技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及抗蝕劑剝離液組合物使用其的抗蝕劑剝離方法，更詳細(xì)地說(shuō)，涉及如下的抗蝕劑剝離液組合物，該抗蝕劑剝離液組合物通過(guò)包含乙醇胺、化學(xué)式1所表示的酰胺和在苯環(huán)具有兩個(gè)以上取代基的苯并三唑系防腐蝕劑，從而顯示出優(yōu)異的剝離能力，與此同時(shí)，能夠使對(duì)下部金屬配線、絕緣膜的腐蝕最小化，并且經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性優(yōu)異，能夠從根本上抑制自身反應(yīng)導(dǎo)致的抗蝕劑剝離能力下降、副產(chǎn)物生成等問(wèn)題。

技術(shù)研發(fā)人員：崔漢永;高京俊;李喻珍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東友精細(xì)化工有限公司
文檔號(hào)碼：201610669090
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.15
技術(shù)公布日：2017.03.01