本發(fā)明涉及一種簡(jiǎn)易光刻機(jī)。

背景技術(shù)：

光刻機(jī)又稱掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)，常用于電子工藝中硅片、電路版的曝光工藝工序。光刻機(jī)通常以高壓汞燈作為光源，通過(guò)光路優(yōu)化得到均勻穩(wěn)定的以紫外光為主的光線對(duì)光刻膠進(jìn)行曝光。商品化的光刻機(jī)的體積龐大而且價(jià)格昂貴，一般的光刻機(jī)售價(jià)都在十幾萬(wàn)元以上，因此對(duì)于普通精度的曝光（>1μm），使用簡(jiǎn)易的光刻機(jī)即可滿足光刻要求。

目前除采用商品化光刻機(jī)進(jìn)行曝光以外，對(duì)于簡(jiǎn)單的曝光，通常采用汞燈直接照射的方法。直接照射法的曝光方式有幾個(gè)明顯的缺點(diǎn)，首先是操作人員曝露在強(qiáng)紫外光的環(huán)境中，容易受到紫外光的照射傷害，使用人也有受到汞燈高壓模塊電擊的危險(xiǎn)；其次是對(duì)于不同樣品的曝光強(qiáng)度很難調(diào)整，且有時(shí)很難重現(xiàn)之前的曝光強(qiáng)度；再次是曝光時(shí)對(duì)樣品的光照很難達(dá)到均勻，基片上不同地方的光照不均勻，顯影后效果不佳；最后是直接照射的散熱性能不佳，有時(shí)會(huì)因?yàn)檫^(guò)近的曝光距離而烤傷掩膜。所以，設(shè)計(jì)一種簡(jiǎn)易、安全和曝光均勻的光刻機(jī)來(lái)解決上述問(wèn)題就顯得十分必要。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是針對(duì)以上不足之處，提供了一種簡(jiǎn)易光刻機(jī)。

本發(fā)明解決技術(shù)問(wèn)題所采用的方案是，一種簡(jiǎn)易光刻機(jī)，包括箱體，箱體頂部設(shè)置有盒體，盒體內(nèi)設(shè)置有電源，箱體一側(cè)設(shè)置鉸接有開(kāi)關(guān)門，箱體內(nèi)部上側(cè)設(shè)置有高壓汞燈，箱體內(nèi)底部設(shè)置有電動(dòng)轉(zhuǎn)盤，高壓汞燈、電動(dòng)轉(zhuǎn)盤均與電源電性連接，箱體下部設(shè)置有進(jìn)風(fēng)口，上部設(shè)置有出風(fēng)口。

進(jìn)一步的，所述開(kāi)關(guān)門上設(shè)置有觀察窗和把手，觀察窗上設(shè)置有綠基玻璃。

進(jìn)一步的，所述出風(fēng)口設(shè)置有與電源電性連接的散熱風(fēng)扇。

進(jìn)一步的，所述箱體內(nèi)部側(cè)壁沿豎向設(shè)置有標(biāo)尺。

進(jìn)一步的，所述電源為高壓電源模塊。

進(jìn)一步的，所述箱體內(nèi)部上側(cè)沿橫向設(shè)置有卷軸，卷軸上對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)繞線軸圍，繞線軸圍上纏繞有懸掛軟線，懸掛軟線一端與繞線軸圍相連接，另一端與高壓汞燈相連接。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下有益效果：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，操作使用方便，簡(jiǎn)易、安全和曝光均勻。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明專利進(jìn)一步說(shuō)明。

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：

1-盒體；2-箱體；3-觀察窗；4-把手；5-電源；6-供電線；7-散熱風(fēng)扇；8-懸掛軟線；9-電動(dòng)轉(zhuǎn)盤；10-進(jìn)風(fēng)口；11-標(biāo)尺；12-高壓汞燈；13-卷軸；14-繞線軸圍。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明。

如圖1-2所示，一種簡(jiǎn)易光刻機(jī)，包括箱體，箱體頂部設(shè)置有盒體，盒體內(nèi)設(shè)置有電源，箱體一側(cè)設(shè)置鉸接有開(kāi)關(guān)門，箱體內(nèi)部上側(cè)設(shè)置有高壓汞燈，箱體內(nèi)底部設(shè)置有電動(dòng)轉(zhuǎn)盤，高壓汞燈、電動(dòng)轉(zhuǎn)盤均與電源電性連接，箱體下部設(shè)置有進(jìn)風(fēng)口，上部設(shè)置有出風(fēng)口，電動(dòng)轉(zhuǎn)盤用于放置待曝光的基片，轉(zhuǎn)盤的轉(zhuǎn)動(dòng)速度可調(diào)，曝光時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)的目的是讓曝光更加均勻。

在本實(shí)施例中，所述開(kāi)關(guān)門上設(shè)置有觀察窗和把手，觀察窗上設(shè)置有綠基玻璃，用于在觀測(cè)時(shí)過(guò)濾紫外線，防止產(chǎn)生人體傷害。

在本實(shí)施例中，所述出風(fēng)口設(shè)置有與電源電性連接的散熱風(fēng)扇。

在本實(shí)施例中，所述箱體內(nèi)部側(cè)壁沿豎向設(shè)置有標(biāo)尺，標(biāo)尺的作用是測(cè)定或保持高壓汞燈的高度，通過(guò)固定高度來(lái)固定不同的曝光強(qiáng)度。

在本實(shí)施例中，所述電源為高壓電源模塊。

在本實(shí)施例中，所述箱體內(nèi)部上側(cè)沿橫向設(shè)置有卷軸，卷軸上對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)繞線軸圍，繞線軸圍上纏繞有懸掛軟線，懸掛軟線一端與繞線軸圍相連接，另一端與高壓汞燈相連接，繞線軸圍的作用是使懸掛軟線能精確地卷在卷軸的固定區(qū)域，從而使得兩條軟線的收放距離相等。

在本實(shí)施例中，光刻機(jī)為木質(zhì)結(jié)構(gòu)，盒體和下面的箱體相互隔離，只有電源的供電線從箱體頂部的兩個(gè)小孔穿下給高壓汞燈供電，箱體的長(zhǎng)、寬、高分別為30cm，30cm，60cm，盒體的長(zhǎng)、寬、高分別為25cm，25cm，20cm，箱體左下部高度3cm的位置開(kāi)了一個(gè)直徑3cm的進(jìn)風(fēng)口，在箱體的右上部分高度50cm的位置開(kāi)了一個(gè)直徑5cm的出風(fēng)口。

使用時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)軸，根據(jù)標(biāo)尺調(diào)節(jié)高壓汞燈的高度，供電線可以從盒體內(nèi)內(nèi)放出或收入其中，打開(kāi)散熱風(fēng)扇形成箱體氣流對(duì)流進(jìn)行散熱，將待曝光的基片放置于電動(dòng)轉(zhuǎn)盤上，開(kāi)動(dòng)電動(dòng)轉(zhuǎn)盤，調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，關(guān)閉箱門并給高壓汞燈供電，光刻的同時(shí)開(kāi)始記時(shí)，光刻時(shí)間到就關(guān)閉高壓汞燈，取出曝光好的基片，光刻完成。

本簡(jiǎn)易光刻機(jī)，制造方便，價(jià)格便宜；采用密閉式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，杜絕了紫外光外泄，不會(huì)對(duì)人體造成傷害，此外還隔離了高壓模塊，對(duì)高壓電進(jìn)行隔離防護(hù)；高壓汞燈的高度可以任意且精確調(diào)節(jié)，從而改變曝光的強(qiáng)度；設(shè)置了曝光用的電動(dòng)轉(zhuǎn)盤，可以實(shí)現(xiàn)在非均勻光線下的均勻曝光；設(shè)計(jì)了通風(fēng)對(duì)流裝置，可以保證長(zhǎng)時(shí)間的曝光不會(huì)產(chǎn)生過(guò)熱。

上列較佳實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種簡(jiǎn)易光刻機(jī),包括箱體，箱體頂部設(shè)置有盒體，盒體內(nèi)設(shè)置有電源，箱體一側(cè)設(shè)置鉸接有開(kāi)關(guān)門，箱體內(nèi)部上側(cè)設(shè)置有高壓汞燈，箱體內(nèi)底部設(shè)置有電動(dòng)轉(zhuǎn)盤，高壓汞燈、電動(dòng)轉(zhuǎn)盤均與電源電性連接，箱體下部設(shè)置有進(jìn)風(fēng)口，上部設(shè)置有出風(fēng)口，開(kāi)關(guān)門上設(shè)置有觀察窗和把手，觀察窗上設(shè)置有綠基玻璃，出風(fēng)口設(shè)置有與電源電性連接的散熱風(fēng)扇，箱體內(nèi)部上側(cè)沿橫向設(shè)置有卷軸，卷軸上對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)繞線軸圍，繞線軸圍上纏繞有懸掛軟線，懸掛軟線一端與繞線軸圍相連接，另一端與高壓汞燈相連接，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，操作使用方便，簡(jiǎn)易、安全和曝光均勻。

技術(shù)研發(fā)人員：王偉;白瑞光;林萍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：福州大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.09
技術(shù)公布日：2017.08.18