技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了基于激光全息石墨烯金屬復(fù)合表面拉曼增強(qiáng)基底加工方法，在光柵基片上生長(zhǎng)石墨烯膜層然后在石墨烯膜層上涂布光刻膠；利用了光線干涉條紋周期性分布并且條紋形狀的可控特征，采用正交全息干涉光刻方案制作表面拉曼增強(qiáng)基底，在光刻膠薄膜上記錄正交的干涉條紋，通過實(shí)時(shí)顯影，形成表面浮雕型的光刻膠光柵；然后再用離子束刻蝕的方法將光柵結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到石墨烯上；最后在光刻膠光柵上用鍍膜設(shè)備鍍表面增強(qiáng)拉曼散射金屬活性層，對(duì)光刻膠剝離從而得到石墨烯金屬符合結(jié)構(gòu)表面拉曼增強(qiáng)基底。解決了石墨烯金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)表面拉曼增強(qiáng)基底難以加工制作的難題。

技術(shù)研發(fā)人員：鄒文龍;鄒穎
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州六三二八光電科技有限公司
文檔號(hào)碼：201610846211
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.23
技術(shù)公布日：2017.01.11