技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種光罩卡夾清潔裝置及曝光機，涉及液晶顯示器技術(shù)領(lǐng)域，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的清潔效率低以及清潔程度不夠徹底的技術(shù)問題。本發(fā)明的光罩卡夾清潔裝置，包括吸附部件，該吸附部件固定于曝光機上用于容納光罩卡夾的光罩交換腔處，當(dāng)執(zhí)行上機或下機動作時，吸附部件能夠迅速地將光罩卡夾上的異物吸走，因此通過該吸附部件可提高清潔的效率；此外，對于光罩卡夾從光罩交換腔的開口處運動到完全進(jìn)入光罩交換腔中的這一過程而言，隨著光罩卡夾的運動，吸附部件進(jìn)行掃描式吸附，因此能夠?qū)庹挚▕A進(jìn)行徹底的清潔，使產(chǎn)品的品質(zhì)得到了保障。

技術(shù)研發(fā)人員：羅善高
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳市華星光電技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.22
技術(shù)公布日：2017.07.14