本實(shí)用新型涉及涂布機(jī)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種用于回收涂布機(jī)管道內(nèi)光刻膠的裝置。

背景技術(shù)：

目前，涂布機(jī)是薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管液晶顯示器在涂布工藝中的關(guān)鍵設(shè)備，用于將涂布劑涂布于液晶顯示器的玻璃基板上,現(xiàn)有的涂布機(jī)包括移動(dòng)件，噴嘴和泵，泵向噴嘴內(nèi)泵入涂布劑，移動(dòng)件可帶動(dòng)噴嘴移動(dòng)，隨著噴嘴的移動(dòng)，噴嘴可將所述涂布劑涂布于基板上。在制作彩膜基板和陣列基板的光刻工藝中，主要是利用光刻膠加上稀釋劑從而將光刻膠稀釋成一定濃度后，再以旋轉(zhuǎn)涂布方式或狹縫涂布方式,將稀釋后的光刻膠均勻涂布于基板上而為了使光刻膠可以均勻地涂布于基板上，旋轉(zhuǎn)涂布方式通常會(huì)先在該基板上涂布大量光刻膠，然后旋轉(zhuǎn)基板使光刻膠能夠均勻披覆于整個(gè)基板上，然而此種涂布方式中光刻膠的利用率較低，大多數(shù)的光刻膠都在旋轉(zhuǎn)涂布的過程中，被排入廢液槽中；而狹縫涂布方式中，是將工作臺(tái)上涂布完成的基板取走，再放置新的基板進(jìn)行涂布，而為了保證涂布的均勻，在等待下一基板到位的時(shí)間內(nèi)，要保持噴嘴出膠的連續(xù)性，即等待時(shí)間內(nèi)噴嘴也一直在出膠，該時(shí)間段的出膠也被排入廢液槽中。由此可見，光刻膠的浪費(fèi)比較嚴(yán)重，而且大量排出的光刻膠會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染，尤其對(duì)于大規(guī)模生產(chǎn)線而言，光刻膠被大量的浪費(fèi)，增加了生產(chǎn)成本。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于回收涂布機(jī)管道內(nèi)光刻膠的裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題，所具有的有益效果是；過濾裝置能夠?qū)⒒厥盏墓饪棠z過濾，使之符合使用要求，通過各部分裝置的配合，從而實(shí)現(xiàn)使用過的光刻膠的回收，減小光刻膠的浪費(fèi)，降低生產(chǎn)成本。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種用于回收涂布機(jī)管道內(nèi)光刻膠的裝置，包括軟管、高壓泵、除雜處理裝置和輸送泵，所述軟管上設(shè)置有單向閥，且單向閥與高壓泵之間通過第一回收管密封連接，所述高壓泵與稀釋處理裝置之間通過大口徑回收管密封連接，且稀釋處理裝置與除雜處理裝置之間第二回收管密封連接，所述除雜處理裝置的右側(cè)設(shè)置有輸送泵，且處理裝置上安裝有控制閥，所述輸送泵與膠桶之間通過第三回收管密封連接，且膠桶的底部設(shè)置有過濾網(wǎng)，所述過濾網(wǎng)的底部設(shè)置有開關(guān)閥。

優(yōu)選的，所述軟管的左側(cè)設(shè)置有連接頭。

優(yōu)選的，所述高壓泵的底部設(shè)置有底座，且高壓泵與底座之間通過螺栓固定連接。

優(yōu)選的，所述過濾網(wǎng)與開關(guān)閥之間設(shè)置有密封塞。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：該裝置結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡單，使用操作方便，提供過濾裝置能夠?qū)⒒厥盏墓饪棠z過濾，使之符合使用要求，通過各部分裝置的配合，從而實(shí)現(xiàn)使用過的光刻膠的回收，減小光刻膠的浪費(fèi)，降低生產(chǎn)成本，達(dá)到了減少光刻膠的浪費(fèi)及提高光刻膠的利用率的目的，大大的節(jié)約企業(yè)的制造成本，有力的增強(qiáng)了企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力，并且達(dá)到了資源重復(fù)利用的目標(biāo)。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1-連接頭；2-軟管；3-單向閥；4-第一回收管；5-高壓泵；6-底座；7-大口徑回收管；8-稀釋處理裝置；9-第二回收管；10-除雜處理裝置；11-控制閥；12-輸送泵；13-第三回收管；14-膠桶；15-過濾網(wǎng)；16-密封塞；17-開關(guān)閥。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù) 方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參閱圖1，本實(shí)用新型提供的一種實(shí)施例：一種用于回收涂布機(jī)管道內(nèi)光刻膠的裝置，包括軟管2、高壓泵5、除雜處理裝置10和輸送泵12，軟管2上設(shè)置有單向閥3，且單向閥3與高壓泵5之間通過第一回收管4密封連接，高壓泵5與稀釋處理裝置8之間通過大口徑回收管7密封連接，且稀釋處理裝置8與除雜處理裝置10之間第二回收管9密封連接，除雜處理裝置10的右側(cè)設(shè)置有輸送泵12，且處理裝置10上安裝有控制閥11，輸送泵12與膠桶14之間通過第三回收管13密封連接，且膠桶14的底部設(shè)置有過濾網(wǎng)15，過濾網(wǎng)15的底部設(shè)置有開關(guān)閥17，軟管2的左側(cè)設(shè)置有連接頭1，高壓泵5的底部設(shè)置有底座6，且高壓泵5與底座6之間通過螺栓固定連接，過濾網(wǎng)15與開關(guān)閥17之間設(shè)置有密封塞16。

工作原理：使用時(shí)，當(dāng)涂布機(jī)要進(jìn)行定期維護(hù)時(shí)，將光刻膠抽取裝置上打開，與本裝置的連接頭1密封連接，打開高壓泵5，然后將光刻膠抽取裝置選為逆向抽取模式，將涂布機(jī)管道內(nèi)的光刻膠抽取至稀釋處理裝置8和除雜處理裝置10內(nèi)，當(dāng)涂布機(jī)維護(hù)結(jié)束后，利用光刻膠回收容器內(nèi)的光刻膠填充涂布機(jī)管道，將光刻膠抽取裝置再次調(diào)整為正向抽取模式，此時(shí)光刻膠進(jìn)入到膠桶14中開始進(jìn)一步過濾。

對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。因此，無論從哪一點(diǎn)來看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變 化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。