本發(fā)明涉及顯示基板制造領(lǐng)域，特別涉及一種干燥組件及顯影裝置。

背景技術(shù)：

在顯示基板的制造過(guò)程中，需要依次通過(guò)光刻膠涂覆、曝光、顯影、刻蝕和光刻膠剝離等工藝，以在基板(襯底基板或者形成有一定圖形的基板)上形成圖形。在顯影工藝中，通常需要使用顯影裝置。

顯影裝置通常包括顯影組件、水洗組件和干燥組件，在對(duì)基板進(jìn)行曝光之后，首先可以由顯影組件對(duì)曝光后的基板進(jìn)行顯影，然后由水洗組件對(duì)顯影后的基板進(jìn)行水洗以清除殘留在基板上的顯影液，最后由干燥組件對(duì)水洗后的基板進(jìn)行干燥，以清除殘留在基板上的水漬。相關(guān)技術(shù)中，干燥組件通常為空氣刀，空氣刀包括設(shè)置有空腔的空氣刀本體，空氣刀本體上設(shè)置進(jìn)氣口和出氣口。在采用空氣刀對(duì)基板進(jìn)行干燥時(shí)，可以將進(jìn)氣口與空氣源連接，將出氣口朝向基板，空氣源中的空氣從進(jìn)氣口進(jìn)入空氣刀本體的空腔并從出氣口吹向基板。

在實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的過(guò)程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)相關(guān)技術(shù)至少存在以下問(wèn)題：

光刻膠中含有非離子表面活性劑，非離子表面活性劑中的親水基團(tuán)會(huì)使得較多的水漬殘留在基板上，空氣刀采用吹氣的方式無(wú)法較好的清除水漬，因此，空氣刀對(duì)基板的干燥效果較差。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決空氣刀對(duì)基板的干燥效果較差的問(wèn)題，本發(fā)明提供一種干燥組件及顯影裝置。所述技術(shù)方案如下：

第一方面，提供一種干燥組件，所述干燥組件包括：干燥腔室、噴液件和加熱件，所述噴液件設(shè)置在所述干燥腔室內(nèi)，所述加熱件設(shè)置在所述干燥腔室外，所述加熱件用于對(duì)所述干燥腔室進(jìn)行加熱，所述噴液件用于向所述干燥腔室內(nèi)的基板噴灑預(yù)設(shè)液體，所述預(yù)設(shè)液體能夠與水形成共沸物。

可選地，所述共沸物的沸點(diǎn)低于水的沸點(diǎn)。

可選地，所述預(yù)設(shè)液體包括異丙醇、乙酸乙酯、苯、二氯乙烷和乙醇中的至少一種。

可選地，所述干燥組件還包括：吹氣件，所述吹氣件設(shè)置在所述干燥腔室內(nèi)，用于向所述基板吹氣。

可選地，所述噴液件包括導(dǎo)液管和設(shè)置在所述導(dǎo)液管的外壁上的至少一個(gè)噴嘴，每個(gè)所述噴嘴與所述導(dǎo)液管的內(nèi)腔連通，且每個(gè)所述噴嘴朝向所述基板，所述導(dǎo)液管與儲(chǔ)液罐連通，所述儲(chǔ)液罐內(nèi)的所述預(yù)設(shè)液體能夠依次通過(guò)所述導(dǎo)液管和所述噴嘴噴向所述基板。

可選地，所述吹氣件包括導(dǎo)氣管，所述導(dǎo)氣管上設(shè)置有吹氣口，且所述導(dǎo)氣管與氣體源連通，所述氣體源的氣體能夠依次通過(guò)所述導(dǎo)氣管和所述吹氣口吹向所述基板。

可選地，所述干燥組件還包括：溫度檢測(cè)件，所述溫度檢測(cè)件設(shè)置在所述干燥腔室內(nèi)，用于檢測(cè)所述干燥腔室內(nèi)的溫度。

可選地，所述噴液件的噴灑速率范圍為10毫升每秒～30毫升每秒，所述干燥腔室內(nèi)的溫度的范圍為50攝氏度～70攝氏度，或者，60攝氏度～80攝氏度；

所述預(yù)設(shè)液體為摩爾比為0～1.5:1的乙酸乙酯和苯的混合溶液，或者，摩爾比為0～2:1的異丙醇和二氯乙烷的混合溶液。

第二方面，提供一種顯影裝置，所述顯影裝置包括：顯影組件、水洗組件、傳送組件和第一方面所述的干燥組件，所述水洗組件包括水洗腔室，所述干燥組件的干燥腔室的一端與所述水洗腔室連通，另一端開(kāi)口，所述傳送組件用于將所述基板從所述水洗腔室傳送至所述干燥腔室，并從所述干燥腔室另一端的開(kāi)口傳送出所述干燥腔室。

可選地，所述干燥組件的噴液件和吹氣件按照所述傳送組件的傳送方向依次設(shè)置在所述干燥腔室的上方。

可選地，所述傳送組件的傳送速率為3000毫米每分鐘。

本發(fā)明提供的技術(shù)方案帶來(lái)的有益效果是：

本發(fā)明提供的干燥組件及顯影裝置，干燥組件包括干燥腔室、噴液件和加熱件，噴液件設(shè)置在干燥腔室內(nèi)，加熱件設(shè)置在干燥腔室外，加熱件用于對(duì)干燥腔室進(jìn)行加熱，噴液件用于向干燥腔室內(nèi)的基板噴灑預(yù)設(shè)液體，預(yù)設(shè)液體能夠與水形成共沸物。由于干燥組件的噴液件能夠向基板噴灑預(yù)設(shè)液體，加熱件能夠通過(guò)干燥腔室向基板加熱，使預(yù)設(shè)液體與水形成共沸物，進(jìn)而使得水漬蒸發(fā)，因此，可以通過(guò)預(yù)設(shè)液體將水漬帶離基板，解決了空氣刀對(duì)基板的干燥效果較差的問(wèn)題，達(dá)到了能夠較好的干燥基板的效果。

應(yīng)當(dāng)理解的是，以上的一般描述和后文的細(xì)節(jié)描述僅是示例性的，并不能限制本發(fā)明。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種干燥組件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種干燥組件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種噴液件的正視圖；

圖4是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種噴液件的剖面圖；

圖5是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種吹氣件的正視圖；

圖6是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種干燥組件干燥基板的示意圖；

圖7是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種顯影裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

此處的附圖被并入說(shuō)明書(shū)中并構(gòu)成本說(shuō)明書(shū)的一部分，示出了符合本發(fā)明的實(shí)施例，并與說(shuō)明書(shū)一起用于解釋本發(fā)明的原理。

具體實(shí)施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步地詳細(xì)描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其它實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

目前，在彩膜基板的制造過(guò)程中，需要通過(guò)構(gòu)圖工藝在基板上形成紅綠藍(lán)(英文：redgreenblue；簡(jiǎn)稱：rgb)濾光單元。其中，rgb濾光單元可以包括r濾光單元、g濾光單元和b濾光單元。以形成r濾光單元為例，具體實(shí)施時(shí)，可以在先在基板上涂覆一層紅色光刻膠，然后采用掩膜板對(duì)涂覆有紅色光刻膠層的基板進(jìn)行曝光，之后對(duì)曝光后的基板進(jìn)行顯影就可以得到r濾光單元。其中，可以采用顯影裝置中的顯影組件對(duì)曝光后的基板進(jìn)行顯影，顯影裝置中還包括水洗組件和干燥組件，在顯影組件顯影之后，水洗組件可以對(duì)基板進(jìn)行水洗以清除殘留在基板上的顯影液，之后干燥組件對(duì)水洗之后的基板進(jìn)行干燥以清除殘留在基板上的水漬。在對(duì)基板干燥之后，可以將基板送入微觀檢查機(jī)(英文：automaticopticinspection；簡(jiǎn)稱：aoi)，aoi可以檢測(cè)基板是否存在不良，當(dāng)基板存在不良時(shí)，aoi會(huì)發(fā)出報(bào)警聲并記錄該基板，以便于后期對(duì)該基板進(jìn)行修復(fù)，aoi發(fā)出報(bào)警聲后產(chǎn)線停止運(yùn)行，工作人員可以手動(dòng)操作aoi解除報(bào)警，使產(chǎn)線繼續(xù)運(yùn)行。

相關(guān)技術(shù)中，一方面，干燥組件可以為空氣刀(又稱風(fēng)刀，英文：airknife)，可以采用空氣刀向水洗之后的基板吹空氣，以清除殘留在基板上的水漬。但是，由于光刻膠溶劑中含有丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇甲醚、乙烷基3-乙氧丙酸酯等非離子表面活性劑，非離子表面活性劑中帶有含氧的二醚基、羥基、羧酸酯等親水基團(tuán)，這些親水基團(tuán)會(huì)導(dǎo)致較多的水漬殘留在基板上，空氣刀無(wú)法將全部水漬吹干，導(dǎo)致aoi檢測(cè)出基板存在水漬并發(fā)出報(bào)警。但是實(shí)際應(yīng)用中，水漬會(huì)在空氣中自行蒸發(fā)，將基板放置在空氣中一段時(shí)間之后水漬會(huì)自行蒸發(fā)掉，因此，基板上殘留的水漬不屬于不良。由于采用空氣刀無(wú)法將全部水漬吹干，會(huì)使得aoi檢測(cè)出水漬而誤以為基板存在不良，也即是，空氣刀無(wú)法將全部水漬吹干會(huì)導(dǎo)致aoi出現(xiàn)誤檢，后期也會(huì)對(duì)該誤檢的基板進(jìn)行修復(fù)，而基板修復(fù)需要耗費(fèi)一定的時(shí)間，因此，誤檢會(huì)降低生產(chǎn)節(jié)拍和生產(chǎn)效率。

另一方面，可以通過(guò)向基板加熱來(lái)清除殘留在基板上的水漬。但是由于水的沸點(diǎn)為100℃(攝氏度)，需要將基板加熱至100℃才能使殘留在基板上的水漬蒸發(fā)，而100℃的高溫會(huì)導(dǎo)致基板上的光刻膠預(yù)固化，造成光刻膠表面粗糙，進(jìn)而引發(fā)顯影mura(中文：云紋)。

根據(jù)以上描述可知，相關(guān)技術(shù)中，空氣刀對(duì)基板的干燥效果較差，會(huì)降低生產(chǎn)節(jié)拍和生產(chǎn)效率；對(duì)基板加熱干燥又會(huì)引發(fā)顯影mura。

請(qǐng)參考圖1，其示出了本發(fā)明實(shí)施例提供的一種干燥組件00的結(jié)構(gòu)示意圖，該干燥組件00可以是顯影裝置中的一個(gè)組件，用于對(duì)水洗之后的基板進(jìn)行干燥。參見(jiàn)圖1，該干燥組件00包括：干燥腔室(英文：chamber)001、噴液件002和加熱件003，噴液件002設(shè)置在干燥腔室001內(nèi)，加熱件003設(shè)置在干燥腔室001外，加熱件003用于對(duì)干燥腔室001進(jìn)行加熱，噴液件002用于向干燥腔室001內(nèi)的基板(圖1中未示出)噴灑預(yù)設(shè)液體，預(yù)設(shè)液體能夠與水形成共沸物。

綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的干燥組件，由于噴液件能夠向基板噴灑預(yù)設(shè)液體，加熱件能夠通過(guò)干燥腔室向基板加熱，使預(yù)設(shè)液體與水形成共沸物，進(jìn)而使得水漬蒸發(fā)，因此，可以通過(guò)預(yù)設(shè)液體將水漬帶離基板，解決了空氣刀對(duì)基板的干燥效果較差的問(wèn)題，達(dá)到了能夠較好的干燥基板的效果。

可選地，共沸物的沸點(diǎn)低于水的沸點(diǎn)，該共沸物可以為二元共沸物。其中，共沸物的沸點(diǎn)低于水的沸點(diǎn)可以便于在較低溫度下使共沸物沸騰，從而使水漬蒸發(fā)，避免由于高溫導(dǎo)致光刻膠預(yù)固化，從而避免基板出現(xiàn)顯影mura。

可選地，在本發(fā)明實(shí)施例中，預(yù)設(shè)液體可以包括異丙醇、乙酸乙酯、苯、二氯乙烷和乙醇中的至少一種。其中，當(dāng)預(yù)設(shè)液體包括異丙醇、乙酸乙酯、苯、二氯乙烷和乙醇中的至少兩種時(shí)，該預(yù)設(shè)液體可以是異丙醇、乙酸乙酯、苯、二氯乙烷和乙醇中的至少兩種按照一定比例混合的混合溶液，該一定比例可以根據(jù)經(jīng)驗(yàn)設(shè)置。示例地，預(yù)設(shè)液體可以為摩爾比為0～1.5:1的乙酸乙酯和苯的混合溶液，或者，預(yù)設(shè)液體可以為摩爾比為0～2:1的異丙醇和二氯乙烷的混合溶液，本發(fā)明實(shí)施例對(duì)此不作限定。

請(qǐng)參考圖2，其示出了本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種干燥組件00的結(jié)構(gòu)示意圖，參見(jiàn)圖2，干燥腔室001的一端g1和另一端g2可以分別開(kāi)口(圖2中未示出)，加熱件003設(shè)置在干燥腔室001外且位于干燥腔室001的下方，加熱件003可以為加熱器，且加熱件003的具體結(jié)構(gòu)可以參考相關(guān)技術(shù)，本發(fā)明實(shí)施例對(duì)此不作限定。

可選地，如圖2所示，該干燥組件00還包括：吹氣件004，吹氣件004設(shè)置在干燥腔室001內(nèi)，用于向基板10吹氣。噴液件002和吹氣件004按照第一方向a設(shè)置在干燥腔室001內(nèi)且位于干燥腔室001的上方。

可選地，圖3是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種噴液件002的正視圖，圖4是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種噴液件002的剖面圖，請(qǐng)同時(shí)參考圖2至圖4，噴液件002包括導(dǎo)液管0021和設(shè)置在導(dǎo)液管0021的外壁上的至少一個(gè)噴嘴0022，每個(gè)噴嘴0022與導(dǎo)液管0021的內(nèi)腔o連通，且每個(gè)噴嘴0022朝向基板(圖2至圖4中均未示出)，導(dǎo)液管0021與儲(chǔ)液罐(圖2至圖4中均未示出)連通，儲(chǔ)液罐內(nèi)的預(yù)設(shè)液體能夠依次通過(guò)導(dǎo)液管0021和噴嘴0022噴向基板?？蛇x地，在本發(fā)明實(shí)施例中，如圖3所示，導(dǎo)液管0021的一端a開(kāi)口，另一端b封閉，導(dǎo)液管0021的開(kāi)口端a與儲(chǔ)液罐連通，且導(dǎo)液管0021或者連通導(dǎo)液管0021與儲(chǔ)液罐的管道上設(shè)置有控制閥(圖2至圖4中均未示出)，可以通過(guò)控制閥控制噴液件002的噴灑速率。具體地，可以通過(guò)控制閥控制噴液件002的噴灑速率處于噴灑速率范圍10毫升每秒～30毫升每秒內(nèi)，本發(fā)明實(shí)施例對(duì)此不作限定。

可選地，圖5是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種吹氣件004的結(jié)構(gòu)示意圖，請(qǐng)同時(shí)參考圖2和圖5，吹氣件004包括導(dǎo)氣管0041，導(dǎo)氣管0041上設(shè)置有吹氣口k，且導(dǎo)氣管0041與氣體源(圖2和圖5中均未示出)連通，氣體源的氣體能夠依次通過(guò)導(dǎo)氣管0041和吹氣口k吹向基板(圖2和圖5中均未示出)。可選地，在本發(fā)明實(shí)施例中，如圖5所示，導(dǎo)氣管0041的一端c開(kāi)口，另一端d封閉，導(dǎo)氣管0041的開(kāi)口端c與氣體源連通，且連通導(dǎo)氣管0041與氣體源的管道上可以設(shè)置有控制閥(圖2和圖5中均未示出)，可以通過(guò)控制閥控制吹氣件004的吹氣速率。需要說(shuō)明的是，吹氣件004還可以為空氣刀，空氣刀的具體結(jié)構(gòu)可以參考相關(guān)技術(shù)，本發(fā)明實(shí)施例在此不再贅述。

可選地，請(qǐng)繼續(xù)參考圖2，該干燥組件00還包括：溫度檢測(cè)件005，溫度檢測(cè)件005設(shè)置在干燥腔室001內(nèi)，溫度檢測(cè)件005用于檢測(cè)干燥腔室001內(nèi)的溫度。其中，溫度檢測(cè)件005可以設(shè)置在干燥腔室001的側(cè)壁上，也可以設(shè)置在干燥腔室001的上方，還可以設(shè)置在其他位置，溫度檢測(cè)件005可以包括至少一個(gè)溫度傳感器，每個(gè)溫度傳感器可以檢測(cè)干燥腔室001內(nèi)的溫度，本發(fā)明實(shí)施例對(duì)此不作限定。本發(fā)明實(shí)施例通過(guò)設(shè)置溫度檢測(cè)件005，在加熱件003對(duì)干燥腔室001進(jìn)行加熱的過(guò)程中，溫度檢測(cè)件005可以檢測(cè)干燥腔室001內(nèi)的溫度。在本發(fā)明實(shí)施例中，顯影裝置還可以包括控制組件，控制組件可以根據(jù)溫度檢測(cè)件005檢測(cè)的溫度，控制加熱件003對(duì)干燥腔室001進(jìn)行加熱，使干燥腔室001內(nèi)的溫度處于溫度范圍50攝氏度～70攝氏度內(nèi)，或者，60攝氏度～80攝氏度內(nèi)，本發(fā)明實(shí)施例對(duì)此不作限定。

請(qǐng)參考圖6，其示出了本發(fā)明實(shí)施例提供的一種干燥組件干燥基板的示意圖，在本發(fā)明實(shí)施例中，干燥組件位于顯影裝置(圖6中未示出)中，且顯影裝置還可以包括傳送組件(圖6中未示出)和水洗組件(圖6中未示出)，基板10可以設(shè)置在傳送組件上，水洗組件對(duì)基板10進(jìn)行水洗之后，傳送組件可以按照如圖6所示的傳送方向a將基板10從干燥腔室001的一端g1的開(kāi)口(圖6中未示出)傳入干燥腔室001并繼續(xù)按照傳送方向a傳送基板10，基板10進(jìn)入干燥腔室001后，噴液件002可以向基板10噴灑預(yù)設(shè)液體，同時(shí)加熱件003對(duì)干燥腔室001加熱，使位于干燥腔室001內(nèi)的基板10的溫度升高，預(yù)設(shè)液體與基板10上的水漬形成共沸物，從而使水漬從基板10蒸發(fā)，之后吹氣件004可以向基板10吹氣，進(jìn)一步使基板10上的水漬蒸發(fā)，對(duì)基板10進(jìn)行干燥。隨著傳送組件的移動(dòng)，基板10從干燥腔室001的另一端g2的開(kāi)口(圖6中未示出)傳出干燥腔室001進(jìn)入aoi(圖6中未示出)，由aoi對(duì)基板10進(jìn)行檢測(cè)。

綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的干燥組件，由于噴液件能夠向基板噴灑預(yù)設(shè)液體，加熱件能夠通過(guò)干燥腔室向基板加熱，使預(yù)設(shè)液體與水形成共沸物，進(jìn)而使得水漬蒸發(fā)，因此，可以通過(guò)預(yù)設(shè)液體將水漬帶離基板，解決了空氣刀對(duì)基板的干燥效果較差的問(wèn)題，達(dá)到了能夠較好的干燥基板的效果。

本發(fā)明實(shí)施例提供的干燥組件能夠?qū)暹M(jìn)行有效干燥，因此可以避免aoi誤檢導(dǎo)致的生產(chǎn)節(jié)拍和生產(chǎn)效率降低等問(wèn)題，可以提高產(chǎn)品(基板)良率，縮短生產(chǎn)周期。

由于本發(fā)明實(shí)施例提供的干燥組件，利用共沸原理，能夠在較低的溫度下使基板上的水漬蒸發(fā)，可以避免光刻膠預(yù)固化，進(jìn)而避免顯影mura的產(chǎn)生，提升產(chǎn)品良率。

請(qǐng)參考圖7，其示出了本發(fā)明實(shí)施例提供的一種顯影裝置0的結(jié)構(gòu)示意圖，參見(jiàn)圖7，該顯影裝置0包括干燥組件00、顯影組件01、水洗組件02和傳送組件03，水洗組件02包括水洗腔室(圖7中未標(biāo)出)，干燥組件00的干燥腔室001的一端與水洗腔室連通，干燥腔室001的另一端開(kāi)口，傳送組件03設(shè)置在干燥腔室001和水洗腔室的底面上，傳送組件03用于將基板按照傳送方向a從水洗腔室傳送至干燥腔室001，并從干燥腔室001另一端的開(kāi)口傳送出干燥腔室001。

在本發(fā)明實(shí)施例中，干燥組件00的噴液件02和吹氣件04按照傳送組件03的傳送方向a依次設(shè)置在干燥腔室001的上方。

可選地，傳送組件03可以為傳送帶或傳送輪，傳送組件03的傳送速率為3000毫米每分鐘。

可選地，顯影裝置0還包括控制組件(圖7中未示出)，控制組件分別與干燥組件00、顯影組件01、水洗組件02和傳送組件03電連接，控制組件可以對(duì)干燥組件00、顯影組件01、水洗組件02和傳送組件03進(jìn)行控制。例如，控制組件對(duì)干燥組件00的噴液件002進(jìn)行控制，使噴液件002的噴灑速率處于噴灑速率范圍10毫升每秒～30毫升每秒內(nèi)，具體地，噴液件002的導(dǎo)液管(圖7中未標(biāo)出)或者連通導(dǎo)液管與儲(chǔ)液罐的管道上設(shè)置有控制閥，控制閥可以與顯影裝置0的控制組件電連接，控制組件通過(guò)控制控制閥，控制噴液件002的噴灑速率處于噴灑速率范圍10毫升每秒～30毫升每秒內(nèi)；再例如，控制組件可以與干燥組件00的溫度檢測(cè)件005電連接，控制組件可以獲取溫度檢測(cè)件005檢測(cè)的干燥腔室001內(nèi)的溫度，根據(jù)溫度檢測(cè)件005檢測(cè)的干燥腔室001內(nèi)的溫度，控制干燥組件00的加熱件003對(duì)干燥腔室001進(jìn)行加熱，使干燥腔室001內(nèi)的溫度處于50攝氏度～70攝氏度，或者，60攝氏度～80攝氏度范圍內(nèi)。

需要說(shuō)明的是，圖7所示的顯影裝置0僅僅是示例性的，并不能用以限制顯影裝置0的實(shí)際結(jié)構(gòu)，實(shí)際應(yīng)用中，干燥組件00、顯影組件01、水洗組件02和傳送組件03的位置關(guān)系等均需要根據(jù)實(shí)際情況設(shè)置，本發(fā)明實(shí)施例對(duì)此不作限定，也不再做贅述。

綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的顯影裝置，由于干燥組件的噴液件能夠向基板噴灑預(yù)設(shè)液體，加熱件能夠通過(guò)干燥腔室向基板加熱，使預(yù)設(shè)液體與水形成共沸物，進(jìn)而使得水漬蒸發(fā)，因此，可以通過(guò)預(yù)設(shè)液體將水漬帶離基板，解決了空氣刀對(duì)基板的干燥效果較差的問(wèn)題，達(dá)到了能夠較好的干燥基板的效果。

本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解實(shí)現(xiàn)上述實(shí)施例的全部或部分步驟可以通過(guò)硬件來(lái)完成，也可以通過(guò)程序來(lái)指令相關(guān)的硬件完成，所述的程序可以存儲(chǔ)于一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)中，上述提到的存儲(chǔ)介質(zhì)可以是只讀存儲(chǔ)器，磁盤或光盤等。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。