技術(shù)特征：

1.一種三維電磁懸浮微鏡，其特征在于，包括定子和轉(zhuǎn)子，所述定子包括若干塊軸向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電極、若干塊徑向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電極、公共電極、懸浮線圈、穩(wěn)定線圈及引腳，若干塊軸向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電極呈環(huán)形分布于定子上，若干塊徑向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電極呈環(huán)形分布于定子上，公共電極為圓形；懸浮線圈分布于軸向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電極所在圓環(huán)的外周，穩(wěn)定線圈分布于懸浮線圈的外周；所述引腳沿著定子的徑向引出；所述轉(zhuǎn)子中心設(shè)有反射鏡。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維電磁懸浮微鏡，其特征在于，所述徑向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電極所在的圓環(huán)大于公共電極所在的圓，小于軸向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電極所在的圓環(huán)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維電磁懸浮微鏡，其特征在于，所述三維電磁懸浮微鏡還包括電容檢測電路、控制器和控制極板；所述控制極板與軸向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電極、徑向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電極連接；所述電容檢測電路與控制極板連接，用于獲取轉(zhuǎn)子實際轉(zhuǎn)角，并與參考轉(zhuǎn)角比較以獲取誤差值；所述控制器包括軸向旋轉(zhuǎn)控制器和徑向旋轉(zhuǎn)控制器；所述誤差值經(jīng)過軸向旋轉(zhuǎn)控制器后獲得電壓ΔV₁，經(jīng)過徑向轉(zhuǎn)動控制器后輸出電壓ΔV₂～ΔV₃，再分別和預載電壓V_b疊加后獲得施加在控制極板上的控制電壓信號V₁～V₇，其中V₁～V₃為軸向旋轉(zhuǎn)控制電壓，V₄～V₇為徑向旋轉(zhuǎn)控制電壓。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維電磁懸浮微鏡，其特征在于，所述轉(zhuǎn)子上設(shè)有呈環(huán)形均勻分布在轉(zhuǎn)子上的若干通孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維電磁懸浮微鏡，其特征在于，所述定子上設(shè)有3個均分于定子所在平面的夾角為120°的引腳間隙，所述引腳沿著定子的徑向從引腳間隙引出。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維電磁懸浮微鏡，其特征在于，所述軸向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電極設(shè)有6塊，電極夾角為30°，電極之間夾角為30°；所述徑向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電極設(shè)有8塊，電極夾角為37°，電極之間夾角為8°。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維電磁懸浮微鏡，其特征在于，所述定子采用基于UV-LIGA技術(shù)加工而成；所述轉(zhuǎn)子用鐳射加工機切割鋁箔形成。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維電磁懸浮微鏡，其特征在于，所述定子還包括設(shè)置在徑向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電極上的支撐柱。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的三維電磁懸浮微鏡，其特征在于，所述支撐柱采用光刻和腐蝕工藝獲得。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維電磁懸浮微鏡，其特征在于，所述定子為金屬平面結(jié)構(gòu)。