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液晶顯示器結(jié)構(gòu)及其制作方法與流程

文檔序號:12458916閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種液晶顯示器結(jié)構(gòu),包括:

基板;

緩沖層,設(shè)置在所述基板上;

遮光層,包括摻雜了雜質(zhì)的a-Si,所述遮光層設(shè)置在所述緩沖層之上;以及

有源層,設(shè)置在所述遮光層之上。

2.如權(quán)利要求1所述的液晶顯示器結(jié)構(gòu),還包括:摻雜緩沖層,設(shè)置在所述遮光層之上,所述有源層之下。

3.如權(quán)利要求1所述的液晶顯示器結(jié)構(gòu),其中,所述遮光層的厚度為90nm。

4.如權(quán)利要求2所述的液晶顯示器結(jié)構(gòu),其中,所述摻雜緩沖層的厚度在50nm至150nm之間。

5.如權(quán)利要求2所述的液晶顯示器結(jié)構(gòu),其中,所述摻雜緩沖層包括氧化硅、氮化硅或其組合。

6.如權(quán)利要求1-5中任一所述的液晶顯示器結(jié)構(gòu),其中,所述雜質(zhì)為硼或磷。

7.一種液晶顯示器結(jié)構(gòu)的制作方法,包括:

提供基板;

所述基板上形成緩沖層;

所述緩沖層上形成遮光層,所述遮光層包括摻雜了雜質(zhì)的a-Si;

對所述遮光層進(jìn)行摻雜處理;

在所述遮光層上形成有源層。

8.如權(quán)利要求7所述的液晶顯示器結(jié)構(gòu)的制作方法,其中,所述對所述遮光層進(jìn)行摻雜處理包括:在所述遮光層上形成摻雜緩沖層,之后對所述摻雜緩沖層和所述遮光層進(jìn)行摻雜處理。

9.如權(quán)利要求7或8所述的液晶顯示器結(jié)構(gòu)的制作方法,還包括:

在形成所述有源層之后,采用一道掩模工藝一步刻蝕所述遮光層和所述有源層。

10.如權(quán)利要求7所述的液晶顯示器結(jié)構(gòu)的制作方法,其中,所述摻雜緩沖層的厚度在50nm至150nm之間。

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