技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種蛾眼微結(jié)構(gòu)基板的制備方法，包括如下步驟：步驟一、在基板上涂布一層高分子聚合物溶液，揮發(fā)后形成一層聚合物薄膜；在聚合物薄膜上方設(shè)置掩膜板，通過紫外光進(jìn)行一次曝光，并用有機(jī)溶劑清洗，在基板上形成一層固化聚合物層；在固化聚合物層上再次涂布一層高分子聚合物溶液，揮發(fā)后在固化聚合物層上再形成一層聚合物薄膜；在聚合物薄膜上方設(shè)置掩膜板，通過紫外光進(jìn)行再次曝光，并用有機(jī)溶劑清洗，在固化聚合物層上形成若干柱狀的凸起結(jié)構(gòu)；重復(fù)上述步驟三、步驟四N次，最后凸起結(jié)構(gòu)層疊成具有凸起的微納米錐體結(jié)構(gòu)的抗反射膜層；步驟六、退火處理，最終得到蛾眼微結(jié)構(gòu)基板。與現(xiàn)有技術(shù)相比，降低了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：楊勇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢華星光電技術(shù)有限公司
文檔號碼：201610829304
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.18
技術(shù)公布日：2016.12.07