本發(fā)明涉及一種液晶面板制造技術(shù)，特別是一種光阻涂布裝置檢測(cè)機(jī)構(gòu)及光阻涂布機(jī)。

背景技術(shù)：

目前，在TFT-LCD行業(yè)的光阻涂布制程，多采用狹縫型噴涂裝置，對(duì)基板進(jìn)行光阻涂布。由于光阻材料內(nèi)的稀釋劑為易揮發(fā)物質(zhì)，導(dǎo)致涂布噴嘴的噴口內(nèi)光阻暴露在空氣中時(shí)，短時(shí)間(5分鐘)內(nèi)即有可能發(fā)生凝結(jié)，進(jìn)而堵塞噴口?；蛘弋?dāng)進(jìn)行光阻材料更換后，由于前一種光阻材料無(wú)法完全清潔干凈，進(jìn)而當(dāng)新的光阻材料上機(jī)后，與前一種光阻材料進(jìn)行反應(yīng)，也會(huì)形成凝結(jié)物，進(jìn)而堵塞噴口。目前，當(dāng)噴口堵塞后，一般的處理方法為溶媒(Solvent)沖洗，同時(shí)用刮片進(jìn)行噴口刮拭，處理完成后，需要進(jìn)行虛擬(Dummy)涂布，通過(guò)確認(rèn)涂布是否出現(xiàn)破膜，來(lái)確認(rèn)噴口是否還有堵塞。該方法造成虛擬(Dummy)涂布基板大量浪費(fèi)，且確認(rèn)復(fù)機(jī)耗時(shí)較長(zhǎng)(40分鐘以上)，影響設(shè)備產(chǎn)能。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供一種光阻涂布裝置檢測(cè)機(jī)構(gòu)及光阻涂布機(jī)，從而減少?gòu)?fù)機(jī)時(shí)間，提升設(shè)備產(chǎn)能，且節(jié)省虛擬涂布基板的浪費(fèi)。

本發(fā)明提供了一種光阻涂布裝置檢測(cè)機(jī)構(gòu)，包括支架，在支架上設(shè)有可轉(zhuǎn)動(dòng)的涂布平臺(tái)，涂布平臺(tái)通過(guò)中心軸連接在支架上，所述涂布平臺(tái)的下方設(shè)有底盤(pán)，所述底盤(pán)上設(shè)有排水孔，在底盤(pán)上設(shè)有用于清洗涂布平臺(tái)的清洗裝置。

進(jìn)一步地，所述清洗裝置包括清洗噴頭、與清洗噴頭經(jīng)管道連接的雙向閥，所述雙向閥的另外兩端分別連接第一儲(chǔ)罐、第二儲(chǔ)罐，所述清洗噴頭與涂布平臺(tái)的涂布檢測(cè)面相對(duì)設(shè)置，第一儲(chǔ)罐內(nèi)裝有氮?dú)?，第二?chǔ)罐內(nèi)裝有溶媒。

進(jìn)一步地，所述清洗噴頭上設(shè)有可沿涂布平臺(tái)的中心軸的軸向方向移動(dòng)的第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。

進(jìn)一步地，所述第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括固定于底盤(pán)上位于涂布平臺(tái)一端的第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)、設(shè)于第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)輸出軸上的第一驅(qū)動(dòng)輪、固定于底盤(pán)上位于涂布平臺(tái)另一端的第一從動(dòng)輪、套設(shè)在第一驅(qū)動(dòng)輪與第一從動(dòng)輪上的第一傳動(dòng)帶，清洗噴頭通過(guò)第一固定座固定于第一傳動(dòng)帶上。

進(jìn)一步地，所述度盤(pán)上設(shè)有與涂布平臺(tái)平行設(shè)置的第一導(dǎo)軌，第一導(dǎo)軌靠近第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，在第一導(dǎo)軌上設(shè)有第一滑塊，第一固定座與第一滑塊連接。

進(jìn)一步地，所述底盤(pán)上設(shè)有驅(qū)動(dòng)清洗噴頭以及第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)的第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)用于調(diào)節(jié)清洗噴頭與涂布平臺(tái)的涂布檢測(cè)面之間的間距。

進(jìn)一步地，所述第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括用于承載第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)板、固定于底盤(pán)上位于涂布平臺(tái)一端并且輸出軸與涂布平臺(tái)的中心軸平行的第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)、設(shè)于第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)輸出軸上的第二驅(qū)動(dòng)輪、固定于驅(qū)動(dòng)板上與第二驅(qū)動(dòng)輪位置相對(duì)的第二從動(dòng)輪、套設(shè)在第二驅(qū)動(dòng)輪與第二從動(dòng)輪上的第二傳動(dòng)帶，驅(qū)動(dòng)板與第二傳動(dòng)帶連接，第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)以及第一導(dǎo)軌設(shè)于驅(qū)動(dòng)板上。

進(jìn)一步地，所述底盤(pán)與驅(qū)動(dòng)板之間設(shè)有與涂布平臺(tái)的中心軸垂直設(shè)置的第二導(dǎo)軌，第二導(dǎo)軌設(shè)置在與第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)位置相對(duì)應(yīng)處，在第二導(dǎo)軌上設(shè)有第二滑塊，驅(qū)動(dòng)板與第二滑塊連接。

進(jìn)一步地，所述涂布平臺(tái)為截面為多邊形的柱體結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明還提供了一種光阻涂布機(jī)，包括光阻涂布裝置以及作業(yè)平臺(tái)，還包括所述的光阻涂布裝置檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述光阻涂布裝置檢測(cè)機(jī)構(gòu)設(shè)于光阻涂布裝置與作業(yè)平臺(tái)之間。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，通過(guò)設(shè)置光阻涂布裝置檢測(cè)機(jī)構(gòu)，當(dāng)光阻材料或者長(zhǎng)時(shí)間宕機(jī)后需要確認(rèn)光阻涂布裝置的噴口是否堵塞時(shí)，對(duì)光阻涂布裝置檢測(cè)機(jī)構(gòu)的涂布平臺(tái)的任意涂布檢測(cè)面進(jìn)行涂布后，通過(guò)對(duì)涂布檢測(cè)面進(jìn)行肉眼觀測(cè)，判斷是否存在涂布破膜現(xiàn)象，然后對(duì)該涂布檢測(cè)面進(jìn)行清洗、吹干后繼續(xù)使用，不僅能夠縮短光阻涂布機(jī)的復(fù)機(jī)時(shí)間，提升設(shè)備產(chǎn)能，而且可重復(fù)使用，節(jié)省虛擬涂布基板，降低檢測(cè)成本。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明的第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的第一種實(shí)現(xiàn)方式的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明的第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的第二種實(shí)現(xiàn)方式的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是本發(fā)明的第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的第三種實(shí)現(xiàn)方式的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6是本發(fā)明的第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的第一種實(shí)現(xiàn)方式的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7是本發(fā)明的第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的第二種實(shí)現(xiàn)方式的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8是本發(fā)明的第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的第三種實(shí)現(xiàn)方式的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖9是本發(fā)明光阻涂布機(jī)的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。

如圖1和圖2所示，本發(fā)明的光阻涂布裝置檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括涂布平臺(tái)1，涂布平臺(tái)1為柱狀結(jié)構(gòu)，其截面形狀為多邊形；涂布平臺(tái)1的中心上設(shè)有中心軸，在中心軸的兩端設(shè)有支架4，涂布平臺(tái)1可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在支架4之間，所述涂布平臺(tái)1的下方設(shè)有底盤(pán)2，所述底盤(pán)2上設(shè)有排水孔3，排水孔3可接工廠的廢液管路，從而排走清洗的廢液；在底盤(pán)2上設(shè)有清洗裝置，清洗裝置用于清洗涂布平臺(tái)1的涂布檢測(cè)面，從而實(shí)現(xiàn)可重復(fù)使用；所述清洗裝置包括清洗噴頭5、與清洗噴頭5經(jīng)管道連接的雙向閥6，雙向閥6為電磁閥，所述雙向閥6的另外兩端分別連接第一儲(chǔ)罐7、第二儲(chǔ)罐8，第一儲(chǔ)罐7中灌有氮?dú)?N₂)，氮?dú)庥糜谠趯?duì)涂布檢測(cè)面進(jìn)行清洗后通入氮?dú)膺M(jìn)行吹干清潔；第二儲(chǔ)罐8中裝有溶媒，用于講涂布檢測(cè)面上的光阻進(jìn)行溶解清洗；所述清洗噴頭5與涂布平臺(tái)1的涂布檢測(cè)面相對(duì)設(shè)置，清洗噴頭5與涂布檢測(cè)面的距離小于1cm，保證清潔度。

為了節(jié)約成本，清洗噴頭5上設(shè)有可沿涂布平臺(tái)1的中心軸的軸向方向移動(dòng)的第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過(guò)驅(qū)動(dòng)清洗噴頭5實(shí)現(xiàn)對(duì)涂布平臺(tái)1的涂布檢測(cè)面進(jìn)行清洗，而且也減少了清洗噴頭5的設(shè)置數(shù)量。

如圖3所示，為本發(fā)明第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的第一種實(shí)現(xiàn)方式，第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括固定于底盤(pán)2上位于涂布平臺(tái)1一端的第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)81、設(shè)于第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)81輸出軸上的第一驅(qū)動(dòng)輪82、固定于底盤(pán)2上位于涂布平臺(tái)1另一端的第一從動(dòng)輪83、套設(shè)在第一驅(qū)動(dòng)輪82與第一從動(dòng)輪83上的第一傳動(dòng)帶84，第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)81以及第一從動(dòng)輪83均通過(guò)固定座固定在底盤(pán)2上，清洗噴頭5通過(guò)第一固定座87固定于第一傳動(dòng)帶84上，第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)81的輸出軸與中心軸垂直，當(dāng)?shù)谝或?qū)動(dòng)電機(jī)81轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，第一驅(qū)動(dòng)輪82通過(guò)第一傳動(dòng)帶84帶動(dòng)第一從動(dòng)輪83轉(zhuǎn)動(dòng)，從而驅(qū)動(dòng)固定于第一傳動(dòng)帶84一側(cè)上的清洗噴頭5沿中心軸的軸向移動(dòng)；在底盤(pán)2上設(shè)有與涂布平臺(tái)1平行設(shè)置的第一導(dǎo)軌85，第一導(dǎo)軌85靠近第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，在第一導(dǎo)軌85上設(shè)有第一滑塊86，第一固定座87與第一滑塊86連接固定。

如圖4所示，為本發(fā)明第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的第二種實(shí)現(xiàn)方式，第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)除了采用帶傳動(dòng)方式外，還可以采用齒條傳動(dòng)，具體為，在第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)81的輸出軸上設(shè)置第一驅(qū)動(dòng)齒輪12以及在底盤(pán)2上位于清洗噴頭5的下方設(shè)置第一齒條13，第一齒條13與中心軸平行，第一齒條13通過(guò)固定座架設(shè)在涂布平臺(tái)的兩端上，第一驅(qū)動(dòng)齒12與第一齒條13嚙合，清洗噴頭5通過(guò)第一固定座87固定在第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)81上，從而使第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)81能夠帶動(dòng)清洗噴頭5在第一齒條13上移動(dòng)；在底盤(pán)2上設(shè)有與涂布平臺(tái)1平行設(shè)置的第一導(dǎo)軌85，第一導(dǎo)軌85靠近第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，在第一導(dǎo)軌85上設(shè)有第一滑塊86，第一固定座87與第一滑塊86連接固定。

如圖5所示，為本發(fā)明第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的第三種實(shí)現(xiàn)方式，第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)還可以為絲桿傳動(dòng)，在第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)81的輸出軸上通過(guò)聯(lián)軸器聯(lián)接有第一絲桿14，第一絲桿14的兩端分別通過(guò)軸承座連接固定，第一絲桿14與中心軸平行，在第一絲桿14上設(shè)有具有內(nèi)螺紋的第一驅(qū)動(dòng)滑塊15，清洗噴頭15通過(guò)第一固定座87固定在第一驅(qū)動(dòng)滑塊15上，通過(guò)第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)81驅(qū)動(dòng)第一絲桿14的轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使第一驅(qū)動(dòng)滑塊15帶動(dòng)清洗噴頭5在第一絲桿14上移動(dòng)；在底盤(pán)2上設(shè)有與涂布平臺(tái)1平行設(shè)置的第一導(dǎo)軌85，第一導(dǎo)軌85靠近第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，在第一導(dǎo)軌85上設(shè)有第一滑塊86，第一驅(qū)動(dòng)滑塊15與第一滑塊86連接。

如圖1和圖2所示，在底盤(pán)2上設(shè)有驅(qū)動(dòng)清洗噴頭5以及第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)的第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)用于調(diào)節(jié)清洗噴頭5與涂布平臺(tái)1的涂布檢測(cè)面之間的間距，從而在將涂布平臺(tái)的已使用的涂布檢測(cè)面旋轉(zhuǎn)至另一干凈的涂布檢測(cè)面時(shí)涂布平臺(tái)不會(huì)與清洗噴頭5發(fā)生碰撞。

本發(fā)明中的第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)有兩組，分別對(duì)稱(chēng)設(shè)置在涂布平臺(tái)1的兩端。

如圖6所示，為本發(fā)明第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的第一種實(shí)現(xiàn)方式，第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括用于承載第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)板91、固定于底盤(pán)2上位于涂布平臺(tái)1一端并且輸出軸與涂布平臺(tái)1的中心軸平行的第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)92、設(shè)于第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)92輸出軸上的第二驅(qū)動(dòng)輪93、固定于驅(qū)動(dòng)板91上與第二驅(qū)動(dòng)輪93位置相對(duì)的第二從動(dòng)輪94、套設(shè)在第二驅(qū)動(dòng)輪93與第二從動(dòng)輪94上的第二傳動(dòng)帶95，驅(qū)動(dòng)板91與第二傳動(dòng)帶95的上側(cè)帶體部分連接，第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)以及第一導(dǎo)軌85設(shè)于驅(qū)動(dòng)板91上，驅(qū)動(dòng)板91為條形板狀結(jié)構(gòu)，與中心軸平行設(shè)置，第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在驅(qū)動(dòng)板91與底盤(pán)2之間的一端上；在底盤(pán)2與驅(qū)動(dòng)板91之間設(shè)有與涂布平臺(tái)1的中心軸垂直設(shè)置的第二導(dǎo)軌96，第二導(dǎo)軌96設(shè)置在與第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)位置相對(duì)應(yīng)處，在第二導(dǎo)軌96上設(shè)有第二滑塊97，驅(qū)動(dòng)板91與第二滑塊97連接。

當(dāng)?shù)诙?qū)動(dòng)電機(jī)92驅(qū)動(dòng)第二驅(qū)動(dòng)輪93，通過(guò)第二傳動(dòng)帶95帶動(dòng)第二從動(dòng)輪94移動(dòng)，從而使第二傳動(dòng)帶95驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)板91移動(dòng)，使設(shè)置在驅(qū)動(dòng)板91上的清洗噴頭5靠近噴涂平臺(tái)的涂布檢測(cè)面或遠(yuǎn)離噴涂平臺(tái)，從而使噴涂平臺(tái)有足夠的空間進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。

如圖7所示，為本發(fā)明第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的第二種實(shí)現(xiàn)方式，第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)除了采用帶傳動(dòng)方式外，還可以采用齒條傳動(dòng)，具體為，在第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)92的輸出軸上設(shè)置第二驅(qū)動(dòng)齒輪16以及在底盤(pán)2上位于驅(qū)動(dòng)板91下方的第二齒條17，第二齒條17與中心軸垂直，第二齒條17通過(guò)固定座架設(shè)在驅(qū)動(dòng)板91下方的前后兩側(cè)上，第二驅(qū)動(dòng)齒16與第二齒條17嚙合，驅(qū)動(dòng)板91固定在第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)92上，從而使第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)92能夠帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)板91在第二齒條17上移動(dòng)；在底盤(pán)2與驅(qū)動(dòng)板91之間設(shè)有與涂布平臺(tái)1的中心軸垂直設(shè)置的第二導(dǎo)軌96，第二導(dǎo)軌96設(shè)置在與第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)位置相對(duì)應(yīng)處，在第二導(dǎo)軌96上設(shè)有第二滑塊97，驅(qū)動(dòng)板91與第二滑塊97連接。

如圖8所示，為本發(fā)明第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的第三種實(shí)現(xiàn)方式，第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)還可以為絲桿傳動(dòng)，在第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)92的輸出軸上通過(guò)聯(lián)軸器聯(lián)接有第二絲桿18，第二絲桿18的兩端分別通過(guò)軸承座連接固定，第二絲桿18與中心軸垂直，在第二絲桿18上設(shè)有具有內(nèi)螺紋的第二驅(qū)動(dòng)滑塊19，驅(qū)動(dòng)板91設(shè)置在第二驅(qū)動(dòng)滑塊19上，通過(guò)第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)92驅(qū)動(dòng)第二絲桿18的轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使第二驅(qū)動(dòng)滑塊18帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)板91在第二絲桿18上移動(dòng)；在底盤(pán)2與驅(qū)動(dòng)板91之間設(shè)有與涂布平臺(tái)1的中心軸垂直設(shè)置的第二導(dǎo)軌96，第二導(dǎo)軌96設(shè)置在與第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)位置相對(duì)應(yīng)處，在第二導(dǎo)軌96上設(shè)有第二滑塊97，驅(qū)動(dòng)板91與第二滑塊97連接。

本發(fā)明中，涂布平臺(tái)1的軸向長(zhǎng)度大于或等于光阻涂布機(jī)對(duì)應(yīng)玻璃長(zhǎng)度，涂布平臺(tái)的涂布檢測(cè)面的寬度為5-10cm；涂布平臺(tái)1的截面形狀為等邊三角形或正方形。

作為本發(fā)明涂布平臺(tái)1的一種實(shí)施方式，如圖2所示，涂布平臺(tái)1包括內(nèi)層101以及包覆在內(nèi)層101外的外層102，內(nèi)層101采用PVC或PTFE等硬質(zhì)材料制成，主要用于保持形狀，外層102采用SiN_x(氮化硅)、Mo(鉬)或Al(鋁)等與光阻涂布制程的基板表面狀況相同，但是又不與溶媒(Solvent)發(fā)生反應(yīng)的材料。

本發(fā)明的清潔方式如下，通過(guò)雙向閥6將與第二儲(chǔ)罐8連接的一側(cè)管路連通，將溶媒(Solvent)通向清洗噴頭5對(duì)涂布平臺(tái)1的涂布檢測(cè)面進(jìn)行沖洗，在第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下，對(duì)整塊涂布檢測(cè)面進(jìn)行沖洗，廢液經(jīng)底盤(pán)2進(jìn)行收集后由排液孔3排出，在清洗完后雙向閥6將與第一儲(chǔ)罐7連接的一側(cè)管路連通，使氮?dú)馔ㄏ蚯逑磭婎^5對(duì)涂布平臺(tái)1的涂布檢測(cè)面進(jìn)行吹干形式的清潔，完成整個(gè)清潔步驟。

如圖9所示，本發(fā)明的光阻涂布機(jī)包括現(xiàn)有技術(shù)中的光阻涂布裝置10以及作業(yè)平臺(tái)11，光阻涂布裝置10為狹縫噴涂裝置，光阻涂布裝置檢測(cè)機(jī)構(gòu)100設(shè)置在光阻涂布裝置10與作業(yè)平臺(tái)11之間，光阻涂布裝置檢測(cè)機(jī)構(gòu)中的涂布平臺(tái)1的涂布檢測(cè)面與作業(yè)平臺(tái)11上的待涂布光阻的基板玻璃的表面齊平，由于現(xiàn)有的光阻涂布裝置10具有可使涂布噴嘴移動(dòng)至作業(yè)平臺(tái)11上的導(dǎo)軌，因此可通過(guò)移動(dòng)涂布噴嘴至光阻涂布裝置檢測(cè)機(jī)構(gòu)處實(shí)現(xiàn)對(duì)涂布噴嘴的檢測(cè)。

所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)81、第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)92以及雙向閥6可與光阻涂布機(jī)的控制器連接，從而對(duì)其輸入電信號(hào)，進(jìn)行控制，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。

本發(fā)明通過(guò)將確認(rèn)光阻涂布裝置的涂布噴嘴復(fù)機(jī)時(shí)間由原來(lái)的40分鐘縮短至3分鐘，不僅提升了設(shè)備產(chǎn)能，也節(jié)省了耗材(虛擬涂布基板)。

雖然已經(jīng)參照特定實(shí)施例示出并描述了本發(fā)明，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員將理解：在不脫離由權(quán)利要求及其等同物限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可在此進(jìn)行形式和細(xì)節(jié)上的各種變化。