技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種三維電磁懸浮微鏡，包括定子和轉(zhuǎn)子，所述定子包括若干塊軸向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電極、若干塊徑向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電極、公共電極、懸浮線圈、穩(wěn)定線圈及引腳，若干塊軸向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電極呈環(huán)形分布于定子上，若干塊徑向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電極呈環(huán)形分布于定子上，公共電極為圓形；懸浮線圈分布于軸向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電極所在圓環(huán)的外周，穩(wěn)定線圈分布于懸浮線圈的外周；所述引腳沿著定子的徑向引出；所述轉(zhuǎn)子中心設(shè)有反射鏡。本實用新型由于采用電磁懸浮結(jié)合靜電驅(qū)動技術(shù)，實現(xiàn)微鏡的軸向大尺度旋轉(zhuǎn)和徑向旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)三維成像，尤其是軸向±180度范圍大旋轉(zhuǎn)角度成像。

技術(shù)研發(fā)人員：肖奇軍;M·卡夫;王苑;劉一凡;歐陽思潔
受保護的技術(shù)使用者：肇慶學院
文檔號碼：201621313465
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.02
技術(shù)公布日：2017.06.27