本發(fā)明涉及液晶顯示器技術(shù)領(lǐng)域，特別地涉及一種光罩卡夾清潔裝置及曝光機(jī)。

背景技術(shù)：

目前，在薄膜晶體管液晶顯示屏(tft-lcd)行業(yè)的曝光(photo)制程中，需要使用曝光機(jī)，通過光罩進(jìn)行電路圖形定義，在此過程中，當(dāng)需要進(jìn)行制程切換時(shí)，需要對曝光機(jī)的光罩進(jìn)行上下機(jī)動作(約1天/次)，即：將暫不使用的光罩從機(jī)臺加載(load)出來并裝入光罩專用盒子內(nèi)封存，然后將需要使用的光罩從光罩盒子中取出，放置在光罩卡夾中，然后加載進(jìn)入機(jī)臺內(nèi)。

由于光罩進(jìn)行上下機(jī)操作時(shí)，光罩是放置在光罩卡夾中進(jìn)入機(jī)臺，而卡夾上不可避免的會攜帶一些異物(partcile)，這些異物會隨著光罩卡夾進(jìn)入機(jī)臺內(nèi)部，這些異物經(jīng)過長期的積累將會對產(chǎn)品品質(zhì)帶來影響。

現(xiàn)有的清潔手段主要是在光罩放置入光罩卡夾內(nèi)、進(jìn)入機(jī)臺前，操作人員手動使用酒精無塵布對光罩卡夾表面的異物進(jìn)行清潔，但是手動清潔效率低下，大約需要30分鐘才能完成清潔工作；而且由于清潔工作是在曝光機(jī)外進(jìn)行，因此忽視了光罩卡夾進(jìn)入曝光機(jī)的這一過程的清潔，即清潔的不夠徹底。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供一種光罩卡夾清潔裝置及曝光機(jī)，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的清潔效率低以及清潔程度不夠徹底的技術(shù)問題。

本發(fā)明提供一種光罩卡夾清潔裝置，包括吸附部件，所述吸附部件固定于光罩交換腔的開口處，所述光罩交換腔用于容納光罩卡夾；

所述吸附部件的吸附面朝向所述光罩卡夾的表面設(shè)置。

在一個(gè)實(shí)施方式中，所述吸附部件包括：

用于吸附所述光罩卡夾上異物的真空吸附管；以及

用于為所述真空吸附管提供真空吸附動力的真空氣體供應(yīng)單元；

所述真空吸附管面向所述光罩卡夾的吸附面上分布有多個(gè)吸附單元。

在一個(gè)實(shí)施方式中，所述真空吸附管包括：

沿所述光罩卡夾的高度方向上從所述光罩卡夾的上表面延伸至所述光罩卡夾的下表面的側(cè)壁吸附管；以及

沿所述光罩卡夾的寬度方向從所述光罩卡夾的一側(cè)延伸至所述光罩卡夾的另一側(cè)的頂面吸附管；

其中，所述側(cè)壁吸附管的軸線以及所述頂面吸附管的軸線均與所述光罩卡夾的移動方向垂直。

在一個(gè)實(shí)施方式中，所述側(cè)壁吸附管與所述光罩卡夾的側(cè)壁之間的距離小于或等于25mm；所述頂面吸附管與所述光罩卡夾的上表面之間的距離小于或等于25mm。

在一個(gè)實(shí)施方式中，所述真空吸附管上設(shè)置有用于與所述真空氣體供應(yīng)單元相連通的真空接口，所述真空接口上設(shè)置有控制開關(guān)。

在一個(gè)實(shí)施方式中，還包括傳感器，所述傳感器包括位于所述光罩卡夾的下方的光罩感應(yīng)傳感器以及位于所述光罩交換腔內(nèi)側(cè)的限位傳感器；

所述控制開關(guān)與所述傳感器電連接。

在一個(gè)實(shí)施方式中，所述吸附單元為吸附孔或真空吸盤。

在一個(gè)實(shí)施方式中，所述吸附孔為圓孔、方孔或圓錐孔。

在一個(gè)實(shí)施方式中，所述吸附孔等間距分布。

本發(fā)明還提供一種曝光機(jī)，包括上述權(quán)的光罩卡夾清潔裝置以及光罩交換移動槽，所述光罩卡夾設(shè)置于所述光罩交換移動槽中，所述光罩交換移動槽滑動地設(shè)置在所述光罩交換腔中。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于：

(1)由于吸附部件位于光罩交換腔處，因此當(dāng)執(zhí)行上機(jī)或下機(jī)動作時(shí)，吸附部件能夠迅速地將光罩卡夾上的異物吸走，因此通過該吸附部件可提高清潔的效率；此外，對于光罩卡夾從光罩交換腔的開口處運(yùn)動到完全進(jìn)入光罩交換腔中的這一過程而言，隨著光罩卡夾的運(yùn)動，吸附部件進(jìn)行掃描式吸附，因此能夠?qū)庹挚▕A進(jìn)行徹底的清潔，使產(chǎn)品的品質(zhì)得到了保障。

(2)通過光罩感應(yīng)傳感器以及限位傳感器能夠分別感應(yīng)是否有光罩卡夾以及光罩卡夾是否移動到位，從而控制真空接口上的控制開關(guān)打開或關(guān)閉，即可實(shí)現(xiàn)自動清潔功能。

附圖說明

在下文中將基于實(shí)施例并參考附圖來對本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)的描述。

圖1為本發(fā)明的實(shí)施例中光罩卡夾清潔裝置的正視圖；

圖2為本發(fā)明的實(shí)施例中光罩卡夾清潔裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為圖1所示的真空吸附管的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記：

1-吸附部件；2-曝光機(jī)；3-光罩卡夾；

4-吸附單元；5-傳感器；6-光罩交換移動槽；

11-真空吸附管；12-側(cè)壁吸附管；13-頂面吸附管；

14-真空接口；21-光罩交換腔；41-吸附孔；

51-光罩感應(yīng)傳感器；52-限位傳感器。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。

如圖1所示，本發(fā)明提供了一種光罩卡夾清潔裝置，其包括吸附部件1，吸附部件1固定于光罩交換腔21的開口處，光罩交換腔21用于容納光罩卡夾3，吸附部件1的吸附面朝向光罩卡夾3的表面設(shè)置。

具體地，光罩交換腔21設(shè)置于曝光機(jī)2的內(nèi)部。光罩交換腔21上設(shè)置有使光罩卡夾3進(jìn)入或退出的開口，吸附部件1位于該開口處，當(dāng)執(zhí)行下機(jī)操作時(shí)，光罩卡夾3從光罩交換腔21的內(nèi)部向外部運(yùn)動，在運(yùn)動過程中，吸附部件1會將光罩卡夾3上的異物吸走；當(dāng)執(zhí)行上機(jī)操作時(shí)，光罩卡夾3從光罩交換腔21的外部向內(nèi)部運(yùn)動，在運(yùn)動的過程中，吸附部件1同樣地將光罩卡夾3上的異物吸走，因此該吸附部件1不僅提高了清潔的效率，而且對于光罩卡夾3從光罩交換腔21的開口處運(yùn)動到完全進(jìn)入光罩交換腔21中的這一過程而言，隨著光罩卡夾3的運(yùn)動，吸附部件1同時(shí)進(jìn)行掃描式吸附，因此能夠?qū)庹挚▕A3進(jìn)行徹底的清潔，使產(chǎn)品的品質(zhì)得到了保障。

在一個(gè)實(shí)施例中，吸附部件1包括：用于吸附光罩卡夾3上異物的真空吸附管11；以及用于為真空吸附管11提供真空吸附動力的真空氣體供應(yīng)單元；真空吸附管11面向光罩卡夾3的吸附面上分布有多個(gè)吸附單元4。

其中，真空氣體供應(yīng)單元可以是曝光機(jī)上的真空源。

此外，本實(shí)施例中，吸附部件1采用真空吸附方式，在實(shí)際應(yīng)用中，吸附部件1也可以采用其他方式，例如：吸附部件1采用化學(xué)吸附方式等。

可選地，吸附單元4為真空吸盤。

在一個(gè)實(shí)施例中，真空吸附管11包括：沿光罩卡夾3的高度方向，且從光罩卡夾3的上表面延伸至光罩卡夾3的下表面的側(cè)壁吸附管12；以及沿光罩卡夾3的寬度方向，且從光罩卡夾3的一側(cè)延伸至光罩卡夾3的另一側(cè)的頂面吸附管13(如圖2所示)。

其中，側(cè)壁吸附管12的軸線以及頂面吸附管13的軸線均與光罩卡夾3的移動方向垂直。

由于光罩卡夾3在存放的時(shí)候主要是光罩卡夾3的兩側(cè)和存放柜產(chǎn)生摩擦，因此異物主要集中在光罩卡夾3的左右兩側(cè)以及上表面上，因此通過頂面吸附管13可吸附位于光罩卡夾3上表面的異物，通過側(cè)壁吸附管12可吸附位于光罩卡夾3左側(cè)壁及右側(cè)壁上的異物，從而完成對光罩卡夾3的清潔工作。

在本實(shí)施例中，側(cè)壁吸附管13與光罩卡夾3的左側(cè)壁以及右側(cè)壁之間的距離d1均小于或等于25mm；頂面吸附管14與光罩卡夾3的上表面之間的距離d2小于或等于25mm。

優(yōu)選地，5mm≤d1≤10mm，且d2＝d1。以便對光罩卡夾3上的異物進(jìn)行更好的吸附，防止由于距離過大而導(dǎo)致無法吸附。

在一個(gè)實(shí)施例中，真空吸附管11上設(shè)置有用于與真空氣體供應(yīng)單元相連通的真空接口14，真空接口14上設(shè)置有控制開關(guān)。

如圖1所示，真空接口14位于頂面吸附管13的上方，真空接口14與曝光機(jī)2的真空源相連，其中，控制開關(guān)用于控制真空吸附管11的通斷。

在一個(gè)實(shí)施例中，本發(fā)明提供的光罩卡夾清潔裝置還包括傳感器5，傳感器5包括位于光罩卡夾3的下方的光罩感應(yīng)傳感器51以及位于光罩交換腔21內(nèi)側(cè)的限位傳感器52；控制開關(guān)與傳感器51電連接。

具體地，光罩感應(yīng)傳感器51用于感應(yīng)光罩交換腔21內(nèi)是否有光罩卡夾3，限位傳感器52用于感應(yīng)光罩卡夾3是否移動到位。

其中，光罩感應(yīng)傳感器51可以采用光電傳感器。

在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，吸附單元4為吸附孔41。吸附孔41的開孔方向朝向光罩卡夾3的表面。

具體地，吸附孔41為圓孔、方孔或圓錐孔。如圖3所示，本實(shí)施例中吸附孔41為圓錐孔，即朝向光罩卡夾3的一端孔徑大、遠(yuǎn)離光罩卡夾3的一端孔徑小，這樣的結(jié)構(gòu)能夠提高吸附孔41的吸附力。

進(jìn)一步地，吸附孔41等間距分布。

一種曝光機(jī)，包括上述的光罩卡夾清潔裝置以及光罩交換移動槽6，光罩卡夾3設(shè)置于光罩交換移動槽6中，光罩交換移動槽6滑動地設(shè)置在光罩交換腔21中。

上述的限位傳感器52用于感應(yīng)光罩交換槽6是否位于原點(diǎn)位置，當(dāng)光罩交換槽6的尾端與光罩交換腔21的最內(nèi)端接觸時(shí)，即為光罩交換槽6的原點(diǎn)位置。

下面對本發(fā)明光罩卡夾清潔裝置的具體操作方法進(jìn)行說明。

第一步，進(jìn)行下機(jī)動作。將需要下機(jī)的光罩加載到光罩交換槽6中，并將光罩交換槽6從光罩交換腔21中拉出；此時(shí)光罩感應(yīng)傳感器51感應(yīng)到光罩存在，且限位傳感器52未感應(yīng)到光照交換槽6處于原點(diǎn)，并將信號發(fā)送到控制開關(guān)，控制開關(guān)打開，真空吸附管11開始吸附工作，對光罩卡夾3的表面進(jìn)行清潔。

在此過程中，可反復(fù)推拉光罩交換槽6，使真空吸附管11對光罩卡夾3的表面進(jìn)行多次掃描式吸附，以達(dá)到更好的吸附效果。

第二步，將下機(jī)光罩卡夾3從光罩交換槽6中取出，此時(shí)光罩感應(yīng)器51未感應(yīng)到光罩存在，并將信號發(fā)送到控制開關(guān)，控制開關(guān)關(guān)閉，真空吸附管11停止吸附工作，完成下機(jī)動作。

第三步，進(jìn)行上機(jī)動作。將上級光罩卡夾3放置于光罩交換槽6中，此時(shí)光罩感應(yīng)傳感器51感應(yīng)到光罩存在，且限位傳感器52未感應(yīng)到光照交換槽6處于原點(diǎn)，并將信號發(fā)送到控制開關(guān)，控制開關(guān)打開，真空吸附管11開始吸附工作，當(dāng)光罩卡夾3隨著光罩交換槽6推入光罩交換腔21的過程中，真空吸附管11對光罩卡夾3的兩個(gè)側(cè)面及上表面的異物進(jìn)行吸附。

同樣地，在此過程中，可反復(fù)推拉光罩交換槽6，使真空吸附管11對光罩卡夾3的表面進(jìn)行多次掃描式吸附，以達(dá)到更好的吸附效果。

第四步，當(dāng)光罩卡夾3隨著光罩交換槽6進(jìn)入光罩交換腔21完畢時(shí)，即光罩交換槽6的尾端與光罩交換腔21的最內(nèi)端接觸，此時(shí)限位傳感器52感應(yīng)到光照交換槽6處于原點(diǎn)，并將信號發(fā)送到控制開關(guān)，控制開關(guān)關(guān)閉，真空吸附管11停止吸附工作，完成上機(jī)動作。

雖然已經(jīng)參考優(yōu)選實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行了描述，但在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下，可以對其進(jìn)行各種改進(jìn)并且可以用等效物替換其中的部件。尤其是，只要不存在結(jié)構(gòu)沖突，各個(gè)實(shí)施例中所提到的各項(xiàng)技術(shù)特征均可以任意方式組合起來。本發(fā)明并不局限于文中公開的特定實(shí)施例，而是包括落入權(quán)利要求的范圍內(nèi)的所有技術(shù)方案。