本實(shí)用新型涉及一種XYZ多掃描驅(qū)動(dòng)軸可移動(dòng)多棱鏡光路直寫設(shè)備，屬于直寫曝光技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

PCB(印刷電路板)是電子元器件的支撐體，同時(shí)也是電子元器件電氣連接的載體。常見的PCB生產(chǎn)設(shè)備有傳統(tǒng)的曝光機(jī)、多棱鏡結(jié)構(gòu)激光直寫曝光機(jī)、DMD結(jié)構(gòu)激光直寫曝光機(jī)等。激光直寫曝光機(jī)可以直接將圖像在PCB板上成像，相對(duì)于傳統(tǒng)的曝光機(jī)，不需要用到菲林，形成的圖像更清晰。

隨著市場(chǎng)對(duì)PCB板的功能要求越來越高，PCB板也變得越來越復(fù)雜，系統(tǒng)兼容性越高，有時(shí)候需要尺寸很大的基板，但是，對(duì)于尺寸大于48英寸的超大板，現(xiàn)有技術(shù)中還沒有可以高質(zhì)量加工的技術(shù)和設(shè)備。傳統(tǒng)的曝光機(jī)可以生產(chǎn)超大板，但是其加工精度差，達(dá)不到高密度、細(xì)間距的要求。

目前激光直寫設(shè)備所能曝光的電路板最大尺寸(610×530)，隨著電路板的尺寸的加大，將會(huì)導(dǎo)致設(shè)備外形尺寸變大，影響拼接精度以及對(duì)位精度，導(dǎo)致良品率下降。

如果通過增大吸盤可曝光的尺寸的方法來制備激光直寫曝光機(jī)，由于所需的真空吸盤尺寸是比較大的，有時(shí)會(huì)超過55英寸，會(huì)存在如下問題：(1)當(dāng)所曝光的PCB板實(shí)際尺寸較小時(shí)，而吸盤結(jié)構(gòu)支持較大的真空范圍，對(duì)于沒有覆蓋板子的區(qū)域，會(huì)產(chǎn)生漏氣，影響吸盤對(duì)基板的吸附；(2)由于基板運(yùn)輸過程中可能會(huì)有邊角翹起，若真空吸力不夠，吸盤無法將板子吸平，會(huì)影響到曝光PCB板的質(zhì)量，可造成基板報(bào)廢。為解決這一問題，目前的方法有三種：

方法一：直接無視該問題，但會(huì)對(duì)客戶工廠PCB板要求很高，板子不平時(shí)，會(huì)來來回回對(duì)板子進(jìn)行手動(dòng)彎折，嚴(yán)重影響生產(chǎn)效率。

方法二：針對(duì)不同尺寸的板子，設(shè)計(jì)不同的吸盤墊板。墊板上吸真空的孔覆蓋范圍，與板子大小一致。這種方法簡(jiǎn)單，操作稍微麻煩，但是當(dāng)生產(chǎn)55英寸的板子時(shí)，需要更換55英寸的墊板，難度成倍增加，換墊板的時(shí)間，會(huì)增加150％～200％，嚴(yán)重影響生產(chǎn)效率。

方法三：對(duì)于板子未覆蓋抽真空區(qū)域，用物品堵上，常用的是裁剪使用過的菲林。這種方法很經(jīng)濟(jì)實(shí)惠，但是很麻煩，不同大小的PCB板，需要將菲林裁剪成不同的大小，長(zhǎng)期下來，會(huì)造成機(jī)臺(tái)生產(chǎn)區(qū)域裁剪后的菲林堆積，尋找需要的尺寸也麻煩。

由此可見，現(xiàn)有技術(shù)中通常采用更換尺寸合適的吸盤或者尋找形狀大小合適的廢棄菲林來封堵漏氣點(diǎn)的方式，都會(huì)大大降低生產(chǎn)效率。

綜上，目前的多棱鏡光路直寫設(shè)備存在不能生產(chǎn)超大板、真空吸盤漏氣等問題亟待解決。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)以上問題，本實(shí)用新型提供了真空吸盤及含有該真空吸盤的一種XYZ多掃描驅(qū)動(dòng)軸可移動(dòng)多棱鏡光路直寫設(shè)備，以解決現(xiàn)有技術(shù)不能生產(chǎn)超大板、真空吸盤漏氣、曝光過程中對(duì)焦和定位不準(zhǔn)確等問題。

本實(shí)用新型的第一個(gè)目的是提供一種真空吸盤，所述真空吸盤，包括吸盤主體和真空發(fā)生裝置；吸盤主體上以行和列的形式分布一定數(shù)量的氣孔，每一行氣孔各對(duì)應(yīng)一個(gè)繼電器，每一列氣孔也各對(duì)應(yīng)一個(gè)繼電器；每個(gè)氣孔與真空發(fā)生裝置之間連接有氣孔開關(guān)；氣孔開關(guān)同時(shí)與該氣孔所在行的繼電器和該氣孔所在列的繼電器連接。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述氣孔開關(guān)位于氣孔與真空發(fā)生裝置連接的真空管路上。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述氣孔開關(guān)為電磁開關(guān)。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述繼電器與總控制裝置連接。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述氣孔在吸盤主體上呈中間疏、四周密的分布形式。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述氣孔的行間距和列間距由吸盤主體中間到兩邊呈均勻遞減的形式。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，位于吸盤主體中部區(qū)域的氣孔的行間距或列間距最大為0.5-3.5英寸，位于吸盤主體邊緣區(qū)域的氣孔的行間距或列間距最小為3-9mm。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，位于吸盤主體中部區(qū)域的氣孔的行間距或列間距最大為1-3英寸，位于吸盤主體邊緣區(qū)域的氣孔的行間距或列間距最小為5-8mm。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，位于吸盤主體中部區(qū)域的氣孔的行間距或列間距最大為3.2英寸，位于吸盤主體邊緣區(qū)域的氣孔的行間距或列間距最小為5.5mm。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述氣孔在吸盤主體上的開口形狀可以是圓形、橢圓形、正方形、長(zhǎng)方形等任意形狀，比如圓形。采用正方形或者長(zhǎng)方形的開口形狀，其開口邊緣呈直線形狀，更容易與同樣是邊緣為直線形的基板邊緣契合。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述氣孔在吸盤主體上的開口面積為10mm²～500mm²。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述氣孔在吸盤主體上的開口面積為50mm²～350mm²。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述氣孔在吸盤主體上的開口面積為100mm²～250mm²。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述氣孔在吸盤主體上的開口面積為200mm²。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述吸盤主體的最大寬度為55英寸。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述吸盤主體的盤面為一整體盤面或由多塊盤面組合而成。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述吸盤主體的盤面由兩塊等大的盤面組合而成。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述吸盤主體可以分為吸盤支撐結(jié)構(gòu)和墊板，也可以是墊板與吸盤支撐結(jié)構(gòu)合為一體的一體式結(jié)構(gòu)。當(dāng)吸盤主體為吸盤支撐結(jié)構(gòu)和墊板分開的結(jié)構(gòu)時(shí)，墊板安裝在吸盤支撐結(jié)構(gòu)表面，墊板表面設(shè)計(jì)有均勻分布的氣孔，墊板下方是與氣孔連接的真空氣路。

本實(shí)用新型的第二個(gè)目的是提供含有本實(shí)用新型的真空吸盤的裝置。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述裝置可以是各種類型的曝光機(jī)。

本實(shí)用新型的第三個(gè)目的是提供含有本實(shí)用新型的真空吸盤的XYZ多掃描驅(qū)動(dòng)軸可移動(dòng)多棱鏡光路直寫設(shè)備。

所述XYZ多掃描驅(qū)動(dòng)軸可移動(dòng)多棱鏡光路直寫設(shè)備包括底座、多棱鏡光路、步進(jìn)驅(qū)動(dòng)軸、連接板、真空吸盤、多個(gè)運(yùn)動(dòng)組件、相機(jī)；所述運(yùn)動(dòng)組件包括一個(gè)掃描驅(qū)動(dòng)X軸、一個(gè)掃描驅(qū)動(dòng)Y軸和一個(gè)升降驅(qū)動(dòng)Z軸；真空吸盤位于運(yùn)動(dòng)組件上方。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述真空吸盤是上述提及的本實(shí)用新型的任意一種真空吸盤。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述多棱鏡光路通過連接板與步進(jìn)驅(qū)動(dòng)軸連接。多棱鏡光路可隨著步進(jìn)驅(qū)動(dòng)軸的滑塊沿著導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)。

本實(shí)用新型中，XYZ多掃描驅(qū)動(dòng)軸是指含有兩個(gè)以上運(yùn)動(dòng)組件，且運(yùn)動(dòng)組件包括一個(gè)掃描驅(qū)動(dòng)X軸、一個(gè)掃描驅(qū)動(dòng)Y軸和一個(gè)升降驅(qū)動(dòng)Z軸；可移動(dòng)是指多棱鏡光路可隨著步進(jìn)驅(qū)動(dòng)軸的滑塊沿著導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述XYZ多掃描驅(qū)動(dòng)軸可移動(dòng)多棱鏡光路直寫設(shè)備含有兩個(gè)運(yùn)動(dòng)組件。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述真空吸盤即為載物臺(tái)，與運(yùn)動(dòng)組件的升降驅(qū)動(dòng)Z軸連接。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述多個(gè)運(yùn)動(dòng)組件之間沿X軸方向并列設(shè)置。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述多個(gè)運(yùn)動(dòng)組件的個(gè)數(shù)為兩個(gè)。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述真空吸盤的吸盤主體的盤面為一整體盤面或由多塊盤面組合而成。當(dāng)由多塊盤面組合而成時(shí)，每塊盤面對(duì)應(yīng)一個(gè)或者多個(gè)運(yùn)動(dòng)組件。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述真空吸盤的吸盤主體由左右兩個(gè)大小相同的盤面合并而成；每個(gè)盤面對(duì)應(yīng)一個(gè)運(yùn)動(dòng)組件。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述兩個(gè)盤面之間不采取任何連接，或者采用球鉸鏈結(jié)構(gòu)連接，或者采用硬連接。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述相機(jī)位于真空吸盤上方。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述掃描驅(qū)動(dòng)X軸位于升降驅(qū)動(dòng)Z軸下方，與升降驅(qū)動(dòng)Z軸連接。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述掃描驅(qū)動(dòng)Y軸位于掃描驅(qū)動(dòng)X軸下方，與掃描驅(qū)動(dòng)X軸連接。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和效果：

(1)本實(shí)用新型的XYZ多掃描驅(qū)動(dòng)軸可移動(dòng)多棱鏡光路直寫設(shè)備，主要對(duì)真空吸盤結(jié)構(gòu)進(jìn)行了改進(jìn)。本實(shí)用新型的真空吸盤為自動(dòng)化的真空吸盤，吸盤表面分布有一系列的氣孔，當(dāng)氣孔上面有PCB板覆蓋時(shí)，氣孔通路工作，當(dāng)氣孔上面沒有PCB板覆蓋時(shí)，氣孔閉合，有效解決了生產(chǎn)小板時(shí)，由于漏氣而造成的吸力不足的問題。進(jìn)一步地，吸盤上的氣孔分布為中間疏、四周密，既使得不同大小的PCB板在放置時(shí)，邊緣部分始終有氣孔，有效杜絕板子邊緣翹起的問題，又可以在中間不需要太多氣孔的地方節(jié)省氣孔數(shù)量，減少了成本、提高了效率。

(2)本實(shí)用新型的XYZ多掃描驅(qū)動(dòng)軸可移動(dòng)多棱鏡光路直寫設(shè)備，曝光機(jī)吸盤寬度可以設(shè)置成55英寸，可生產(chǎn)55英寸的超大板，同時(shí)又能保證高精度、高密度、細(xì)線距等需求；且吸盤下方連接多組運(yùn)動(dòng)組件，多組運(yùn)動(dòng)組件的運(yùn)動(dòng)軸同步運(yùn)動(dòng)，提高了曝光精度和運(yùn)行的穩(wěn)定性，曝光線間距可達(dá)30微米以下，曝光不良率下降到0.1％以下。

(3)本實(shí)用新型的直寫設(shè)備光路可移動(dòng)，并且可覆蓋臺(tái)面的整個(gè)寬度，可以減少光路的使用，減少成本；含有掃描驅(qū)動(dòng)X軸，減少光路移動(dòng)距離。可以通過改變升降軸的高度，對(duì)應(yīng)不同的板厚，使得光路最佳焦面保持不變；同時(shí)，采用多升降軸，可以加強(qiáng)載物臺(tái)支撐，減少變形。

(4)本實(shí)用新型可以支持1.2m×1m的背板，既可以是一塊大板，也可以是小板拼在一起組成大板。該實(shí)用新型極大的補(bǔ)充了市場(chǎng)的空缺。

(5)本實(shí)用新型的直寫設(shè)備采用上部多棱鏡光路步進(jìn)驅(qū)動(dòng)軸和下部掃描驅(qū)動(dòng)X軸結(jié)合，使得上部多棱鏡光路和下部真空吸盤可沿橫向方向自由移動(dòng)，最大限度擴(kuò)展了橫向上的曝光范圍，加大曝光的靈活機(jī)動(dòng)性；設(shè)備下部多組運(yùn)動(dòng)組件的設(shè)計(jì)，使真空吸盤擁有多個(gè)支撐點(diǎn)，使吸盤在運(yùn)動(dòng)過程中有更好的穩(wěn)定性，同時(shí)避免單組件支撐較大吸盤時(shí)可能出現(xiàn)的連接不牢固而導(dǎo)致的吸盤發(fā)生傾斜、轉(zhuǎn)動(dòng)等問題。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的真空吸盤結(jié)構(gòu)示意圖；其中，1吸盤主體、3氣孔、4繼電器、6總控制裝置；

圖2為本實(shí)用新型的真空吸盤的真空發(fā)生裝置與氣孔連接示意圖；其中，2真空發(fā)生裝置、5氣孔開關(guān)；

圖3為傳統(tǒng)的真空吸盤放置基板后的結(jié)構(gòu)示意圖；其中，14基板；

圖4為本實(shí)用新型的真空吸盤放置基板后的一種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為調(diào)整本實(shí)用新型的真空吸盤上的基板位置后的一種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為含有本實(shí)用新型的真空吸盤的XYZ雙掃描驅(qū)動(dòng)軸可移動(dòng)多棱鏡光路直寫設(shè)備；其中，7底座、8多棱鏡光路、9步進(jìn)驅(qū)動(dòng)軸、10真空吸盤、12掃描驅(qū)動(dòng)Y軸、15連接板、16相機(jī)；

圖7為XYZ雙掃描驅(qū)動(dòng)軸可移動(dòng)多棱鏡光路直寫設(shè)備取掉真空吸盤后的示意圖；其中，11掃描驅(qū)動(dòng)X軸、13升降驅(qū)動(dòng)Z軸。

具體實(shí)施方案

多棱鏡光路：通過多棱鏡翻轉(zhuǎn)來改變曝光圖形；

步進(jìn)驅(qū)動(dòng)軸：直線電機(jī)系統(tǒng)，光路安裝在電機(jī)的運(yùn)動(dòng)部分，也叫X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)或者步進(jìn)軸，用來做步進(jìn)運(yùn)動(dòng)。

掃描驅(qū)動(dòng)X軸：也叫掃描軸或者X軸，用來做恒定速度的連續(xù)掃描運(yùn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)吸盤的運(yùn)動(dòng)。

掃描驅(qū)動(dòng)Y軸：也叫掃描軸或者Y軸，用來做恒定速度的連續(xù)掃描運(yùn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)吸盤的運(yùn)動(dòng)。

升降驅(qū)動(dòng)Z軸：也叫升降軸或者Z軸，用來控制吸盤的升降。

吸盤：用來吸附、固定PCB板的載物臺(tái)；可通過負(fù)壓將PCB板吸附在上面，曝光中實(shí)現(xiàn)PCB板的固定以及PCB板表面的平面度；

底座：大理石支撐座；

下面是對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行具體描述。

實(shí)施例1：真空吸盤

本實(shí)用新型的真空吸盤結(jié)構(gòu)如圖1-2所示。

本實(shí)用新型真空吸盤，包括吸盤主體1和真空發(fā)生裝置2；吸盤主體1上以行和列的形式分布一定數(shù)量的氣孔3，每一行氣孔3各對(duì)應(yīng)一個(gè)繼電器4，每一列氣孔也各對(duì)應(yīng)一個(gè)繼電器；每個(gè)氣孔3與真空發(fā)生裝置2之間連接有氣孔開關(guān)5；氣孔開關(guān)5同時(shí)與該氣孔所在行的繼電器和該氣孔所在列的繼電器連接。

各繼電器與總控制裝置6連接。氣孔開關(guān)位于氣孔與真空發(fā)生裝置連接的真空管路上。所述氣孔開關(guān)可以為電磁開關(guān)。所述氣孔，可以是均勻分布于吸盤主體上。

采用這樣的結(jié)構(gòu)和連接方式，在真空吸盤工作時(shí)，一定大小的基板放置在真空吸盤上，對(duì)于有基板覆蓋的氣孔行或者氣孔列，該行或列所對(duì)應(yīng)的繼電器通路；對(duì)于某氣孔而言，只有當(dāng)其所在行和所在列所對(duì)應(yīng)的繼電器都為通路使，該氣孔的氣孔開關(guān)才打開，進(jìn)而真空發(fā)生裝置與氣孔聯(lián)通，氣孔工作。在這種的情況下，沒有被基板覆蓋的氣孔開關(guān)為關(guān)閉狀態(tài)，從而解決了較大利用真空吸盤生產(chǎn)PCB時(shí)所存在的漏氣問題。

實(shí)施例2：真空吸盤

本實(shí)施例的真空吸盤，在實(shí)施例1的如圖1-2所示的真空吸盤的基礎(chǔ)上做出了改進(jìn)。

所述氣孔3在吸盤主體1上呈中間疏、四周密的分布形式。

傳統(tǒng)的真空吸盤，氣孔一般是采用均勻分布的形式，當(dāng)生產(chǎn)較小的PCB板時(shí)，可能在基板14放置在吸盤主體上后，基板所在某邊緣恰好位離兩側(cè)氣孔較遠(yuǎn)(如圖3所示)，從而導(dǎo)致該邊緣部分會(huì)因?yàn)闆]有真空吸力而翹起，對(duì)生產(chǎn)造成影響。采用本實(shí)用新型這種中間疏、四周密的分布形式后，如圖4-5所示，當(dāng)較小基板放置在真空吸盤上時(shí)，選擇將基板靠近吸盤主體邊緣放置，此時(shí)如果靠近吸盤主體上中間區(qū)域的基板邊緣恰好離兩側(cè)氣孔較遠(yuǎn)，那么可以選擇將該基板邊緣移動(dòng)至最近的一行或者一列氣孔上使之恰好覆蓋；由于吸盤主體的四周氣孔較密，這種移動(dòng)不會(huì)導(dǎo)致基板另一側(cè)邊緣離氣孔較遠(yuǎn)的現(xiàn)象。

可選地，所述氣孔的行間距和列間距由吸盤主體中間到兩邊呈均勻遞減的形式。

可選地，位于吸盤主體中部區(qū)域的氣孔的行間距或列間距最大為1-3英寸，位于吸盤主體邊緣區(qū)域的氣孔的行間距或列間距最小為5-8mm。氣孔在吸盤主體上的開口形狀可以是圓形、橢圓形、正方形、長(zhǎng)方形等任意形狀，比如圓形。所述氣孔在吸盤主體上的開口面積可以是任意的，比如10mm²～500mm²。

可選地，所述吸盤主體的盤面為一整體盤面或由多塊盤面組合而成。

實(shí)施例3：XYZ雙掃描驅(qū)動(dòng)軸可移動(dòng)多棱鏡光路直寫設(shè)備

以含有兩個(gè)運(yùn)動(dòng)組件的XYZ雙掃描驅(qū)動(dòng)軸可移動(dòng)多棱鏡光路直寫設(shè)備為例進(jìn)行舉例說明。

如圖6-7所示，為含有本實(shí)用新型的真空吸盤的XYZ雙掃描驅(qū)動(dòng)軸可移動(dòng)多棱鏡光路直寫設(shè)備。

所述XYZ雙掃描驅(qū)動(dòng)軸可移動(dòng)多棱鏡光路直寫設(shè)備包括底座7、多棱鏡光路8、步進(jìn)驅(qū)動(dòng)軸9、一個(gè)運(yùn)動(dòng)組件、真空吸盤10、連接板15、相機(jī)16；所述運(yùn)動(dòng)組件包括一個(gè)掃描驅(qū)動(dòng)X軸11、一個(gè)掃描驅(qū)動(dòng)Y軸12和一個(gè)升降驅(qū)動(dòng)Z軸13；真空吸盤10位于運(yùn)動(dòng)組件上方。

所述多棱鏡光路8通過連接板15與步進(jìn)驅(qū)動(dòng)軸9連接，可隨著步進(jìn)驅(qū)動(dòng)軸9的滑塊沿著導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)。所述掃描驅(qū)動(dòng)X軸11位于升降驅(qū)動(dòng)Z軸13下方，與升降驅(qū)動(dòng)Z軸連接；掃描驅(qū)動(dòng)Y軸12位于掃描驅(qū)動(dòng)X軸11下方，與掃描驅(qū)動(dòng)X軸連接；所述真空吸盤10，即為載物臺(tái)，與運(yùn)動(dòng)組件的升降驅(qū)動(dòng)Z軸13連接。真空吸盤，隨著掃描驅(qū)動(dòng)X軸、掃描驅(qū)動(dòng)Y軸、升降驅(qū)動(dòng)Z軸13的移動(dòng)而發(fā)生相應(yīng)的位置變化。

底座具有隔震作用，水平放置，所有零部件均安裝在其上方。

所述相機(jī)16位于真空吸盤10上方，用來抓取PCB大板的曝光區(qū)域。

將PCB板放在真空吸盤10(載物臺(tái))上，升降驅(qū)動(dòng)Z軸13控制載物臺(tái)10的高度尋找光路最佳焦面；通過相機(jī)16來尋找確定PCB板曝光起始位置，步進(jìn)驅(qū)動(dòng)軸9將多棱鏡光路8移動(dòng)至曝光起始位置，掃描驅(qū)動(dòng)X軸和掃描驅(qū)動(dòng)Y軸12將載物臺(tái)移動(dòng)至曝光起始位置；多棱鏡光路8開始曝光，同時(shí)掃描驅(qū)動(dòng)X軸和掃描驅(qū)動(dòng)Y軸12控制載物臺(tái)掃描直至曝光結(jié)束位置停止；曝光完一個(gè)區(qū)域后，多棱鏡光路8隨著步進(jìn)驅(qū)動(dòng)軸9步進(jìn)一個(gè)固定距離，使多棱鏡光路8處于PCB板未曝光的區(qū)域開始曝光；重復(fù)1～5N次后，整板曝光結(jié)束。本實(shí)用新型的設(shè)備，可以通過改變升降軸的高度，對(duì)應(yīng)不同的板厚，使得光路最佳焦面保持不變；同時(shí)，采用雙升降軸，可以加強(qiáng)載物臺(tái)支撐，減少變形。

可選地，所述真空吸盤的吸盤主體的盤面為一整體盤面。

實(shí)施例4：XYZ雙掃描驅(qū)動(dòng)軸可移動(dòng)多棱鏡光路直寫設(shè)備

以含有兩個(gè)運(yùn)動(dòng)組件的XYZ雙掃描驅(qū)動(dòng)軸可移動(dòng)多棱鏡光路直寫設(shè)備為例進(jìn)行舉例說明。

本實(shí)施例的XYZ雙掃描驅(qū)動(dòng)軸可移動(dòng)多棱鏡光路直寫設(shè)備，在實(shí)施例3的基礎(chǔ)上做出了改進(jìn)。

所述真空吸盤的吸盤主體的盤面由多塊盤面組合而成；每塊盤面對(duì)應(yīng)一個(gè)或者多個(gè)運(yùn)動(dòng)組件。

可選地，所述真空吸盤的吸盤主體由左右兩個(gè)大小相同的盤面合并而成；每個(gè)盤面對(duì)應(yīng)一個(gè)運(yùn)動(dòng)組件。

所述組成吸盤主體的兩個(gè)盤面之間不采取任何連接，或者采用球鉸鏈結(jié)構(gòu)連接，或者采用硬連接。

為生產(chǎn)55*40英寸的PCB板，因國(guó)內(nèi)加工工藝水平限制，無法生產(chǎn)精度高、面積大的吸盤，因此只能采取將兩塊吸盤盤面拼接的方式。本實(shí)用新型中，左右兩塊吸盤，分別用若干數(shù)量的螺釘固定在對(duì)應(yīng)的Z軸安裝面，然后兩塊吸盤之間的連接方式，可以有以下3種：

(1)吸盤之間不采取任何連接，單純依靠平臺(tái)控制兩Y軸的精度。優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，經(jīng)濟(jì)實(shí)惠，當(dāng)生產(chǎn)24英寸以下的板子時(shí)，只需要曝光一個(gè)吸盤范圍即可，不需要兩個(gè)吸盤都進(jìn)行曝光，生產(chǎn)板子尺寸更加靈活，更貼近客戶使用需求。

(2)吸盤之間采用球鉸鏈結(jié)構(gòu)連接，兩吸盤Z方向可以有輕微的高度不一致情況，Y方向運(yùn)動(dòng)過程中一致性靠平臺(tái)控制實(shí)現(xiàn)。優(yōu)點(diǎn)是一旦出現(xiàn)某個(gè)Y軸解鎖，通過兩吸盤的連接，會(huì)帶動(dòng)另一個(gè)Y軸解鎖，有效避免板子的損壞。因兩個(gè)Z軸高度差常規(guī)方法沒辦法精確測(cè)量至微米級(jí)別，或多或少都會(huì)存在一定高度差。該方法可以有效降低Z軸高度不一致導(dǎo)致出現(xiàn)Z軸運(yùn)動(dòng)時(shí)卡死等情況；

(3)吸盤之間采用硬連接，即用螺釘?shù)确绞綄晌P固定死。優(yōu)點(diǎn)是不論是Y軸突然斷電，或者是Z軸高度不一致，都不會(huì)造成板子報(bào)廢。

上述三種連接方法，可以根據(jù)實(shí)際情況，選擇其中一種方式進(jìn)行連接。

雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例公開如上，但其并非用以限定本實(shí)用新型，任何熟悉此技術(shù)的人，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，都可做各種的改動(dòng)與修飾，因此本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書所界定的為準(zhǔn)。