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掩膜板的制作方法

文檔序號(hào):11518002閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種掩膜板,掩膜板包括外框及多個(gè)子掩膜板,外框?yàn)橹锌战Y(jié)構(gòu),承載子掩膜板,多個(gè)子掩膜板沿第一方向延伸且沿第二方向排列,子掩膜板的兩端設(shè)置在外框相對(duì)的兩邊上,子掩膜板包括第一本體、第一遮擋部及第二遮擋部,第一本體包括第一、第二、第三及第四表面,第一與第二表面相對(duì)設(shè)置,第三與第四表面相對(duì)設(shè)置,第三表面分別與第一、第二表面相交,第四表面分別與第一、第二表面相交,第一遮擋部自第三表面延伸出來,厚度小于第一本體的厚度,第二遮擋部自第四表面延伸出來,厚度小于第一本體的厚度,子掩膜板的第一遮擋部用于和相鄰的子掩膜板的第二遮擋部相互配合以遮擋相鄰的兩個(gè)子掩膜板之間的間隙。

技術(shù)研發(fā)人員:宋春來
受保護(hù)的技術(shù)使用者:武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.06.30
技術(shù)公布日:2017.08.18
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