1.一種光阻涂布裝置檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于：包括支架(4)，在支架(4)上設(shè)有可轉(zhuǎn)動(dòng)的涂布平臺(tái)(1)，涂布平臺(tái)(1)通過(guò)中心軸連接在支架(4)上，所述涂布平臺(tái)(1)的下方設(shè)有底盤(pán)(2)，所述底盤(pán)(2)上設(shè)有排水孔(3)，在底盤(pán)(2)上設(shè)有用于清洗涂布平臺(tái)的清洗裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光阻涂布裝置檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述清洗裝置包括清洗噴頭(5)、與清洗噴頭(5)經(jīng)管道連接的雙向閥(6)，所述雙向閥(6)的另外兩端分別連接第一儲(chǔ)罐(7)、第二儲(chǔ)罐(8)，所述清洗噴頭(5)與涂布平臺(tái)(1)的涂布檢測(cè)面相對(duì)設(shè)置，第一儲(chǔ)罐(7)內(nèi)裝有氮?dú)?，第二?chǔ)罐(8)內(nèi)裝有溶媒。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光阻涂布裝置檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述清洗噴頭(5)上設(shè)有可沿涂布平臺(tái)(1)的中心軸的軸向方向移動(dòng)的第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光阻涂布裝置檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括固定于底盤(pán)(2)上位于涂布平臺(tái)(1)一端的第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)(81)、設(shè)于第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)(81)輸出軸上的第一驅(qū)動(dòng)輪(82)、固定于底盤(pán)(2)上位于涂布平臺(tái)(1)另一端的第一從動(dòng)輪(83)、套設(shè)在第一驅(qū)動(dòng)輪(82)與第一從動(dòng)輪(83)上的第一傳動(dòng)帶(84)，清洗噴頭(5)通過(guò)第一固定座(87)固定于第一傳動(dòng)帶(84)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光阻涂布裝置檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述底盤(pán)(2)上設(shè)有與涂布平臺(tái)(1)平行設(shè)置的第一導(dǎo)軌(85)，第一導(dǎo)軌(85)靠近第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，在第一導(dǎo)軌(85)上設(shè)有第一滑塊(86)，第一固定座(87)與第一滑塊(86)連接固定。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光阻涂布裝置檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述底盤(pán)(2)上設(shè)有驅(qū)動(dòng)清洗噴頭(5)以及第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)的第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)用于調(diào)節(jié)清洗噴頭(5)與涂布平臺(tái)(1)的涂布檢測(cè)面之間的間距。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光阻涂布裝置檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括用于承載第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)板(91)、固定于底盤(pán)(2)上位于涂布平臺(tái)(1)一端并且輸出軸與涂布平臺(tái)(1)的中心軸平行的第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)(92)、設(shè)于第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)(92)輸出軸上的第二驅(qū)動(dòng)輪(93)、固定于驅(qū)動(dòng)板(91)上與第二驅(qū)動(dòng)輪(93)位置相對(duì)的第二從動(dòng)輪(94)、套設(shè)在第二驅(qū)動(dòng)輪(93)與第二從動(dòng)輪(94)上的第二傳動(dòng)帶(95)，驅(qū)動(dòng)板(91)與第二傳動(dòng)帶(95)連接，第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)以及第一導(dǎo)軌(85)設(shè)于驅(qū)動(dòng)板(91)上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光阻涂布裝置檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述底盤(pán)(2)與驅(qū)動(dòng)板(91)之間設(shè)有與涂布平臺(tái)(1)的中心軸垂直設(shè)置的第二導(dǎo)軌(96)，第二導(dǎo)軌(96)設(shè)置在與第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)位置相對(duì)應(yīng)處，在第二導(dǎo)軌(96)上設(shè)有第二滑塊(97)，驅(qū)動(dòng)板(91)與第二滑塊(97)連接固定。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光阻涂布裝置檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述涂布平臺(tái)(1)為截面為多邊形的柱體結(jié)構(gòu)。
10.一種光阻涂布機(jī)，包括光阻涂布裝置(10)以及作業(yè)平臺(tái)(11)，其特征在于：還包括如權(quán)利要求1-9任意一項(xiàng)所述的光阻涂布裝置檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述光阻涂布裝置檢測(cè)機(jī)構(gòu)設(shè)于光阻涂布裝置(10)與作業(yè)平臺(tái)(11)之間。