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一種基于MEMS振鏡和鼓鏡的廣角掃描系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):11652292閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及基于MEMS振鏡和鼓鏡的廣角掃描系統(tǒng),包括MEMS振鏡(1)和鼓鏡(4),及位于MEMS振鏡(1)和鼓鏡(4)之間的第一平凸透鏡(2)和第二平凸透鏡(3),第一平凸透鏡(2)和第二平凸透鏡(3)組成擴(kuò)束鏡,鼓鏡(4)在步進(jìn)電機(jī)帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn),來自光源的光束到達(dá)MEMS振鏡(1)并經(jīng)其反射后得到小角度的掃描光束,然后到達(dá)第一平凸透鏡(2),之后到達(dá)第二平凸透鏡(3),經(jīng)第一平凸透鏡(2)和第二平凸透鏡(3)進(jìn)行擴(kuò)束,最后再到達(dá)鼓鏡(4),鼓鏡(4)由步進(jìn)電機(jī)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)從而獲得遠(yuǎn)場發(fā)散角小于0.5mrd的掃描光束。本實(shí)用新型可以降低對(duì)系統(tǒng)中器件的技術(shù)要求,從而能通過更小的成本實(shí)現(xiàn)相同甚至更高的技術(shù)指標(biāo),極大地削減成本。

技術(shù)研發(fā)人員:魏安琨
受保護(hù)的技術(shù)使用者:合肥芯欣智能科技有限公司
文檔號(hào)碼:201621252045
技術(shù)研發(fā)日:2016.11.16
技術(shù)公布日:2017.07.25

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