技術(shù)編號(hào):11728532
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及液晶顯示器技術(shù)領(lǐng)域,特別地涉及一種光罩卡夾清潔裝置及曝光機(jī)。背景技術(shù)目前,在薄膜晶體管液晶顯示屏(TFT-LCD)行業(yè)的曝光(Photo)制程中,需要使用曝光機(jī),通過(guò)光罩進(jìn)行電路圖形定義,在此過(guò)程中,當(dāng)需要進(jìn)行制程切換時(shí),需要對(duì)曝光機(jī)的光罩進(jìn)行上下機(jī)動(dòng)作(約1天/次),即:將暫不使用的光罩從機(jī)臺(tái)加載(Load)出來(lái)并裝入光罩專用盒子內(nèi)封存,然后將需要使用的光罩從光罩盒子中取出,放置在光罩卡夾中,然后加載進(jìn)入機(jī)臺(tái)內(nèi)。由于光罩進(jìn)行上下機(jī)操作時(shí),光罩是放置在光罩卡夾中進(jìn)入機(jī)臺(tái),而卡夾上不可避...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。