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納米壓印設(shè)備的制作方法

文檔序號:12175177閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.納米壓印設(shè)備,其特征在于,包括壓印殼體和工作臺,工作臺位于所述壓印殼體的下方,所述壓印殼體中部設(shè)有空腔,底部邊緣設(shè)有回轉(zhuǎn)夾緊氣缸,側(cè)面設(shè)有進(jìn)氣管道和出氣管道,壓印殼體的頂部安裝有觀察窗口,所述觀察窗口的下端設(shè)有可移動(dòng)的UV LED面燈,所述壓印殼體的內(nèi)腔中的中部設(shè)有密封玻璃,用以隔絕UV LED面燈和觀察窗口,形成對壓印殼體中部空腔的上端密封。所述工作臺包括伺服升降臺、工作盤、支撐盤和加熱盤,所述加熱盤固定在所述工作盤的下端,底面固定在伺服升降臺上,支撐盤套接在加熱盤的外緣。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印設(shè)備,其特征在于:所述工作盤上表面設(shè)有若干均勻排布的真空槽,用以采用氣壓差的形式進(jìn)行固定工作盤上需要夾持操作的工件,其底部通過PU管道連接有真空泵。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印設(shè)備,其特征在于:所述加熱盤上設(shè)有用溫度監(jiān)測器,用以監(jiān)測工作臺的溫度。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的納米壓印設(shè)備,其特征在于:所述真空槽的間隙處設(shè)有若干規(guī)則排布的定位銷,定位銷底部對應(yīng)設(shè)有若干并聯(lián)的氣缸,所述定位銷為氣缸的伸縮桿。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印設(shè)備,其特征在于:所述進(jìn)氣管道上連接有氣源泵,其上設(shè)有壓力調(diào)節(jié)器,所述出氣管道的尾端設(shè)有壓力傳感器。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印設(shè)備,其特征在于:所述回轉(zhuǎn)夾緊氣缸用以在壓印殼體的空腔底部夾緊模板,使得模板與空腔之間形成密閉的壓力腔,并進(jìn)一步通過壓印殼體上的進(jìn)氣管道和出氣管道來控制該壓力腔的壓力。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或4或5或6所述的納米壓印設(shè)備,其特征在于:還包括控制器,所述控制器有線或無線連接有HMI,所述控制器與所述壓印殼體和工作臺相連,用以控制壓印殼體中的回轉(zhuǎn)夾緊氣缸、UV LED面燈、氣源泵,以及控制工作臺與所述壓印殼體之間協(xié)調(diào)運(yùn)行。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印設(shè)備,其特征在于:所述回轉(zhuǎn)夾緊氣缸的回轉(zhuǎn)夾緊端與欲夾緊的板材之間設(shè)有密封圈,所述密封圈為矩形硅膠面,其中部開設(shè)有通孔,工作臺利用密封圈上的通孔實(shí)現(xiàn)與模板的直接接觸。

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