜并作圓錐形旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，以令槽中的蝕刻液順沿槽體傾斜旋動(dòng)而流動(dòng)；于蝕刻加工完成后，自該工作槽中分離蝕刻液后，再取出已完成蝕刻加工的面板。
又，如果為了在該面板表面形成特定圖形的目的，則可于前述蝕刻制程前，先對(duì)該面板進(jìn)行光阻制程以設(shè)定其表面蝕刻圖案。
又根據(jù)本發(fā)明，該面板蝕刻制程的裝置至少包含一可固持欲蝕刻加工面板的工作槽，一蝕刻液進(jìn)給單元，以及一可提供槽體運(yùn)動(dòng)的旋晃驅(qū)動(dòng)單元；其中，該工作槽內(nèi)設(shè)有一組固持單元可將面板平置固設(shè)于槽中，而該固持單元包含至少一組設(shè)于該工作槽一槽墻內(nèi)側(cè)面上的固定夾頭，以及至少一組設(shè)在另一對(duì)應(yīng)槽墻內(nèi)側(cè)面上的活動(dòng)夾頭，最好，于前述固定夾頭與活動(dòng)夾頭的端部均設(shè)具一V形凹槽，以便使被挾持的面板能自動(dòng)導(dǎo)正對(duì)位，同時(shí)增加挾持后的穩(wěn)固性。該蝕刻液進(jìn)給單元具有連通于該工作槽的溶液排放管道，可對(duì)該工作槽提供提供足以沉浸該面板的蝕刻液，例如是氫氟酸(HF)的稀釋溶液，并收納自該工作槽排出的蝕刻液；該旋晃驅(qū)動(dòng)單元乃具一基座可與前述工作槽底面固結(jié)，在該基座底面串接一軸桿，并于該軸桿下端樞接于一馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)臂，且該軸桿中段部位設(shè)有一限定套；利用將面板平置固設(shè)于該工作槽中，并由該蝕刻液進(jìn)給單元對(duì)該工作槽中提供足以沉浸該面板的蝕刻液，于蝕刻的進(jìn)程中，通過(guò)由該旋晃驅(qū)動(dòng)單元使該槽體以呈向一側(cè)傾斜并作圓錐形旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，使槽中的蝕刻液順沿槽體傾斜旋動(dòng)而流動(dòng)，以便使蝕刻液在被蝕刻表面上呈連續(xù)相對(duì)流動(dòng)狀態(tài)，來(lái)確保被蝕刻面各部位的蝕刻加工度均勻，并可讓蝕刻出的殘屑可迅速?gòu)脑摫砻娣蛛x，據(jù)此提升蝕刻加工的效率。
前述固持單元可將一片或一片以上的面板平置固設(shè)于該工作槽中，更進(jìn)一步，為了在同一時(shí)間內(nèi)進(jìn)行多片面板的蝕刻制程，更可在該工作槽中設(shè)置復(fù)數(shù)組彼此呈上下及(或)彼此平行并列的固持單元，且令各個(gè)固持單元間彼此保持有適當(dāng)之間隙距離，以便利蝕刻液可順利在各表面間的流動(dòng)。
此外，該蝕刻液進(jìn)給單元亦可選擇性的包含一循環(huán)過(guò)濾器，其可將自該工作槽中收取的蝕刻液進(jìn)行過(guò)濾凈化處理，據(jù)此將混雜在蝕刻液中的蝕刻殘屑和塵粒濾除凈化，并利用溶液循環(huán)的攪拌效應(yīng)促進(jìn)蝕刻液的均勻度。
本發(fā)明并非局限于以上所述形式，很明顯地，就熟習(xí)此項(xiàng)技藝人士而言，在參考上述說(shuō)明后，能有更多的改良與變化，所以，凡有在相同的創(chuàng)作精神下所作有關(guān)本發(fā)明的任何修飾或變更，皆仍應(yīng)包括在本發(fā)明意圖保護(hù)的范疇，并予陳明。而緊接于后將以一具體實(shí)施例繼續(xù)說(shuō)明，以進(jìn)一步闡明本發(fā)明的創(chuàng)新特征。


圖1所示為本發(fā)明的蝕刻裝置的結(jié)構(gòu)正面參考圖及其運(yùn)作示意；圖2為本發(fā)明的蝕刻裝置的結(jié)構(gòu)俯視參考圖；以及圖3是圖1A部的放大圖；以及圖4是圖1B部的放大圖。
主要組件符號(hào)說(shuō)明工作槽1槽墻1a、1b固定夾頭12 活動(dòng)夾頭13軸桿131V形凹槽14進(jìn)給口15 排放口16蝕刻液進(jìn)給單元2過(guò)濾凈化器21旋晃驅(qū)動(dòng)單元3 基座31軸桿32 旋轉(zhuǎn)臂33限定套34 面板5蝕刻液9具體實(shí)施方式
以下是列舉對(duì)液晶顯示面板的玻璃基板進(jìn)行薄化制程為實(shí)施例作出說(shuō)明；本發(fā)明的蝕刻裝置包含一工作槽1，在其槽內(nèi)空間設(shè)有固持單元可將欲進(jìn)行蝕刻制程的該面板5平置固設(shè)于槽中，而該固持單元具有多數(shù)個(gè)設(shè)于一槽墻1a內(nèi)側(cè)面上的固定夾頭12，以及多數(shù)個(gè)設(shè)在另一對(duì)應(yīng)槽墻1b內(nèi)側(cè)面上的活動(dòng)夾頭13，其中，如圖3所示，在該等活動(dòng)夾頭上設(shè)有可調(diào)整長(zhǎng)度的軸桿131，例如螺桿或彈簧桿，用以調(diào)整該活動(dòng)夾頭13的夾持位置，據(jù)此可將該面板5挾持固定在該固定夾頭12與活動(dòng)夾頭13之間；另外，于該等夾頭的端部均設(shè)有V形凹槽14，通過(guò)該凹槽以套接該面板5的邊緣，以便使被挾持的面板能自動(dòng)導(dǎo)正對(duì)位，同時(shí)增加挾持后的穩(wěn)固性。
從圖1中顯示，一蝕刻液進(jìn)給單元2具有管路連通于該工作槽的蝕刻液進(jìn)給口15及排放口16，并且還包含一過(guò)濾凈化器21，可在蝕刻液5循流過(guò)程中進(jìn)行過(guò)濾凈化處理，將混雜在蝕刻液中的蝕刻殘屑和塵粒濾除，據(jù)此于蝕刻制程中，該進(jìn)給單元2可經(jīng)由該進(jìn)給口15對(duì)工作槽1提供足以沉浸該面板的蝕刻液，再經(jīng)由該排放口16將工作槽內(nèi)的蝕刻液收納到該進(jìn)給單元2；又于本實(shí)施例中，為對(duì)玻璃材質(zhì)的基板進(jìn)行蝕刻制程，該蝕刻液9是采用氫氟酸(HF)濃度大于5％以上。
再如圖1所示，前述工作槽1是被安裝在一組旋晃驅(qū)動(dòng)單元3上；該旋晃驅(qū)動(dòng)單元具一基座31可與前述工作槽1底面固結(jié)，在該基座底面串接一軸桿32，并于該軸桿下端樞接于一馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)臂33，且該軸桿中段部位設(shè)有一限定套34，通過(guò)此設(shè)置，使軸桿32可受旋轉(zhuǎn)臂33驅(qū)動(dòng)及限定套34的導(dǎo)限而作出圓錐形的旋擺運(yùn)動(dòng)。
據(jù)上述組件組成，運(yùn)作時(shí)先利用該固持單元的固定夾頭12與活動(dòng)夾頭13將欲蝕刻的面板5平置固設(shè)于該工作槽1中，由該蝕刻液進(jìn)給單元2對(duì)該工作槽1中充注蝕刻液9，并注入約足以浸沒(méi)該面板5的蝕刻液容量，以對(duì)該面板進(jìn)行蝕刻加工，然后于蝕刻的進(jìn)程中，通過(guò)由該旋晃驅(qū)動(dòng)單元的運(yùn)作，使該工作槽1的槽體以呈向一側(cè)傾斜并作圓錐形旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，令槽中的蝕刻液順沿槽體傾斜旋動(dòng)而流動(dòng)，對(duì)平置固設(shè)在槽內(nèi)的面板產(chǎn)生往復(fù)旋動(dòng)沖洗效果，以加速蝕刻效率，并通過(guò)由該流動(dòng)使蝕刻液可均勻地接觸面板表面，因而獲致均勻的蝕刻效果。
權(quán)利要求
1.一種面板蝕刻制程的方法，用以在面板上形成所需圖案及/或用來(lái)進(jìn)行面板的薄型化制程，其利用蝕刻溶劑與面板之間進(jìn)行的化學(xué)反應(yīng)來(lái)去除面板上所欲去除的材料，其特征在于，進(jìn)行蝕刻制程的步驟包含提供一工作槽；將欲蝕刻加工的面板平置地固設(shè)于該工作槽中；對(duì)該工作槽中提供足以沉浸該面板的蝕刻液，進(jìn)行蝕刻；在蝕刻進(jìn)程中，使該槽體以呈向一側(cè)傾斜并作圓錐形旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，以令槽中的蝕刻液順沿槽體傾斜旋動(dòng)而流動(dòng)；以及自該工作槽中分離蝕刻液后，取出已完成蝕刻加工的面板。
2.一種面板蝕刻制程的裝置，可用以在面板上形成所需圖案及/或用來(lái)進(jìn)行面板的薄型化制程，其利用蝕刻溶劑與面板之間進(jìn)行的化學(xué)反應(yīng)來(lái)去除面板上的材料，其特征在于，該蝕刻制程的裝置至少包含一工作槽，內(nèi)設(shè)有固持單元可將面板平置固設(shè)于槽中；一蝕刻液進(jìn)給單元，具有連通于該工作槽的溶液排放管道，可對(duì)該工作槽提供足以沉浸該面板的蝕刻液，并收納自該工作槽排出的蝕刻液；以及一旋晃驅(qū)動(dòng)單元，具一基座可與前述工作槽底面固結(jié)，在該基座底面串接一軸桿，并于該軸桿下端樞接于一馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)臂，且該軸桿中段部位設(shè)有一限定套；利用將面板平置固設(shè)于該工作槽中，并由該蝕刻液進(jìn)給單元對(duì)該工作槽中提供足以沉浸該面板的蝕刻液，于蝕刻的進(jìn)程中，通過(guò)由該旋晃驅(qū)動(dòng)單元使該槽體以呈向一側(cè)傾斜并作圓錐形旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，使槽中的蝕刻液順沿槽體傾斜旋動(dòng)而流動(dòng)，據(jù)此促進(jìn)蝕刻均勻度，并提升蝕刻加工的效率。
3.如權(quán)利要求2所述的面板蝕刻制程的裝置，其特征在于，所述該工作槽中更可包含有復(fù)數(shù)組彼此呈上下及/或彼此平行并列的固持單元，且令各個(gè)固持單元間彼此保持有間隙距離。
4.如權(quán)利要求2或3所述的面板蝕刻制程的裝置，其特征在于，所述該固持單元還包含至少一組設(shè)于該工作槽一槽墻內(nèi)側(cè)面上的固定夾頭，以及至少一組設(shè)在另一對(duì)應(yīng)槽墻內(nèi)側(cè)面上的活動(dòng)夾頭。
5.如權(quán)利要求4所述的面板蝕刻制程的裝置，其特征在于，所述該固定夾頭與活動(dòng)夾頭的端部均設(shè)具一V形凹槽。
6.如權(quán)利要求2所述的面板蝕刻制程的裝置，其特征在于，所述該蝕刻液進(jìn)給單元更包含一循環(huán)過(guò)濾器，將自該工作槽中收取的蝕刻液進(jìn)行過(guò)濾凈化處理。
全文摘要
本發(fā)明一種面板蝕刻制程的方法及其裝置，是將面板平置地固設(shè)于一蝕刻工作槽中，然后在槽中注入適量足以沉浸該面板的蝕刻液，并于蝕刻的進(jìn)程中使該槽體以呈向一側(cè)傾斜并作圓錐形旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，以令槽中的蝕刻液順沿槽體傾斜旋動(dòng)而流動(dòng)，使的對(duì)平置固設(shè)在槽內(nèi)的面板產(chǎn)生往復(fù)旋動(dòng)沖洗效果，以加速蝕刻效率，并通過(guò)由該流動(dòng)使蝕刻液可均勻地接觸面板表面，因而獲致均勻的蝕刻效果。
文檔編號(hào)G02F1/13GK101051602SQ20061007265
公開(kāi)日2007年10月10日 申請(qǐng)日期2006年4月7日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月7日
發(fā)明者陳春夏 申請(qǐng)人:悅城科技股份有限公司