1.一種基于多小孔缺陷直接耦合微腔的高性能光子晶體傳感器結(jié)構(gòu)的實(shí)現(xiàn)方法，其特征在于：該光子晶體傳感器是基于空氣孔三角晶格二維光子晶體結(jié)構(gòu)，即空氣孔硅介質(zhì)背景結(jié)構(gòu)，其中硅的折射率為3.48；在光子晶體中引入一個(gè)多小孔結(jié)構(gòu)的缺陷微腔并與W1波導(dǎo)直接耦合構(gòu)成光子晶體傳感器。
2.根據(jù)權(quán)利1所述的實(shí)現(xiàn)方法，其特征在于光子晶體微腔的具體設(shè)計(jì)方法，即：將光子晶體中間一行兩側(cè)的空氣孔移除只剩中間的七個(gè)，兩側(cè)形成W1波導(dǎo)，在最中心的空氣孔與其周圍六個(gè)空氣孔構(gòu)成的六個(gè)等邊三角形中心的位置分別放置一個(gè)小空氣孔，其半徑遠(yuǎn)小于晶格常數(shù)，最后將最中心的空氣孔移除，形成多小孔缺陷腔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光子晶體傳感器，其特征在于：所述光子晶體結(jié)構(gòu)包含的空氣柱陣列大小為11×23，結(jié)構(gòu)尺寸僅為5μm×10.5μm，該傳感器結(jié)構(gòu)尺寸小，利于集成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光子晶體傳感器，其特征在于：改變六個(gè)小孔的半徑，可調(diào)節(jié)多小孔缺陷腔的品質(zhì)因數(shù)Q。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光子晶體傳感器，其特征在于：改變中間兩側(cè)的第二個(gè)空氣孔向左右兩邊移動距離L，可調(diào)節(jié)多小孔缺陷腔的品質(zhì)因數(shù)Q。
6.如權(quán)利要求1所述的一種光子晶體傳感器的傳感方法，其特征在于：通過在缺陷腔中引入多個(gè)小孔，增加缺陷腔區(qū)域的表面積，進(jìn)而增加缺陷腔的品質(zhì)因數(shù)Q和靈敏度S，達(dá)到增加傳感器性能FOM的目的。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種光子晶體傳感器的傳感方法，其特征在于：采用所述的光子晶體傳感器進(jìn)行傳感時(shí)，傳感器多小孔缺陷腔的品質(zhì)因數(shù)Q最高可達(dá)71881，靈敏度可達(dá)236nm/RIU，性能參數(shù)FOM高達(dá)11238。