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抗蝕劑剝離液組合物及使用其的抗蝕劑剝離方法與流程

文檔序號:12156604閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種抗蝕劑剝離液組合物,其包含乙醇胺、下述化學(xué)式1所表示的酰胺和在苯環(huán)具有兩個以上取代基的苯并三唑系防腐蝕劑:

化學(xué)式1

式中,R1和R2各自獨立地為甲基或乙基。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕劑剝離液組合物,其中,所述化學(xué)式1所表示的酰胺是選自由下述化學(xué)式2~4組成的組中的一種以上的化合物:

化學(xué)式2

化學(xué)式3

化學(xué)式4

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕劑剝離液組合物,其中,所述防腐蝕劑為下述化學(xué)式5所表示的化合物:

化學(xué)式5

式中,R1和R2各自獨立地為鹵素原子、甲基、-NH2、-NHCOR3、-OH、-OR4、-COOR5、-CONHR6,R3~R6各自獨立地為碳原子數(shù)1~12的烷基。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕劑剝離液組合物,其中,所述防腐蝕劑為選自由下述化學(xué)式6~10所表示的化合物組成的組中的一種以上:

化學(xué)式6

化學(xué)式7

化學(xué)式8

化學(xué)式9

化學(xué)式10

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕劑剝離液組合物,其進一步包含二元醇系溶劑。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的抗蝕劑剝離液組合物,其包含乙醇胺0.1~10重量%、在苯環(huán)具有兩個以上取代基的苯并三唑系防腐蝕劑0.01~5重量%、以及化學(xué)式1所表示的酰胺和二元醇系溶劑合計85~99重量%。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的抗蝕劑剝離液組合物,其包含乙醇胺0.1~10重量%、在苯環(huán)具有兩個以上取代基的苯并三唑系防腐蝕劑0.01~5重量%、化學(xué)式1所表示的酰胺15~60重量%和二元醇系溶劑25~75重量%。

8.根據(jù)權(quán)利要求1~7中任一項所述的抗蝕劑剝離液組合物,其用于剝離形成有金屬配線的基板的抗蝕劑,所述金屬配線包含選自由鋁、銅和鉬組成的組中的金屬。

9.一種抗蝕劑的剝離方法,其中,用權(quán)利要求1~7中任一項所述的剝離液組合物對蒸鍍有導(dǎo)電性金屬膜的基板的蝕刻工序后殘留的抗蝕劑進行剝離。

10.一種圖像顯示裝置的制造方法,其包括權(quán)利要求9所述的抗蝕劑剝離步驟。

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