技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明實(shí)施例提供一種顯影裝置及光刻設(shè)備，涉及光刻工藝制備領(lǐng)域，能夠解決成膜基板上不同區(qū)域的顯影速度不同的問(wèn)題。顯影裝置包括顯影腔室，顯影腔室內(nèi)設(shè)置有用于承載成膜基板的承載板，以及與承載板相連接的驅(qū)動(dòng)部件。驅(qū)動(dòng)部件用于驅(qū)動(dòng)承載板沿傳送路線移。該承載板的承載面具有多個(gè)加熱區(qū)，承載板中在每個(gè)加熱區(qū)內(nèi)設(shè)置有一個(gè)加熱源。顯影裝置還包括與每個(gè)加熱源單獨(dú)連接的控制器，控制器用于根據(jù)調(diào)溫指令控制每個(gè)加熱源產(chǎn)生的熱量。顯影裝置用于對(duì)成膜基板進(jìn)行顯影。

技術(shù)研發(fā)人員：王朝磙;周偉;王震宇;徐加榮;吳克芳;李允偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：京東方科技集團(tuán)股份有限公司;合肥京東方顯示技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.07.03
技術(shù)公布日：2017.09.15