1.一種用于回收涂布機管道內(nèi)光刻膠的裝置，包括軟管(2)、高壓泵(5)、除雜處理裝置(10)和輸送泵(12)，其特征在于：所述軟管(2)上設(shè)置有單向閥(3)，且單向閥(3)與高壓泵(5)之間通過第一回收管(4)密封連接，所述高壓泵(5)與稀釋處理裝置(8)之間通過大口徑回收管(7)密封連接，且稀釋處理裝置(8)與除雜處理裝置(10)之間第二回收管(9)密封連接，所述除雜處理裝置(10)的右側(cè)設(shè)置有輸送泵(12)，且處理裝置(10)上安裝有控制閥(11)，所述輸送泵(12)與膠桶(14)之間通過第三回收管(13)密封連接，且膠桶(14)的底部設(shè)置有過濾網(wǎng)(15)，所述過濾網(wǎng)(15)的底部設(shè)置有開關(guān)閥(17)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于回收涂布機管道內(nèi)光刻膠的裝置，其特征在于：所述軟管(2)的左側(cè)設(shè)置有連接頭(1)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于回收涂布機管道內(nèi)光刻膠的裝置，其特征在于：所述高壓泵(5)的底部設(shè)置有底座(6)，且高壓泵(5)與底座(6)之間通過螺栓固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于回收涂布機管道內(nèi)光刻膠的裝置，其特征在于：所述過濾網(wǎng)(15)與開關(guān)閥(17)之間設(shè)置有密封塞(16)。