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石墨烯電極及其制備方法、顯示面板與流程

文檔序號(hào):12660718閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種石墨烯電極的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:

在生長(zhǎng)基底上生長(zhǎng)石墨烯;

在石墨烯表面沉積犧牲層薄膜,構(gòu)成石墨烯-犧牲層薄膜;

將石墨烯-犧牲層薄膜從生長(zhǎng)基底轉(zhuǎn)移到目標(biāo)基板上;

對(duì)石墨烯-犧牲層薄膜進(jìn)行圖案化處理并去除所述犧牲層,形成圖案化的石墨烯電極。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯電極的制備方法,其特征在于:所述對(duì)石墨烯-犧牲層薄膜進(jìn)行圖案化處理并去除所述犧牲層,形成圖案化的石墨烯電極過(guò)程進(jìn)一步包括以下步驟:

在犧牲層上涂布光刻膠并依序進(jìn)行曝光、光刻膠顯影;

對(duì)犧牲層薄膜進(jìn)行蝕刻;

剝離所述光刻膠;

對(duì)石墨烯進(jìn)行干刻;

濕刻所述犧牲層薄膜以去除犧牲層。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石墨烯電極的制備方法,其特征在于,當(dāng)對(duì)犧牲層進(jìn)行蝕刻的方式為濕刻時(shí),所采用的所述刻蝕液為鹽酸、磷酸及其他中強(qiáng)酸中的一種或多種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯電極的制備方法,其特征在于,所述犧牲層薄膜的材料為氧化鋁薄膜、氧化鎂薄膜或其他金屬氧化物薄膜。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯電極的制備方法,其特征在于,所述犧牲層薄膜為非晶態(tài)結(jié)構(gòu),其厚度為5~100nm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯電極的制備方法,其特征在于,所述在石墨烯表面沉積犧牲層薄膜,構(gòu)成石墨烯-犧牲層薄膜進(jìn)一步包括以下步驟:該沉積過(guò)程在溫度小于400℃的沉積反應(yīng)室內(nèi)進(jìn)行,

(1)在沉積反應(yīng)室內(nèi)完成單體三甲基鋁在石墨烯表面的化學(xué)吸附反應(yīng),其中,反應(yīng)時(shí)間為2~6秒;

(2)通入氬氣吹掃多余單體5~20秒;

(3)通入氧化性氣體進(jìn)行氧化反應(yīng)形成氧化鋁薄膜,通氣時(shí)間5~10s;

(4)繼續(xù)通入氬氣吹掃氧化性氣體和反應(yīng)副產(chǎn)物,通氣時(shí)間5~20秒;

(5)若經(jīng)前四步獲得的氧化鋁薄膜的厚度小于預(yù)定厚度,則循環(huán)重復(fù)執(zhí)行上述步驟(1)~(4),直到氧化鋁薄膜的厚度達(dá)到預(yù)定厚度范圍。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯電極的制備方法,其特征在于,所述將石墨烯-犧牲層薄膜從生長(zhǎng)基底轉(zhuǎn)移到目標(biāo)基板上步驟中采用的轉(zhuǎn)移工藝為PMMA法、膠帶釋放法、卷對(duì)平法中的一種。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯電極的制備方法,其特征在于,所述目標(biāo)基板采用玻璃基板、玻璃/PI、玻璃/PET及其他玻璃/柔性襯底復(fù)合基板中的一種。

9.一種石墨烯電極,其特征在于,該石墨烯電極由權(quán)利要求1至8任意一項(xiàng)所述的制備方法制得。

10.一種顯示面板,其特征在于,其包括權(quán)利要求9所述的石墨烯電極。

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