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一種數(shù)字微鏡器件的傾斜掃描時的工作方法與流程

文檔序號:12459119閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種數(shù)字微鏡器件傾斜掃描時的工作方法,其特征在于:所述的數(shù)字微鏡器件在對感光材料件進(jìn)行掃描曝光時,其掃描方向與數(shù)字微鏡器件上微鏡陣列的行方向或列方向成一定夾角;這個夾角會使數(shù)字微鏡器件的微鏡單元在感光材料件上的掃描軌跡更加密集。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種數(shù)字微鏡器件傾斜掃描時的工作方法,其特征在于,所述的數(shù)字微鏡器件的掃描方向與數(shù)字微鏡器件上微鏡陣列的行方向或列方向所成的夾角范圍為:7.1150°~ 7.1350°。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種數(shù)字微鏡器件傾斜掃描時的工作方法,其特征在于,所述的數(shù)字微鏡器件的掃描方向與數(shù)字微鏡器件上微鏡陣列的行方向或列方向所成的夾角范圍為:6.3302°~ 6.3502°。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種數(shù)字微鏡器件傾斜掃描時的工作方法,其特征在于,所述的數(shù)字微鏡器件的掃描方向與數(shù)字微鏡器件上微鏡陣列的行方向或列方向所成的夾角范圍為:5.7006°~ 5.7206°。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種數(shù)字微鏡器件傾斜掃描時的工作方法,其特征在于,所述的數(shù)字微鏡器件的掃描方向與數(shù)字微鏡器件上微鏡陣列的行方向或列方向所成的夾角范圍為:5.1844°~ 5.2044°。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種數(shù)字微鏡器件傾斜掃描時的工作方法,其特征在于,所述的數(shù)字微鏡器件的掃描方向與數(shù)字微鏡器件上微鏡陣列的行方向或列方向所成的夾角范圍為:4.7536°~ 4.7736°。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種數(shù)字微鏡器件傾斜掃描時的工作方法,其特征在于,所述的數(shù)字微鏡器件的掃描方向與數(shù)字微鏡器件上微鏡陣列的行方向或列方向所成的夾角范圍為:4.3887°~ 4.4087°。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種數(shù)字微鏡器件傾斜掃描時的工作方法,其特征在于,所述的數(shù)字微鏡器件的掃描方向與數(shù)字微鏡器件上微鏡陣列的行方向或列方向所成的夾角范圍為:4.0756°~ 4.0956°。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種數(shù)字微鏡器件傾斜掃描時的工作方法,其特征在于,所述的數(shù)字微鏡器件的掃描方向與數(shù)字微鏡器件上微鏡陣列的行方向或列方向所成的夾角范圍為:3.8041°~ 3.8241°。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種數(shù)字微鏡器件傾斜掃描時的工作方法,其特征在于,所述的數(shù)字微鏡器件的掃描方向與數(shù)字微鏡器件上微鏡陣列的行方向或列方向所成的夾角范圍為:3.5663°~ 3.5863°。

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