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一種超高反射率光學(xué)掃描振鏡的制作方法

文檔序號(hào):11987710閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種超高反射率光學(xué)掃描振鏡,所述的光學(xué)掃描振鏡由玻璃基材層(1)及沉積鍍制在玻璃基材層上的高反膜(2)組成;其特征在于:

所述的高反膜(2)由9層膜層組成,9層膜層依照距離玻璃基材層從近至遠(yuǎn)的順序依次為:第一Al2O3膜層(21)、Ag膜層(22)、第二Al2O3膜層(23)、第一SiO2膜層(24)、第一高折射率材料膜層(25)、第二SiO2膜層(26)、第二高折射率材料膜層(27)、第三SiO2膜層(28)、第三高折射率材料膜層(29);

所述的第一高折射率材料膜層(25)、第二高折射率材料膜層(27)和第三高折射率材料膜層(29)均由折射率范圍為1.9~2.4的高折射率材料制成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超高反射率光學(xué)掃描振鏡,其特征在于:第一Al2O3膜層(21)的厚度為98-100nm,Ag膜層(22)的厚度為100-120nm,第二Al2O3膜層(23)的厚度為12-15nm,第一SiO2膜層(24)的厚度為118-120nm,第一高折射率材料膜層(25)的厚度為105-108nm,第二SiO2膜層(26)的厚度為135-138nm,第二高折射率材料膜層(27)的厚度為105-108nm,第三SiO2膜層(28)的厚度為135-138nm,第三高折射率材料膜層(29)的厚度為105-108nm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超高反射率光學(xué)掃描振鏡,其特征在于:所述的玻璃基材層(1)的外形為橢圓形或八角形狀。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超高反射率光學(xué)掃描振鏡,其特征在于:所述的玻璃基材層(1)是熔石英FS或K9玻璃;所述的高折射率材料為Nb2O5、TiO2、Ta2O5或ZrO2。

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