技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種用于ICF的掠入射KBA顯微鏡系統(tǒng)，包括He?Ne激光器、組合鏡、主鏡、靶球和靶室，主鏡安裝在靶室內(nèi)，組合鏡包括兩個(gè)聚光鏡、兩個(gè)反射鏡、分光鏡、和對(duì)準(zhǔn)物鏡，兩個(gè)聚光鏡設(shè)置在光纖和靶球，其中一個(gè)反射鏡靠近一個(gè)聚光鏡設(shè)置，分光鏡設(shè)置在反射鏡的下方，He?Ne激光器設(shè)置在分光鏡的前側(cè)，反射鏡設(shè)置在分光鏡的下方，對(duì)準(zhǔn)物鏡設(shè)置在靶球的后側(cè)，對(duì)準(zhǔn)物鏡的兩側(cè)分別設(shè)置有保護(hù)玻璃。本發(fā)明采用四塊互相垂直的球面反射鏡，可以減少彗差，減少視場(chǎng)傾斜，加工成本低、裝調(diào)簡(jiǎn)單、實(shí)驗(yàn)時(shí)間短、不引入額外誤差。

技術(shù)研發(fā)人員：趙玲玲;孫德林;胡家升;王麗麗;王剛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：魯東大學(xué)
文檔號(hào)碼：201610739903
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.26
技術(shù)公布日：2017.01.04