技術(shù)編號(hào)：12459119
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及激光直寫技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種數(shù)字微鏡器件傾斜掃描時(shí)的工作方法。背景技術(shù)現(xiàn)有的激光直寫設(shè)備中，經(jīng)常使用到數(shù)字微鏡器件(DigitalMicromirrorDevices，簡(jiǎn)稱DMD)，DMD是用數(shù)字電壓信號(hào)控制微鏡片執(zhí)行機(jī)械運(yùn)動(dòng)來實(shí)現(xiàn)光學(xué)功能的裝置.。目前的硅微加工技術(shù)已經(jīng)能夠加工出符合工藝要求的高質(zhì)量DMD芯片，在一個(gè)硅片上可一次制造成型幾十萬或上百萬個(gè)微反射鏡，這些微反射鏡一般呈矩形整列布置在DMD上?，F(xiàn)有技術(shù)中，DMD的使用方法是這樣的，DMD一般安裝在一個(gè)掃描軸上，DMD沿著掃...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。