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用于銅膜的光刻膠組合物的制作方法

文檔序號(hào):12120973閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種用于銅膜的光刻膠組合物,其包含:

酚醛清漆樹脂5重量%至30重量%;

二疊氮類感光性化合物2重量%至10重量%;

由以下化學(xué)式1表示的噻二唑類化合物0.005重量%至0.8重量%;以及余量有機(jī)溶劑,

[化學(xué)式1]

在上述化學(xué)式1中,R1和R2分別獨(dú)立地表示氫、具有1至20個(gè)碳原子的烷基、氨基或巰基,此時(shí)上述R1和R2中的一個(gè)是巰基。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于銅膜的光刻膠組合物,其中,

上述噻二唑類化合物的含量以光刻膠組合物的總重量計(jì)為0.01重量%至0.55重量%。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于銅膜的光刻膠組合物,其中,

在上述化學(xué)式1中,R1為具有1至4個(gè)碳原子的烷基或氨基,R2為巰基。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于銅膜的光刻膠組合物,其中,

上述酚醛清漆樹脂是將間甲酚與對(duì)甲酚進(jìn)行反應(yīng)而得到的樹脂。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于銅膜的光刻膠組合物,其中,

上述二疊氮類感光性化合物包含2,3,4-三羥基二苯甲酮-1,2-二疊氮基萘醌-5-磺酸酯、2,3,4,4’-四羥基二苯甲酮-1,2-二疊氮基萘醌-5-磺酸酯或它們的混合物。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于銅膜的光刻膠組合物,其中,

上述有機(jī)溶劑包含選自丙二醇甲醚乙酸酯、乳酸乙酯、2-甲氧基乙酸乙酯、丙二醇單甲醚、甲基乙基酮、甲基異丁基酮及1-甲基-2-吡咯烷酮中的一種以上溶劑。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于銅膜的光刻膠組合物,其用于形成液晶顯示元件、發(fā)光二極管元件或等離子顯示面板的銅膜基板。

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