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一種基于石墨烯硅波導(dǎo)的可調(diào)諧光濾波器的制作方法

文檔序號:11275350閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種基于石墨烯硅波導(dǎo)的可調(diào)諧光濾波器,所述可調(diào)諧光濾波器包括基底,所述基底層上設(shè)置有條形光波導(dǎo)、第一包層、第二包層,條形光波導(dǎo)包括第一條形光波導(dǎo)和第二條形光波導(dǎo)。第一條形光波導(dǎo)與第二條形光波導(dǎo)之間依次設(shè)有第一隔離介質(zhì)層、第一石墨烯層、第二隔離介質(zhì)層、第二石墨烯層、第三隔離介質(zhì)層。第一石墨烯層和第二石墨烯層上均設(shè)有電極。第一石墨烯層與第二石墨烯層均為叉指結(jié)構(gòu),叉指結(jié)構(gòu)的叉指等間距周期設(shè)置。本方案能夠改善目前光濾波器可調(diào)諧波范圍窄,調(diào)諧速率慢,結(jié)構(gòu)尺寸較大不便于集成等問題,基于石墨烯的電可調(diào)特性,利用外加電壓實(shí)現(xiàn)波導(dǎo)傳輸?shù)撵`活控制。

技術(shù)研發(fā)人員:陸榮國;劉天良;楊忠華;田朝輝;陳德軍;劉爽;劉永
受保護(hù)的技術(shù)使用者:電子科技大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日:2017.06.12
技術(shù)公布日:2017.09.26
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