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光學(xué)膜材及其制備方法、顯示基板、顯示裝置與流程

文檔序號(hào):12660566閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種光學(xué)膜材,其特征在于,包括:

基底,其上具有凹槽,所述凹槽平行于其底面所在平面的橫截面積,沿背離所述底面的方向逐漸增大;

平坦化層,位于所述基底具有凹槽的一側(cè),且所述平坦化層的折射率大于所述基底的折射率。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)膜材,其特征在于,所述凹槽為多個(gè),且多個(gè)所述凹槽呈陣列排布。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光學(xué)膜材,其特征在于,所述凹槽為正多邊形棱臺(tái)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)膜材,其特征在于,所述凹槽為正四邊形棱臺(tái)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學(xué)膜材,其特征在于,所述凹槽在所述基底上正投影的邊長(zhǎng)為L(zhǎng),所述基底上兩相鄰的所述凹槽之間的距離為L(zhǎng)',且L=L'。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學(xué)膜材,其特征在于,所述L和所述L'的取值范圍均在1μm至5μm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光學(xué)膜材,其特征在于,所述凹槽的側(cè)面與底面的延伸方向之間的夾角的取值范圍在30°至70°。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)膜材,其特征在于,所述凹槽的深度的取值范圍在500nm至1μm;所述平坦化層的厚度的取值范圍在1μm至2μm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光學(xué)膜材,其特征在于,所述平坦化層的材料為透明導(dǎo)電材料。

10.一種顯示基板,其特征在于,包括權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的光學(xué)膜材。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的顯示基板,其特征在于,所述顯示基板還包括位于所述基底背離所述凹槽的側(cè)面上的彩膜層。

12.一種光學(xué)膜材的制備方法,其特征在于,包括:

對(duì)基底進(jìn)行刻蝕,形成凹槽,且所述凹槽平行于其底面所在平面的橫截面積,沿背離所述底面的方向逐漸增大;在形成所述凹槽的基底上形成平坦化層。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制備方法,其特征在于,所述對(duì)基底進(jìn)行刻蝕,形成凹槽的步驟具體包括:

在基底上涂覆光刻膠,進(jìn)行曝光顯影形成光刻膠保留區(qū)和光刻膠未保留區(qū);

對(duì)光刻膠未保留區(qū)采用等離子刻蝕設(shè)備進(jìn)行刻蝕形成所述凹槽;

剝離去除光刻膠保留區(qū)的光刻膠;

所述在形成所述凹槽的基底上形成平坦化層的步驟具體包括:

利用磁控濺射的方法,在形成凹槽的基底上濺射生長(zhǎng)形成一層平坦化層。

14.一種顯示裝置,其特征在于,包括權(quán)利要求10或11所述的顯示基板。

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