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一種基于MEMS振鏡和鼓鏡的廣角掃描系統(tǒng)的制造方法與工藝技術資料下載

技術編號:11652292

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本實用新型屬于激光測距技術領域,涉及一種光束掃描裝置,具體涉及一種基于MEMS振鏡和鼓鏡的廣角掃描系統(tǒng)。背景技術目前的掃描式激光雷達包括以下幾種掃描方式:步進電機帶動掃描方式、高速振鏡掃描方式、MEMS振鏡掃描方式以及光相控陣技術。其中,步進電機帶動掃描方式和MEMS振鏡掃描方式是現(xiàn)在的主流方式。采用步進電機帶動掃描方式的代表為Velodyne公司的多線激光雷達。這種掃描方式的掃描精度和步進電機的精度相關,要獲取高精度的點云陣列對步進電機的參數(shù)有著非常高的要求。Velodyne公司的產(chǎn)品能達到5...
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