技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種光刻膠管路設(shè)計，包括：光刻膠容器，放置于一溫度控制室內(nèi)；光刻膠容器包括一進(jìn)氣口和一出膠口，進(jìn)氣口用于通入氣體將光刻膠容器內(nèi)的光刻膠從出膠口壓出；第一管道，依次連接光刻膠容器的出膠口、一預(yù)存容器、一過濾器、一近端容器、一泵以及一噴頭；第一管道外包裹有第二管道，第二管道用于通入加熱介質(zhì)對第一管道進(jìn)行加熱；上述技術(shù)方案的有益效果是：能夠在不影響光刻膠的噴涂的同時提高光刻膠的使用有效期。

技術(shù)研發(fā)人員：朱治國;孫國慶
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海華力微電子有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.25
技術(shù)公布日：2017.09.01