1.一種控制OPC輔助圖形信號(hào)誤報(bào)率的建模方法，其特征在于，包括如下步驟：
步驟S1：設(shè)計(jì)測(cè)試主圖形；所述測(cè)試主圖形通常包含一維和二維的標(biāo)準(zhǔn)圖形，并設(shè)計(jì)多組輔助圖形添加在標(biāo)準(zhǔn)一維和二維圖形周邊；
步驟S2：收集所述測(cè)試主圖形的在線線寬量測(cè)數(shù)據(jù)及所述多組輔助圖形成像數(shù)據(jù)；
步驟S3：建立所述測(cè)試主圖形版圖與線寬量測(cè)數(shù)據(jù)之間的對(duì)應(yīng)文件，增加所述多組輔助圖形的成像圖形信息與信號(hào)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)之間的對(duì)應(yīng)點(diǎn)；
步驟S4：進(jìn)行模型擬合運(yùn)算，使所述模型的線寬值與量測(cè)的線寬值殘余誤差達(dá)到統(tǒng)計(jì)最小，同時(shí)在模型擬合運(yùn)算過程中增加監(jiān)控增加所述多組輔助圖形的成像圖形信號(hào)；
步驟S5：輸出所述模型進(jìn)行OPC圖形修正。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述控制OPC輔助圖形信號(hào)誤報(bào)率的建模方法，其特征在于，所述多組輔助圖形的成像圖形信息的數(shù)量為2～5組。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述控制OPC輔助圖形信號(hào)誤報(bào)率的建模方法，其特征在于，在步驟S4中，具體包括：
在模型擬合運(yùn)算中直接加入所述輔助圖形的成像信號(hào)進(jìn)行運(yùn)算，使所述模型的線寬值與量測(cè)的線寬值殘余誤差達(dá)到統(tǒng)計(jì)最?。划?dāng)所述輔助圖形的成像圖形信息強(qiáng)度與實(shí)際工藝相符時(shí)，忽略輔助圖形信號(hào)。