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一種擋板及包含該擋板的真空干燥機的制作方法

文檔序號:12458452閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種擋板,其特征在于,包括第一板面和第二板面,所述第一板面與所述第二板面相對平行設置,所述擋板的中心區(qū)域設置有穿過所述第一板面和所述第二板面的孔洞。

2.根據(jù)權利要求1所述的擋板,其特征在于,所述孔洞的截面呈“X”型。

3.根據(jù)權利要求2所述的擋板,其特征在于,沿所述第一板面的法線方向觀測,所述擋板呈正四邊形,所述孔洞的兩條對角線分別沿所述擋板的兩條對角線方向設置。

4.根據(jù)權利要求3所述的擋板,其特征在于,所述孔洞的對稱軸與所述擋板的對稱軸重合。

5.根據(jù)權利要求1至4任一項所述的擋板,其特征在于,所述孔洞的周面與所述第一板面垂直。

6.根據(jù)權利要求1至4任一項所述的擋板,其特征在于,從第二板面至第一板面,所述孔洞的周面的橫截面沿所述第一板面的法線方向逐漸縮小。

7.根據(jù)權利要求6所述的擋板,其特征在于,所述孔洞的周面與所述第一板面的夾角呈30度。

8.根據(jù)權利要求6所述的擋板,其特征在于,從第二板面至第一板面,所述擋板的外周面的橫截面沿所述第一板面的法線方向逐漸增大。

9.根據(jù)權利要求7或8所述的擋板,其特征在于,所述擋板的外周面與所述第一板面的夾角呈30度。

10.一種真空干燥機,包括基臺、氣室和排氣管道,還包括權利要求1至6中任一項所述的擋板,其中,待干燥的陣列基板設置在所述基臺上,陣列基板的待干燥面朝向所述排氣管道,所述擋板設置在陣列基板的正上方,且所述擋板的第二板面與陣列基板的待干燥面相對設置,所述擋板的第一板面朝向所述排氣管道。

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