技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種XYZ多掃描驅(qū)動(dòng)軸可移動(dòng)多棱鏡光路直寫設(shè)備，屬于直寫曝光技術(shù)領(lǐng)域。本實(shí)用新型的XYZ多掃描驅(qū)動(dòng)軸可移動(dòng)多棱鏡光路直寫設(shè)備，主要對真空吸盤結(jié)構(gòu)進(jìn)行了改進(jìn)，有效解決了生產(chǎn)小板時(shí)由于漏氣而造成的吸力不足的問題。進(jìn)一步地，吸盤上的氣孔分布為中間疏、四周密，有效杜絕了板子邊緣翹起的問題，節(jié)省了氣孔數(shù)量，減少了成本。

技術(shù)研發(fā)人員：沈小宏;趙華
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無錫影速半導(dǎo)體科技有限公司
文檔號(hào)碼：201621246474
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.22
技術(shù)公布日：2017.07.14