技術(shù)總結(jié)
一種控制OPC輔助圖形信號(hào)誤報(bào)率的建模方法，包括設(shè)計(jì)測(cè)試主圖形；所述測(cè)試主圖形通常包含一維和二維的標(biāo)準(zhǔn)圖形，并設(shè)計(jì)多組輔助圖形添加在標(biāo)準(zhǔn)一維和二維圖形周邊；收集測(cè)試主圖形的在線(xiàn)線(xiàn)寬量測(cè)數(shù)據(jù)及所述多組輔助圖形成像數(shù)據(jù)；建立測(cè)試主圖形版圖與線(xiàn)寬量測(cè)數(shù)據(jù)之間的對(duì)應(yīng)文件，增加多組輔助圖形的成像圖形信息與信號(hào)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)之間的對(duì)應(yīng)點(diǎn)；進(jìn)行模型擬合運(yùn)算，使模型的線(xiàn)寬值與量測(cè)的線(xiàn)寬值殘余誤差達(dá)到統(tǒng)計(jì)最小，同時(shí)在模型擬合運(yùn)算過(guò)程中增加監(jiān)控多組輔助圖形的成像圖形信號(hào)；輸出模型進(jìn)行OPC圖形修正。

技術(shù)研發(fā)人員：盧意飛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海集成電路研發(fā)中心有限公司
文檔號(hào)碼：201611270729
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.30
技術(shù)公布日：2017.05.31