技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種對(duì)準(zhǔn)標(biāo)定一體系統(tǒng)，屬于直寫曝光機(jī)技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的一種對(duì)準(zhǔn)標(biāo)定一體系統(tǒng)，系統(tǒng)包括CCD相機(jī)和光路組件，所述光路組件包括3組棱鏡組件，每組棱鏡組件包括2個(gè)相對(duì)設(shè)置的三棱鏡，棱鏡上設(shè)置有半透半反膜和全反射膜；解決了現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)準(zhǔn)定位不準(zhǔn)的問題，提高對(duì)準(zhǔn)和標(biāo)定的工作效率，將對(duì)準(zhǔn)光路和標(biāo)定光路整合在一起，精簡了設(shè)備。

技術(shù)研發(fā)人員：楊文;趙華
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無錫影速半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.05
技術(shù)公布日：2017.07.04