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全介質(zhì)超薄二維圓偏振二色性器件的制作方法

文檔序號(hào):11855979閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種全介質(zhì)超薄二維圓偏振二色性器件,其特征在于:所述全介質(zhì)超薄二維圓偏振二色性器件由結(jié)構(gòu)單元陣列組成;所述結(jié)構(gòu)單元包括透光基底與覆蓋于透光基底上的介質(zhì)層;所述介質(zhì)層設(shè)有Z型通孔;所述Z型通孔貫穿介質(zhì)層的上表面與下表面;所述Z型通孔的縱向臂長為0.18μm~0.24μm,橫向臂長為0.48μm~0.54μm,縫寬為0.30μm~0.33μm;所述介質(zhì)層的厚度為0.23μm~0.26μm;所述全介質(zhì)超薄二維圓偏振二色性器件中,每個(gè)結(jié)構(gòu)單元的周期為0.97μm~1.00μm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述全介質(zhì)超薄二維圓偏振二色性器件,其特征在于:所述透光基底為二氧化硅基底;所述介質(zhì)層為半導(dǎo)體介質(zhì)層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述全介質(zhì)超薄二維圓偏振二色性器件,其特征在于:所述Z型通孔上,任意兩條邊的距離都小于每個(gè)結(jié)構(gòu)單元的周期。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述全介質(zhì)超薄二維圓偏振二色性器件,其特征在于:所述Z型通孔的縱向臂長為0.2μm,橫向臂長為0.5μm,縫寬為0.32μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述全介質(zhì)超薄二維圓偏振二色性器件,其特征在于:所述介質(zhì)層的厚度為0.25μm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述全介質(zhì)超薄二維圓偏振二色性器件,其特征在于:所述全介質(zhì)超薄二維圓偏振二色性器件中,每個(gè)結(jié)構(gòu)單元的周期為0.98μm。

7.一種全介質(zhì)超薄二維圓偏振二色性器件,其特征在于:所述全介質(zhì)超薄二維圓偏振二色性器件由結(jié)構(gòu)單元陣列組成;所述結(jié)構(gòu)單元為絕緣體硅片;所述絕緣體硅片的頂層硅層設(shè)有Z型通孔;所述Z型通孔貫穿頂層硅層的上表面與下表面;所述Z型通孔的縱向臂長為0.18μm~0.24μm,橫向臂長為0.48μm~0.54μm,縫寬為0.30μm~0.33μm;所述頂層硅層的厚度為0.20μm~0.26μm;所述全介質(zhì)超薄二維圓偏振二色性器件中,每個(gè)結(jié)構(gòu)單元的周期為0.97μm~1.00μm。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述全介質(zhì)超薄二維圓偏振二色性器件,其特征在于:所述Z型通孔上,任意兩條邊的距離都小于每個(gè)結(jié)構(gòu)單元的周期。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述全介質(zhì)超薄二維圓偏振二色性器件,其特征在于:所述Z型通孔的縱向臂長為0.2μm,橫向臂長為0.5μm,縫寬為0.32μm;所述頂層硅層的厚度為0.25μm。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述全介質(zhì)超薄二維圓偏振二色性器件,其特征在于:所述全介質(zhì)超薄二維圓偏振二色性器件中,每個(gè)結(jié)構(gòu)單元的周期為0.98μm。

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