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感光性樹脂組合物、光固化圖案和形成光固化圖案的方法與流程

文檔序號:12800192閱讀:628來源:國知局

本發(fā)明涉及一種可低溫固化的感光性樹脂組合物,尤其涉及一種不需添加助劑及固化劑,經(jīng)過低溫固化即可具有優(yōu)異的玻璃和金屬附著力、優(yōu)異的耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿性、良好的耐水煮性及高硬度的感光性樹脂組合物,并具有感度快、分辨率高及高溫放氣少的特點(diǎn),可同時(shí)滿足于高溫固化需求。

技術(shù)背景

隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,在顯示器領(lǐng)域中,感光性樹脂組合物以其優(yōu)異的絕緣性、耐化性、耐熱性和粘附性得到了廣泛使用,取代了傳統(tǒng)的球狀間隔物。感光性樹脂組合物將材料涂覆在目標(biāo)基材上,經(jīng)過預(yù)烘、曝光、顯影及后熱固化的光刻工藝步驟,即可獲得期望的厚度和圖案的光固化絕緣層。

感光性樹脂組合物圖案的形成是利用可吸收特定波長的紫外光產(chǎn)生自由基或陽離子等光引發(fā)劑,使樹脂及單體中的不飽和雙鍵發(fā)生交聯(lián)形成網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),而未經(jīng)紫外光照射的區(qū)域,由于感光性樹脂中酸基的存在,使其可溶于顯影液中,從而得到所需要的圖案。特別地,根據(jù)未曝光的感光性樹脂組合物在顯影液中的溶解性變化,得到不同分辨率的圖案。

近年來,由于觸摸面板的飛快發(fā)展,對圖案的要求越來越精細(xì),對材料的要求也越來越柔性化;另一方面,由于一些特殊的顯示元件并不能承受高溫烘烤,要求在溫和的工藝條件下完成。而傳統(tǒng)的感光性樹脂組合物為獲得優(yōu)異的耐化性和粘附性,一般需要經(jīng)過200℃以上的高溫烘烤。這樣不僅容易使得到的光固化圖案容易老化黃變,而且限制了感光性樹脂組合物在耐熱性差的顯示元件方面的使用。而若將傳統(tǒng)感光性樹脂組合物用于低溫固化,則會出現(xiàn)固化不完全、耐化性差、附著力差和硬度低等問題。

中國專利申請第201511030970.7號公開了一種可低溫固化的負(fù)型感光性樹脂組合物,該負(fù)型感光性樹脂組合物通過具有環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基的堿可溶性樹脂和具有環(huán)氧基的酚醛清漆低聚物系固化劑及含三官能以上的多官能硫醇化合物,賦予其低溫固化條件下?lián)碛辛己媚突瘜W(xué)性的圖案,但并未提到光固化圖案的耐水煮性、硬度和高溫放氣性。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是:克服現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷,提供一種感光性組合物,該組合物經(jīng)過光刻工藝后可得到所期望的圖案,且在低溫固化條件下不需添加助劑及固化劑即可具有優(yōu)異的玻璃和金屬附著力、優(yōu)異的耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿性、良好的耐水煮性及高硬度光固化膜層,并具有感度快、分辨率高及高溫放氣少的特點(diǎn)。

為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提出以下技術(shù)方案:一種感光性樹脂組合物,由按照質(zhì)量份數(shù)計(jì)算的下列組分組成:

所述堿溶性氨基丙烯酸聚合物a由氨基樹脂改性,所述堿溶性氨基丙烯酸聚合物a的結(jié)構(gòu)如下式1所示:

式中r1為烷基,r2為丙烯酸酯基,r3為帶酸基結(jié)構(gòu)的烷基或烷烯基,其中酸基為-cooh、-so3h或-cosh,n為大于零的整數(shù);

所述堿溶性氨基丙烯酸聚合物a的酸值為40~180(kohmg/g),所述堿溶性氨基丙烯酸聚合物a的分子量在2000~15000之間;

所述多官能團(tuán)不飽和聚氨酯丙烯酸酯聚合物b,為脂肪族類多官能團(tuán)不飽和聚氨酯丙烯酸酯聚合物,分子量在1000~10000之間;

所述多官能團(tuán)不飽和聚氨酯丙烯酸酯聚合物b是下列物質(zhì)中的一種或多種的混合物:可取自江蘇無錫維都斯電子材料有限公司的wds-1930i、長興的dr-u381、dr-u384等,u-sunny公司的trust-7133、trust-7130、trust-7128、國精化學(xué)的gu-4175x、gu-3370a等,優(yōu)選wds-1930i、dr-u381、trust-7133、trust-7128;

所述丙烯酸酯系單體c是下列物質(zhì)中的一種或者多種的混合物:單官能單體、兩官能或多官能單體;其中單官能單體包括:異葵基(甲基)丙烯酸酯、異十三烷基丙烯酸酯、四氫化糠基甲基丙烯酸酯、月桂酸甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、異冰片基(甲基)丙烯酸酯、甲基丙烯酸環(huán)己酯、雙環(huán)戊烷基甲基丙烯酸酯;其中兩官能單體包括:3-羥-2,2-二甲基丙基-3-羥-2,2-二甲基丙酯二丙烯酸酯、三環(huán)葵烷二甲醇二丙稀酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、丙氧化新戊二醇二丙烯酸酯、乙氧化雙酚a二丙烯酸酯、2-丁基-2-乙基-1,3-丙二醇二丙烯酸酯、乙氧化雙酚a二甲基二丙烯酸酯、三丙二醇二丙烯酸酯;其中多官能單體包括:三(2-羥乙基)異氰脲酸三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、乙氧化三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙氧化甘油三丙烯酸酯、乙氧化季戊四醇四丙烯酸酯、二-三羥甲基丙烷四丙烯酸酯、丙氧化季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯;

光引發(fā)劑d是下列物質(zhì)中的一種或者多種的混合物:裂解型自由基光引發(fā)劑、奪氫型自由基光引發(fā)劑,其中裂解型自由基光引發(fā)劑包括:苯偶姻及其衍生物、α,α-二甲氧基-α-苯基苯乙酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮、1-羥基環(huán)己基苯基甲酮、2-羥基-4-(2-羥乙氧基)-2-甲基苯丙酮、2-甲基-1-(4-甲硫基苯基)-2-嗎啉基-1-丙酮、2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉苯基)丁酮、2,4,6-三甲基苯甲?;?乙氧基-苯基氧化膦、2,4,6-三甲基苯甲酰基-苯基氧化膦、雙(2,4,6-三甲基苯甲?;?苯基氧化膦;其中奪氫型自由基光引發(fā)劑包括:二苯甲酮、4,4’-雙(二甲氨基)二苯甲酮、2,4,6-三甲基二苯甲酮、4,4’-雙(二乙氨基)二苯甲酮、異丙基硫雜蒽、2,4-二乙基硫雜蒽酮。

上述技術(shù)方案的進(jìn)一步限定在于:所述堿溶性氨基丙烯酸聚合物a的酸值為70~150(kohmg/g)。

上述技術(shù)方案的進(jìn)一步限定在于:所述多官能團(tuán)不飽和聚氨酯丙烯酸酯聚合物b的官能團(tuán)數(shù)在2~5官能之間。

上述技術(shù)方案的進(jìn)一步限定在于:所述丙烯酸酯系單體c是2~4官能單體。

上述技術(shù)方案的進(jìn)一步限定在于:有機(jī)溶劑e是下列物質(zhì)中的一種或多種混合物:二乙二醇單烷基醚類、二乙二醇二烷基醚類、丙二醇單烷基醚類、丙二醇二烷基醚類,丙二醇醚酯類、二丙二醇二烷基醚類。

上述技術(shù)方案的進(jìn)一步限定在于:有機(jī)溶劑e是下列物質(zhì)中的一種或多種混合物:二乙二醇單甲醚、二乙二醇二甲醚、二丙二醇甲醚、二丙二醇二甲醚、丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇乙醚乙酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯。

為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提出以下技術(shù)方案:一種用所述的感光性樹脂組合物形成的光固化圖案。

為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提出以下技術(shù)方案:一種用所述的感光性樹脂組合物形成光固化圖案的方法,在基底材料上涂覆所述感光性樹脂組合物形成薄膜,在80℃~100℃下預(yù)烘2~5min;將刻有所需圖案的掩膜版覆在已表干的薄膜上,用365nm高壓汞燈進(jìn)行曝光,曝光量在50~200mj/cm2之間;將曝光后的薄膜用低濃度堿性顯影液顯影30~60s,將未曝光區(qū)去除,得到所需圖案;將顯影好的薄膜在100~150℃下進(jìn)一步后固化30~50min,即可得到光固化圖案。

上述技術(shù)方案的進(jìn)一步限定在于:所形成的光固化圖案,可通過旋涂、噴涂、刮涂和輥涂方法進(jìn)行。

本發(fā)明具有以下有益效果:本發(fā)明感光性樹脂組合物,其新穎性在于不需添加低溫固化劑等助劑,在低溫固化條件下即得到硬度高、耐化學(xué)性優(yōu)異、對玻璃和金屬附著力優(yōu)異及耐水煮性良好的光固化圖案,且光固化圖案分辨率高,同時(shí)滿足于高溫固化條件。

本發(fā)明感光性樹脂組合物,能夠低溫固化和高溫固化,具有優(yōu)異的耐化學(xué)性、優(yōu)異的玻璃和金屬附著力及良好的耐水煮性,同時(shí)硬度高、感度快、分辨率高及高溫放氣少。本發(fā)明的感光性樹脂組合物經(jīng)過曝光與顯影等光刻工藝后,可在顯示器領(lǐng)域中用作金屬電極間的搭橋、保護(hù)膜、絕緣膜、光致抗蝕劑圖案等。

具體實(shí)施方式

一種感光性樹脂組合物,由按照質(zhì)量份數(shù)計(jì)算的下列組分組成:

所述堿溶性氨基丙烯酸聚合物a由氨基樹脂改性,在其重復(fù)單元結(jié)構(gòu)中具有酸基。

所述堿溶性氨基丙烯酸聚合物a的結(jié)構(gòu)如下式1所示:

式中r1為烷基,r2為丙烯酸酯基,r3為帶酸基結(jié)構(gòu)的烷基或烷烯基,其中酸基為-cooh、-so3h或-cosh,n為大于零的整數(shù)。

所述堿溶性氨基丙烯酸聚合物a的酸值為40~180(kohmg/g),優(yōu)選地70~150(kohmg/g)。如果酸值在所述范圍內(nèi),則有利于顯影及儲存穩(wěn)定性,若低于40(kohmg/g)則不利于顯影;相反,若酸值高于180(kohmg/g)則儲存不穩(wěn)定,且在后續(xù)光刻工藝中,過高的酸值會對金屬底材產(chǎn)生一定的腐蝕。

所述堿溶性氨基丙烯酸聚合物a的分子量優(yōu)選在2000~15000之間,若分子量低于所述范圍內(nèi),則會使感光性樹脂組合物酸值過高,導(dǎo)致最終形成的光固化圖案各方面性能變差,而且影響圖案的分辨率;若分子量大于所屬范圍內(nèi),也會影響圖案的分辨率,而且流平性差。

所述堿溶性氨基丙烯酸聚合物a的含量是10~30質(zhì)量份。在所述含量范圍內(nèi),本發(fā)明感光性樹脂組合物經(jīng)過曝光后在顯影液中能顯影充分,形成直線性好、綜合性能優(yōu)異的光固化圖案。

所述堿溶性氨基丙烯酸聚合物a具有酸基,決定本發(fā)明感光性樹脂組合物在顯影工藝中對弱堿顯影液是否可溶。同時(shí)通過引入氨基基團(tuán)而具有氨基樹脂的特性,為本發(fā)明感光性樹脂組合物在后續(xù)的低溫固化提供優(yōu)良的耐化性、耐溶劑性、耐水性和光澤性,且硬度高,同時(shí)為光固化圖案提供優(yōu)異的耐熱性。

所述多官能團(tuán)不飽和聚氨酯丙烯酸酯聚合物b,為脂肪族類多官能團(tuán)不飽和聚氨酯丙烯酸酯聚合物,能夠?yàn)楸景l(fā)明感光性樹脂組合物形成的光固化圖案提供良好的柔韌性、耐化性、附著力及機(jī)械性能,同時(shí)脂肪族類可有效地減少固化過程產(chǎn)生的黃變老化現(xiàn)象。分子量選擇在1000~10000之間,若在分子量在所述范圍內(nèi),可有效地提高由本發(fā)明的感光性樹脂組合物形成的光固化圖案的柔韌性、耐化性、附著力和機(jī)械性能。

所述多官能團(tuán)不飽和聚氨酯丙烯酸酯聚合物b的官能團(tuán)數(shù)優(yōu)選在2~5官能之間,若官能團(tuán)數(shù)低于2,則不僅導(dǎo)致本發(fā)明感光性樹脂組合物感度太慢,而且會使最終形成的光固化圖案綜合性能下降;若官能團(tuán)數(shù)高于5,會使有本發(fā)明的感光性樹脂組合物形成的光固化圖案變脆,也不利于本發(fā)明的感光性樹脂組合物的分辨率。

所述多官能團(tuán)不飽和聚氨酯丙烯酸酯聚合物b是下列物質(zhì)中的一種或多種的混合物:可取自江蘇無錫維都斯電子材料有限公司的wds-1930i、長興的dr-u381、dr-u384等,u-sunny公司的trust-7133、trust-7130、trust-7128、國精化學(xué)的gu-4175x、gu-3370a、日本合成uv-7605b等,優(yōu)選wds-1930i、dr-u381、trust-7133、trust-7128、uv-7605b。是由聚氨酯改性的聚丙烯酸樹脂,一般市售品即可,分子量mw:10±5×104,粘度:1000±200cp。

所述多官能團(tuán)不飽和聚氨酯丙烯酸酯聚合物b作為功能性樹脂使用,可以是一種或多種混合使用,為本發(fā)明的感光性樹脂組合物增加柔韌性,耐化性和對金屬及玻璃的附著力。其含量是5~15質(zhì)量份。在所述含量范圍內(nèi),可以為本發(fā)明的感光性樹脂組合物形成的光固化圖案提供優(yōu)異的綜合性能和良好的圖案直線性。

所述丙烯酸酯系單體c是下列物質(zhì)中的一種或者多種的混合物:單官能單體、兩官能或多官能單體。

其中單官能單體包括:異葵基(甲基)丙烯酸酯、異十三烷基丙烯酸酯、四氫化糠基甲基丙烯酸酯、月桂酸甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、異冰片基(甲基)丙烯酸酯、甲基丙烯酸環(huán)己酯、雙環(huán)戊烷基甲基丙烯酸酯等。

其中兩官能單體包括:3-羥-2,2-二甲基丙基-3-羥-2,2-二甲基丙酯二丙烯酸酯、三環(huán)葵烷二甲醇二丙稀酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、丙氧化新戊二醇二丙烯酸酯、乙氧化雙酚a二丙烯酸酯、2-丁基-2-乙基-1,3-丙二醇二丙烯酸酯、乙氧化雙酚a二甲基二丙烯酸酯、三丙二醇二丙烯酸酯等。

其中多官能單體包括:三(2-羥乙基)異氰脲酸三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、乙氧化三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙氧化甘油三丙烯酸酯、乙氧化季戊四醇四丙烯酸酯、二-三羥甲基丙烷四丙烯酸酯、丙氧化季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯等。

以上所述丙烯酸酯系單體c中優(yōu)選2~4官能單體。

在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中,丙烯酸酯系單體c僅作為感光性樹脂組合物的交聯(lián)劑使用,可以由上述單體中的一種或多種混合使用。其含量1~5質(zhì)量份。在所述含量范圍內(nèi),可以提高感光性樹脂組合物的交聯(lián)度,從而提高光固化圖案的綜合性能,又不會影響顯影性。

光引發(fā)劑d是一類能在紫外光區(qū)(250~420nm)或在可見光區(qū)(400~800nm)吸收一定波長的能量,產(chǎn)生自由基或陽離子等引發(fā)單體聚合交聯(lián)固化的化合物。

本發(fā)明的光引發(fā)劑d主要是自由基型光引發(fā)劑,是下列物質(zhì)中的一種或者多種的混合物:裂解型自由基光引發(fā)劑、奪氫型自由基光引發(fā)劑,所用種類沒有特別限定,具體例可以如下。

其中裂解型自由基光引發(fā)劑包括:苯偶姻及其衍生物、α,α-二甲氧基-α-苯基苯乙酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮、1-羥基環(huán)己基苯基甲酮、2-羥基-4-(2-羥乙氧基)-2-甲基苯丙酮、2-甲基-1-(4-甲硫基苯基)-2-嗎啉基-1-丙酮、2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉苯基)丁酮、2,4,6-三甲基苯甲酰基-乙氧基-苯基氧化膦、2,4,6-三甲基苯甲?;?苯基氧化膦、雙(2,4,6-三甲基苯甲?;?苯基氧化膦等。

其中奪氫型自由基光引發(fā)劑包括:二苯甲酮、4,4’-雙(二甲氨基)二苯甲酮、2,4,6-三甲基二苯甲酮、4,4’-雙(二乙氨基)二苯甲酮、2-異丙基硫雜蒽、2,4-二乙基硫雜蒽酮等。

以上所述光引發(fā)劑d可以單獨(dú)使用或多種混合使用。

同時(shí)為減少曝光時(shí)氧阻聚對感光性樹脂組合物光固化的影響,提高光固化效率,在所述光引發(fā)劑中可包含與引發(fā)劑配合使用的助引發(fā)劑。光引發(fā)劑d用量是1~5質(zhì)量份。在所述含量范圍內(nèi),可使感光性樹脂組合物在滿足高分辨率的情況下減少曝光量,使形成的光固化圖案表面平整,無彩虹紋。

有機(jī)溶劑e為該領(lǐng)域中常用溶劑,沒有特別限定,可以是如下具體例的一種或多種混合使用:二乙二醇單烷基醚類、二乙二醇二烷基醚類、丙二醇單烷基醚類、丙二醇二烷基醚類,丙二醇醚酯類、二丙二醇二烷基醚類等。

從沸點(diǎn)及涂布工藝考慮,有機(jī)溶劑e可以優(yōu)選二乙二醇單甲醚、二乙二醇二甲醚、二丙二醇甲醚、二丙二醇二甲醚、丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇乙醚乙酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯等中高沸點(diǎn)溶劑。

所述有機(jī)溶劑e含量是30~80質(zhì)量份。在所述按量范圍內(nèi),感光性樹脂組合物可滿足于旋涂、噴涂、刮涂和輥涂等涂布方式。

為獲得更好的膜厚均勻性及膜面光滑平整性,可以根據(jù)需求選擇適當(dāng)流平劑或消泡劑等助劑。

上述感光性樹脂組合物的制備方法如下所述:將10-30質(zhì)量份的堿溶性氨基丙烯酸聚合物a、5-15質(zhì)量份的多官能團(tuán)不飽和聚氨酯丙烯酸酯聚合物b、1-5質(zhì)量份的丙烯酸系單體c、1-5質(zhì)量份的光引發(fā)劑d及30-80質(zhì)量份的有機(jī)溶劑e混合,以機(jī)械攪拌器攪拌均勻,即可得到所述感光性樹脂組合物。

本發(fā)明還提出一種光固化圖案,其應(yīng)用本發(fā)明所述感光性樹脂組合物形成。

用上述感光性樹脂組合物形成光固化圖案的方法如下所述:在基底材料上涂覆所述感光性樹脂組合物形成薄膜,在80℃~100℃下預(yù)烘2~5min;將刻有所需圖案的掩膜版覆在已表干的薄膜上,用365nm高壓汞燈進(jìn)行曝光,曝光量在50~200mj/cm2之間;將曝光后的薄膜用低濃度堿性顯影液顯影30~60s,將未曝光區(qū)去除,得到所需圖案;將顯影好的薄膜在100~150℃下進(jìn)一步后固化30~50min,即可得到具有優(yōu)異的耐化學(xué)性、優(yōu)異的玻璃和金屬附著力及良好的耐水煮性的光固化圖案。

所形成的光固化圖案,可通過旋涂、噴涂、刮涂和輥涂等方法進(jìn)行。

所述形成的光固化圖案進(jìn)行后熱固化處理,可以提高光固化圖案的硬度、耐化學(xué)性及附著力等性能。

所述光固化圖案可用于顯示器領(lǐng)域中用作保護(hù)膜、絕緣膜、光致抗蝕劑圖案等,特別用在一些不能經(jīng)受高溫烘烤的顯示元器件中。

下面結(jié)合實(shí)施例對本發(fā)明做進(jìn)一步說明,但本發(fā)明不只限于這些實(shí)施例。

實(shí)施例1

將30質(zhì)量份的堿溶性氨基丙烯酸聚合物a、5質(zhì)量份的多官能團(tuán)不飽和聚氨酯丙烯酸酯聚合物b、1質(zhì)量份的丙烯酸系單體c、4質(zhì)量份的光引發(fā)劑d及80質(zhì)量份的有機(jī)溶劑e混合,以機(jī)械攪拌器攪拌均勻,得到實(shí)施例1的感光性樹脂組合物。將所得感光性樹脂組合物按照上述形成光固化圖案的方法(進(jìn)行光刻工藝),得到光固化圖案,對光固化圖案以后述評價(jià)方式進(jìn)行評價(jià),評價(jià)結(jié)果如表2。

實(shí)施例2至實(shí)施例6及比較例1至比較例3與實(shí)施例1的制作方法和評價(jià)方法相同,不同之處在于實(shí)施例2至實(shí)施例6及比較例1至比較例3使用的感光性樹脂組合物中的原料用量不一樣,詳細(xì)配方和評價(jià)結(jié)果見表1和表2。

各性能評價(jià)方式如下:

1.分辨率

用旋涂機(jī)將感光性樹脂組合物分別涂在80mm×80mm×1.1mm的素玻璃和鍍有ito的玻璃上,在90℃的熱板上預(yù)烘120s,得到5um左右的薄膜,然后將預(yù)烘后的薄膜用刻有不同線寬圖案的掩膜版以合適曝光量進(jìn)行曝光,再將曝光后的薄膜用含有0.1%的氫氧化鉀和一定量的表面活性劑的顯影液顯影40s,用純水沖洗干凈,最后在100℃的熱板上烘烤50min,即可得到所需光固化圖案。利用顯微鏡觀察并測量形成的最小尺寸的光固化圖案。

2.鉛筆硬度

將光固化圖案根據(jù)國家gb/t6739-1996標(biāo)準(zhǔn)測試方法測試,以某一硬度標(biāo)號的鉛筆不劃破圖光固化圖案則代表涂膜的硬度。

3.耐酸性

將光固化圖案浸泡于硝酸和鹽酸混合的水溶液中(45℃/10min)后取出,純水洗凈,利用顯微鏡觀察光固化圖案是否溶脹或脫落。

4.耐強(qiáng)堿性

將光固化圖案浸泡于5%氫氧化鉀水溶液中(30℃/4min)后取出,純水洗凈,利用顯微鏡觀察光固化圖案是否溶脹或脫落。

5.對玻璃和ito的附著力

將光固化圖案浸泡于硝酸和鹽酸混合的水溶液中(45℃/10min)后,參照gb/t9286-98劃格方法評價(jià)其附著力。

5b:切口的邊緣完全光滑,格子邊緣沒有任何剝落。

4b:在切口的相交處有小片剝落,劃格區(qū)內(nèi)實(shí)際破損不超過5%。

3b:切口的邊緣和/或相交處有被剝落,其面積大于5%,但不到15%。

2b:沿切口邊緣有部分剝落或整大片剝落,及/或者部分格子被整片剝落。被剝落的面積超過15%,但不到35%。

1b:切口邊緣大片剝落/或者一些方格部分部分或全部剝落,其面積大于劃格區(qū)的35%,但不超過65%。

0b:脫落面積超過1b

6.高溫放氣性

將感光樹脂組合物制成干膜后進(jìn)行全膜曝光,再在100℃的熱板上烘烤50min,然后用熱失重分析儀測試其在230℃恒溫30min的失重情況進(jìn)行評價(jià)。

表1

上述實(shí)施例1-6中,堿溶性氨基丙烯酸聚合物a的結(jié)構(gòu)式如下:

表2

表中和圖形表示如下述:

×:不能顯影(顯影即脫落)

●:浸泡強(qiáng)酸或強(qiáng)堿后,光固化圖案無異常

▲:浸泡強(qiáng)酸或強(qiáng)堿后,光固化圖案部分變形或脫落

□:浸泡強(qiáng)酸或強(qiáng)堿后,光固化圖案全部脫落

從表1和表2中可以看出,實(shí)施例1~6的感光性樹脂組合物形成的光固化圖案在適量的曝光后都具有較高的分辨率,而且感度較快,硬度高,高溫放氣較少,耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿性和耐水煮性優(yōu)異,在強(qiáng)酸處理后對玻璃和ito的附著力也優(yōu)異。比較例1~3的感光性樹脂組合物形成的光固化圖案不僅感度慢,而且出現(xiàn)顯影脫落或顯影殘留的問題,在強(qiáng)酸強(qiáng)堿溶液和耐水煮測試中均有不同程度的變形和脫落,附著力差,硬度低,高溫放氣多。

本發(fā)明感光性樹脂組合物,能夠低溫固化和高溫固化,具有優(yōu)異的耐化學(xué)性、優(yōu)異的玻璃和金屬附著力及良好的耐水煮性,同時(shí)硬度高、感度快、分辨率高及高溫放氣少。本發(fā)明的感光性樹脂組合物經(jīng)過曝光與顯影等光刻工藝后,可在顯示器領(lǐng)域中用作金屬電極間的搭橋、保護(hù)膜、絕緣膜、光致抗蝕劑圖案等。

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