本實(shí)用新型涉及一種回收光刻膠過濾裝置。

背景技術(shù)：

光掩膜版是集成電路制造工藝中的一個(gè)重要環(huán)節(jié)，它是一種在曝光中能把設(shè)計(jì)的圖形轉(zhuǎn)移到整個(gè)硅片中(或另一張光掩模版上)的工具。由于在制作過程中存在一定的設(shè)備或工藝局限，光掩膜版上的圖形并不可能與設(shè)計(jì)圖形完全一致，如塵埃顆粒、氣泡在光掩膜版上可造成掩膜版圖形出現(xiàn)針孔、斷線等缺陷，這些缺陷會(huì)伴隨著后續(xù)的光刻工藝被引入到芯片制造進(jìn)程。因此，光掩膜板的品質(zhì)將直接影響到芯片的良率和穩(wěn)定性。

勻膠鉻版是一種硬面光掩模材料，屬于光掩膜基版，即還未制作光刻圖案的光掩膜版。勻膠鉻版的涂膠工藝中，任何混入鉻版光刻膠層的缺陷都會(huì)被光刻工藝轉(zhuǎn)移到下游產(chǎn)品。因此，塵埃顆粒、氣泡等缺陷需嚴(yán)格控制。純凈的供膠系統(tǒng)是獲得無缺陷光刻膠層的基本前提條件之一。涂膠過程中，受膠瓶容量限制，需要頻繁的更換光刻膠。此外，滴膠嘴附近的光刻膠容易凝固形成顆粒。這些因素易使供膠系統(tǒng)造成污染，在勻膠時(shí)顆粒被帶至勻膠鉻版表面，從而影響良品率。因此，一般換膠后或是勻膠前會(huì)進(jìn)行少量的滴膠，以便將供膠系統(tǒng)內(nèi)的顆粒或雜質(zhì)等排掉。但是，這種預(yù)滴膠的方式會(huì)形成大量的含有雜質(zhì)的光刻膠(即回收光刻膠)。由于光刻膠價(jià)格昂貴，因此光刻膠會(huì)回收以進(jìn)一步利用，一般為在收集滿一瓶后都會(huì)繼續(xù)用于生產(chǎn)。如專利號(hào)201110382142.5公開的一種光刻膠回收系統(tǒng)，包括基板底盤及其上蓋、位于基板底盤上的基板旋轉(zhuǎn)盤、位于基板旋轉(zhuǎn)盤上用于放置基板的基板卡槽以及用于接收基板旋轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)過程中從基板上甩出的光刻膠的甩膠儲(chǔ)槽，所述基板底盤的上蓋在基板旋轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)過程中處于關(guān)閉狀態(tài)，能夠遮蓋基板以及甩膠儲(chǔ)槽，所述光刻膠回收系統(tǒng)還包括：與所述甩膠儲(chǔ)槽相連接的過濾裝置，通過設(shè)置有閥門的管道與所述甩膠儲(chǔ)槽連通，用于對(duì)從所述甩膠儲(chǔ)槽流出并通過所述管道流入的光刻膠進(jìn)行過濾；清洗裝置，用于對(duì)所述甩膠儲(chǔ)槽進(jìn)行清洗；控制裝置，用于在光刻膠回收階段控制所述閥門導(dǎo)通，并控制所述清洗裝置停止清洗甩膠儲(chǔ)槽；在清洗階段控制所述閥門關(guān)閉，并控制所述清洗裝置清洗甩膠儲(chǔ)槽。其實(shí)現(xiàn)了光刻膠的回收利用。

然而回收光刻膠含有較多雜質(zhì)，易對(duì)供膠系統(tǒng)形成二次污染，導(dǎo)致良率有較大波動(dòng)。因此，在回收光刻膠使用之前，需提供一種回收光刻膠過濾裝置，先對(duì)其進(jìn)行過濾處理，避免回收光刻膠造成二次污染，從而有利于保持良率的穩(wěn)定。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的就在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種回收光刻膠過濾裝置，本實(shí)用新型有效對(duì)回收光刻膠進(jìn)行過濾處理，以保證過濾后得到的光刻膠干凈清潔，以實(shí)現(xiàn)光刻膠回收利用于生產(chǎn)后保證生產(chǎn)穩(wěn)定性以及產(chǎn)品良率，同時(shí)本實(shí)用新型根據(jù)回收光刻膠污染程度，以合理利用各過濾器，提高過濾速率。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種回收光刻膠過濾裝置，包括膠罐、過濾裝置、控制器，所述膠罐內(nèi)設(shè)置有回收膠瓶，所述膠罐上設(shè)置有進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管上設(shè)置有進(jìn)氣閥；所述過濾裝置包括第一過濾器、第二過濾器和第三過濾器，所述第一過濾器內(nèi)的第一過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔大于所述第二過濾器內(nèi)的第二過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔，所述第二過濾器內(nèi)的第二過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔大于所述第三過濾器內(nèi)的第三過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔；所述第一過濾器的進(jìn)口通過膠管與所述回收膠瓶相連接，所述第一過濾器的出口通過第一閥門與所述第二過濾器的進(jìn)口相連接，且通過第二閥門與第一光刻膠膠瓶相連接；所述第二過濾器的出口通過第三閥門與所述第三過濾器的進(jìn)口相連接，且通過第四閥門與第二光刻膠膠瓶相連接；所述第三過濾器的出口通過第五閥門與第三光刻膠膠瓶相連接；所述第一光刻膠膠瓶、第二光刻膠膠瓶和第三光刻膠膠瓶的瓶口分別設(shè)置有第一液位傳感器、第二液位傳感器和第三液位傳感器；所述控制器分別與所述進(jìn)氣閥、第一閥門、第二閥門、第三閥門、第四閥門、第五閥門、第一液位傳感器、第二液位傳感器和第三液位傳感器相連接。

進(jìn)一步的，所述膠罐上設(shè)置有氣壓表。

進(jìn)一步的，所述進(jìn)氣閥、第一閥門、第二閥門、第三閥門、第四閥門和第五閥門均為電磁閥。

進(jìn)一步的，所述膠管的進(jìn)膠端插入所述回收膠瓶?jī)?nèi)，且所述進(jìn)膠端位于所述回收膠瓶的瓶底。

進(jìn)一步的，所述膠罐的底部設(shè)置有主電子秤。

進(jìn)一步的，所述第一光刻膠膠瓶、第二光刻膠膠瓶和第三光刻膠膠瓶的底部分別設(shè)置有第一電子秤、第二電子秤和第三電子秤。

進(jìn)一步的，所述回收光刻膠過濾裝置還包括平臺(tái)，所述膠罐通過所述主電子秤放置于所述平臺(tái)上；所述第一光刻膠膠瓶、第二光刻膠膠瓶和第三光刻膠膠瓶分別通過所述第一電子秤、第二電子秤和第三電子秤放置于所述平臺(tái)上。

本實(shí)用新型過濾裝置包括第一過濾器、第二過濾器和第三過濾器，且第一過濾器內(nèi)的第一過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔大于第二過濾器內(nèi)的第二過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔，第二過濾器內(nèi)的第二過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔大于第三過濾器內(nèi)的第三過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔，以實(shí)現(xiàn)了本實(shí)用新型的多級(jí)過濾設(shè)計(jì)，本實(shí)用新型根據(jù)回收光刻膠的污染程度以自行選擇回收光刻膠經(jīng)過幾級(jí)過濾，以合理利用各過濾器，提高過濾速率。

當(dāng)回收膠瓶?jī)?nèi)收集的回收光刻膠來源于正常換膠后進(jìn)行的預(yù)滴膠時(shí)，只需經(jīng)過一級(jí)過濾即可。此時(shí)控制器自動(dòng)打開進(jìn)氣閥、第二閥門，而第一閥門、第三閥門、第四閥門和第五閥門均處于關(guān)閉狀態(tài)。氣體(優(yōu)選地采用氮?dú)?從進(jìn)氣管進(jìn)入膠罐內(nèi)，膠罐內(nèi)氣體壓力增大，以將回收膠瓶?jī)?nèi)的回收光刻膠通過膠管輸出至第一過濾器內(nèi)，經(jīng)第一過濾器內(nèi)的第一過濾網(wǎng)一級(jí)過濾后得到的干凈光刻膠流入第一光刻膠膠瓶?jī)?nèi)。其中第一光刻膠膠瓶底部的第一電子秤用于測(cè)量第一光刻膠膠瓶?jī)?nèi)的干凈光刻膠的重量。通過第一光刻膠膠瓶瓶口的第一液位傳感器用于監(jiān)測(cè)第一光刻膠膠瓶?jī)?nèi)的最高液位，并將監(jiān)測(cè)的液位值發(fā)送給控制器，當(dāng)?shù)谝灰何粋鞲衅鞅O(jiān)測(cè)到第一光刻膠膠瓶?jī)?nèi)的液位到達(dá)最高液位時(shí)，控制器隨即關(guān)閉進(jìn)氣閥和第二閥門，以實(shí)現(xiàn)收集完一瓶干凈光刻膠后的自動(dòng)關(guān)閉功能，自動(dòng)化程度高，節(jié)省人力管理。其中主電子秤用于測(cè)量回收膠瓶?jī)?nèi)的回收光刻膠的重量，當(dāng)回收膠瓶?jī)?nèi)的回收光刻膠還剩少量時(shí)，如0.2kg時(shí)就要停止過濾，以防止氮?dú)膺M(jìn)入膠管或者各過濾器內(nèi)部，因?yàn)楣饪棠z遇到空氣(氮?dú)?易凝固。若是膠管或者膠罐內(nèi)有空氣，光刻膠易凝固形成小顆粒，成為污染源。

當(dāng)回收膠瓶?jī)?nèi)收集的回收光刻膠來源于基版膠層因少量小顆粒而進(jìn)行的預(yù)滴膠時(shí)，需經(jīng)過二級(jí)過濾。此時(shí)控制器自動(dòng)打開進(jìn)氣閥、第一閥門和第四閥門，而第二閥門、第三閥門、第五閥門處于關(guān)閉狀態(tài)。氣體從進(jìn)氣管進(jìn)入膠罐內(nèi)，膠罐內(nèi)氣體壓力增大，以將回收膠瓶?jī)?nèi)的回收光刻膠通過膠管輸出至第一過濾器內(nèi)，經(jīng)第一過濾器內(nèi)的第一過濾網(wǎng)一級(jí)過濾后得到的一級(jí)過濾光刻膠經(jīng)第一閥門后流入至第二過濾器，經(jīng)第二過濾器內(nèi)的第二過濾網(wǎng)二級(jí)過濾后得到的干凈光刻膠流入至第二光刻膠膠瓶?jī)?nèi)。其中第二光刻膠膠瓶底部的第二電子秤用于測(cè)量第二光刻膠膠瓶?jī)?nèi)的干凈光刻膠的重量。通過第二光刻膠膠瓶瓶口的第二液位傳感器用于監(jiān)測(cè)第二光刻膠膠瓶?jī)?nèi)的最高液位，并將監(jiān)測(cè)的液位值發(fā)送給控制器，當(dāng)?shù)诙何粋鞲衅鞅O(jiān)測(cè)到第二光刻膠膠瓶?jī)?nèi)的液位到達(dá)最高液位時(shí)，控制器隨即關(guān)閉進(jìn)氣閥、第一閥門和第四閥門，以實(shí)現(xiàn)收集完一瓶干凈光刻膠后的自動(dòng)關(guān)閉功能，自動(dòng)化程度高，節(jié)省人力管理。

當(dāng)回收膠瓶?jī)?nèi)收集的回收光刻膠來源于基版膠層因大量小顆粒而進(jìn)行的預(yù)滴膠時(shí)，需經(jīng)過三級(jí)過濾。此時(shí)控制器自動(dòng)打開進(jìn)氣閥、第一閥門、第三閥門和第五閥門，而第二閥門和第四閥門處于關(guān)閉狀態(tài)。氣體從進(jìn)氣管進(jìn)入膠罐內(nèi)，膠罐內(nèi)氣體壓力增大，以將回收膠瓶?jī)?nèi)的回收光刻膠通過膠管輸出至第一過濾器內(nèi)，經(jīng)第一過濾器內(nèi)的第一過濾網(wǎng)一級(jí)過濾后得到的一級(jí)過濾光刻膠經(jīng)第一閥門后流入至第二過濾器，經(jīng)第二過濾器內(nèi)的第二過濾網(wǎng)二級(jí)過濾后得到的二級(jí)過濾光刻膠經(jīng)第三閥門后流入至第三過濾器，經(jīng)第三過濾器內(nèi)的第三過濾網(wǎng)三級(jí)過濾后得到的干凈光刻膠流入至第三光刻膠膠瓶?jī)?nèi)。其中第三光刻膠膠瓶底部的第三電子秤用于測(cè)量第三光刻膠膠瓶?jī)?nèi)的干凈光刻膠的重量。通過第三光刻膠膠瓶瓶口的第三液位傳感器用于監(jiān)測(cè)第三光刻膠膠瓶?jī)?nèi)的最高液位，并將監(jiān)測(cè)的液位值發(fā)送給控制器，當(dāng)?shù)谌何粋鞲衅鞅O(jiān)測(cè)到第三光刻膠膠瓶?jī)?nèi)的液位到達(dá)最高液位時(shí)，控制器隨即關(guān)閉進(jìn)氣閥、第一閥門、第三閥門和第五閥門，以實(shí)現(xiàn)收集完一瓶干凈光刻膠后的自動(dòng)關(guān)閉功能，自動(dòng)化程度高，節(jié)省人力管理。

本實(shí)用新型的有益效果：

1、本實(shí)用新型過濾器包括第一過濾器、第二過濾器和第三過濾器，且第一過濾器內(nèi)的第一過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔大于第二過濾器內(nèi)的第二過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔，第二過濾器內(nèi)的第二過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔大于第三過濾器內(nèi)的第三過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔，以實(shí)現(xiàn)了本實(shí)用新型的多級(jí)過濾設(shè)計(jì)，本實(shí)用新型能夠根據(jù)回收光刻膠的污染程度以自行選擇回收光刻膠經(jīng)過幾級(jí)過濾，以合理利用各過濾器，提高過濾速率。通過控制器自動(dòng)開啟各閥門以合理選用各過濾器，自動(dòng)化程度高，可控制性強(qiáng)，節(jié)省人力。

2、本實(shí)用新型的氣壓表用于檢測(cè)膠罐內(nèi)的氣體壓力，以實(shí)時(shí)測(cè)量膠罐內(nèi)的氣體壓力值，直觀清晰。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。

上述附圖標(biāo)記：

1進(jìn)氣閥，2膠罐，3回收膠瓶，4主電子秤，5平臺(tái)，6氣壓表，7第一過濾器，8第二過濾器，9第三過濾器，10第一閥門，11第三閥門，12第五閥門，13第二閥門，14第四閥門，15第一液位傳感器，16第二液位傳感器，17第三液位傳感器，18第一光刻膠膠瓶，19第一電子秤，20第二光刻膠膠瓶，21第二電子秤，22第三光刻膠膠瓶，23第三電子秤，24膠管。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)實(shí)用新型進(jìn)一步說明，但不用來限制本實(shí)用新型的范圍。

實(shí)施例

如圖1所示，本實(shí)用新型提供的一種回收光刻膠過濾裝置，包括膠罐2、過濾裝置、控制器，所述膠罐2內(nèi)設(shè)置有回收膠瓶3，所述膠罐2上設(shè)置有進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管上設(shè)置有進(jìn)氣閥1；所述過濾裝置包括第一過濾器7、第二過濾器8和第三過濾器9，所述第一過濾器7內(nèi)的第一過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔大于所述第二過濾器8內(nèi)的第二過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔，所述第二過濾器8內(nèi)的第二過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔大于所述第三過濾器9內(nèi)的第三過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔；所述第一過濾器7的進(jìn)口通過膠管24與所述回收膠瓶3相連接，所述第一過濾器7的出口通過第一閥門10與所述第二過濾器8的進(jìn)口相連接，且通過第二閥門13與第一光刻膠膠瓶18相連接；所述第二過濾器8的出口通過第三閥門11與所述第三過濾器9的進(jìn)口相連接，且通過第四閥門14與第二光刻膠膠瓶20相連接；所述第三過濾器9的出口通過第五閥門12與第三光刻膠膠瓶22相連接；所述第一光刻膠膠瓶18、第二光刻膠膠瓶20和第三光刻膠膠瓶22的瓶口分別設(shè)置有第一液位傳感器15、第二液位傳感器16和第三液位傳感器17；所述控制器分別與所述進(jìn)氣閥1、第一閥門10、第二閥門13、第三閥門11、第四閥門14、第五閥門12、第一液位傳感器15、第二液位傳感器16和第三液位傳感器17相連接。

本實(shí)用新型的所述膠罐2上設(shè)置有氣壓表6。通過氣壓表6以實(shí)時(shí)測(cè)量膠罐2內(nèi)的氣體壓力值，直觀清晰。

本實(shí)用新型的所述進(jìn)氣閥1、第一閥門10、第二閥門13、第三閥門11、第四閥門14和第五閥門12均為電磁閥。

本實(shí)用新型的所述膠管24的進(jìn)膠端插入所述回收膠瓶3內(nèi)，且所述進(jìn)膠端位于所述回收膠瓶3的瓶底。

本實(shí)用新型的所述膠罐2的底部設(shè)置有主電子秤4。其中主電子秤4用于測(cè)量回收膠瓶3內(nèi)的回收光刻膠的重量。

本實(shí)用新型的所述第一光刻膠膠瓶18、第二光刻膠膠瓶20和第三光刻膠膠瓶22的底部分別設(shè)置有第一電子秤19、第二電子秤21和第三電子秤23。

本實(shí)用新型的所述回收光刻膠過濾裝置還包括平臺(tái)5，所述膠罐2通過所述主電子秤4放置于所述平臺(tái)5上；所述第一光刻膠膠瓶18、第二光刻膠膠瓶20和第三光刻膠膠瓶22分別通過所述第一電子秤19、第二電子秤21和第三電子秤23放置于所述平臺(tái)5上。

本實(shí)用新型過濾裝置包括第一過濾器7、第二過濾器8和第三過濾器9，且第一過濾器7內(nèi)的第一過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔大于第二過濾器8內(nèi)的第二過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔，第二過濾器8內(nèi)的第二過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔大于第三過濾器9內(nèi)的第三過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔，以實(shí)現(xiàn)了本實(shí)用新型的多級(jí)過濾設(shè)計(jì)，本實(shí)用新型根據(jù)回收光刻膠的污染程度以自行選擇回收光刻膠經(jīng)過幾級(jí)過濾，以合理利用各過濾器，提高過濾速率。

當(dāng)回收膠瓶3內(nèi)收集的回收光刻膠來源于正常換膠后進(jìn)行的預(yù)滴膠時(shí)，只需經(jīng)過一級(jí)過濾即可。此時(shí)控制器自動(dòng)打開進(jìn)氣閥1、第二閥門13，而第一閥門10、第三閥門11、第四閥門14和第五閥門12均處于關(guān)閉狀態(tài)。氣體(優(yōu)選地采用氮?dú)?從進(jìn)氣管進(jìn)入膠罐2內(nèi)，膠罐2內(nèi)氣體壓力增大，以將回收膠瓶3內(nèi)的回收光刻膠通過膠管24輸出至第一過濾器7內(nèi)，經(jīng)第一過濾器7內(nèi)的第一過濾網(wǎng)一級(jí)過濾后得到的干凈光刻膠流入第一光刻膠膠瓶18內(nèi)。其中第一光刻膠膠瓶18底部的第一電子秤19用于測(cè)量第一光刻膠膠瓶18內(nèi)的干凈光刻膠的重量。通過第一光刻膠膠瓶18瓶口的第一液位傳感器15用于監(jiān)測(cè)第一光刻膠膠瓶18內(nèi)的最高液位，并將監(jiān)測(cè)的液位值發(fā)送給控制器，當(dāng)?shù)谝灰何粋鞲衅?5監(jiān)測(cè)到第一光刻膠膠瓶18內(nèi)的液位到達(dá)最高液位時(shí)，控制器隨即關(guān)閉進(jìn)氣閥1和第二閥門13，以實(shí)現(xiàn)收集完一瓶干凈光刻膠后的自動(dòng)關(guān)閉功能，自動(dòng)化程度高，節(jié)省人力管理。其中主電子秤4用于測(cè)量回收膠瓶3內(nèi)的回收光刻膠的重量，當(dāng)回收膠瓶3內(nèi)的回收光刻膠還剩少量時(shí)，如0.2kg時(shí)就要停止過濾，以防止氮?dú)膺M(jìn)入膠管24或者各過濾器內(nèi)部，因?yàn)楣饪棠z遇到空氣(氮?dú)?易凝固。若是膠管24或者膠罐2內(nèi)有空氣，光刻膠易凝固形成小顆粒，成為污染源。

當(dāng)回收膠瓶3內(nèi)收集的回收光刻膠來源于基版膠層因少量小顆粒而進(jìn)行的預(yù)滴膠時(shí)，需經(jīng)過二級(jí)過濾。此時(shí)控制器自動(dòng)打開進(jìn)氣閥1、第一閥門10和第四閥門14，而第二閥門13、第三閥門11、第五閥門12處于關(guān)閉狀態(tài)。氣體從進(jìn)氣管進(jìn)入膠罐2內(nèi)，膠罐2內(nèi)氣體壓力增大，以將回收膠瓶3內(nèi)的回收光刻膠通過膠管輸出至第一過濾器7內(nèi)，經(jīng)第一過濾器7內(nèi)的第一過濾網(wǎng)一級(jí)過濾后得到的一級(jí)過濾光刻膠經(jīng)第一閥門10后流入至第二過濾器8，經(jīng)第二過濾器8內(nèi)的第二過濾網(wǎng)二級(jí)過濾后得到的干凈光刻膠流入至第二光刻膠膠瓶20內(nèi)。其中第二光刻膠膠瓶20底部的第二電子秤21用于測(cè)量第二光刻膠膠瓶20內(nèi)的干凈光刻膠的重量。通過第二光刻膠膠瓶20瓶口的第二液位傳感器16用于監(jiān)測(cè)第二光刻膠膠瓶20內(nèi)的最高液位，并將監(jiān)測(cè)的液位值發(fā)送給控制器，當(dāng)?shù)诙何粋鞲衅?6監(jiān)測(cè)到第二光刻膠膠瓶20內(nèi)的液位到達(dá)最高液位時(shí)，控制器隨即關(guān)閉進(jìn)氣閥1、第一閥門10和第四閥門14，以實(shí)現(xiàn)收集完一瓶干凈光刻膠后的自動(dòng)關(guān)閉功能，自動(dòng)化程度高，節(jié)省人力管理。

當(dāng)回收膠瓶3內(nèi)收集的回收光刻膠來源于基版膠層因大量小顆粒而進(jìn)行的預(yù)滴膠時(shí)，需經(jīng)過三級(jí)過濾。此時(shí)控制器自動(dòng)打開進(jìn)氣閥1、第一閥門10、第三閥門11和第五閥門12，而第二閥門13和第四閥門14處于關(guān)閉狀態(tài)。氣體從進(jìn)氣管進(jìn)入膠罐2內(nèi)，膠罐2內(nèi)氣體壓力增大，以將回收膠瓶3內(nèi)的回收光刻膠通過膠管輸出至第一過濾器7內(nèi)，經(jīng)第一過濾器7內(nèi)的第一過濾網(wǎng)一級(jí)過濾后得到的一級(jí)過濾光刻膠經(jīng)第一閥門10后流入至第二過濾器8，經(jīng)第二過濾器8內(nèi)的第二過濾網(wǎng)二級(jí)過濾后得到的二級(jí)過濾光刻膠經(jīng)第三閥門11后流入至第三過濾器9，經(jīng)第三過濾器9內(nèi)的第三過濾網(wǎng)三級(jí)過濾后得到的干凈光刻膠流入至第三光刻膠膠瓶22內(nèi)。其中第三光刻膠膠瓶22底部的第三電子秤23用于測(cè)量第三光刻膠膠瓶22內(nèi)的干凈光刻膠的重量。通過第三光刻膠膠瓶22瓶口的第三液位傳感器17用于監(jiān)測(cè)第三光刻膠膠瓶22內(nèi)的最高液位，并將監(jiān)測(cè)的液位值發(fā)送給控制器，當(dāng)?shù)谌何粋鞲衅?7監(jiān)測(cè)到第三光刻膠膠瓶22內(nèi)的液位到達(dá)最高液位時(shí)，控制器隨即關(guān)閉進(jìn)氣閥1、第一閥門10、第三閥門11和第五閥門12，以實(shí)現(xiàn)收集完一瓶干凈光刻膠后的自動(dòng)關(guān)閉功能，自動(dòng)化程度高，節(jié)省人力管理。

以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理、主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等同物界定。