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一種基于多小孔缺陷直接耦合微腔的高性能光子晶體傳感器結構的制作方法與工藝技術資料下載

技術編號:12457781

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本發(fā)明涉及一種基于多小孔缺陷直接耦合微腔的高性能光子晶體傳感器結構。背景技術近年來,基于光子晶體器件如光子晶體波導(文獻1:A.GoyalandS.Pal,“Designandsimulationofhighsensitivephotoniccrystalwaveguidesensor,”O(jiān)ptik,vol.126,pp.240–243,Jan.2015)、光子晶體微腔(文獻2:P.Zhang,H.Tian,D.Yang,Q.Liu,J.Zhou,L.Huang,Y.Ji,“Radiusvert...
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