本發(fā)明涉及一種用于使壓制板或連續(xù)帶形成表面結(jié)構(gòu)的方法，其中，通過涂敷掩膜用以借助于一裝置實(shí)現(xiàn)局部鈍化作用來預(yù)先給定一種表面結(jié)構(gòu)，并通過接著的化學(xué)表面加工來進(jìn)行制造，本發(fā)明還涉及一種應(yīng)用該方法的裝置。

壓制板和連續(xù)帶按照現(xiàn)有技術(shù)這樣制造，即，使預(yù)處理的板借助于絲網(wǎng)印刷方法或感光層和緊接著的蝕刻得到一表面結(jié)構(gòu)，將絲網(wǎng)印刷施加到大尺寸的板上并緊接著使板經(jīng)受表面蝕刻。形成凸出的表面結(jié)構(gòu)的全部區(qū)域同時(shí)由一掩膜覆蓋，從而表面結(jié)構(gòu)只在可以直接由腐蝕液侵蝕的區(qū)域內(nèi)實(shí)現(xiàn)。然后各蝕刻的區(qū)域便構(gòu)成所要求的結(jié)構(gòu)的外形凹槽。在完成蝕刻以后凈化表面和特別是去掉掩膜，以便通過其他的工作過程能使表面經(jīng)受另一調(diào)質(zhì)過程或滲鉻硬化。

或者，選擇這樣的可能方案，即，采用影印方法，其中，首先涂覆一感光層。緊接著必須將其按照設(shè)置的掩膜曝光，以便制造表面結(jié)構(gòu)。此后需要使感光層顯影并在其中間必須實(shí)現(xiàn)廣泛的沖洗過程，以便表面可以為接著的工作步驟作準(zhǔn)備并給予凈化。在感光層顯影以后由此形成一掩膜，其可以用作為蝕刻樣板。因此在該方法中首先涂敷一個(gè)全面的層，然后將其曝光，在其上接著消除未粘結(jié)的部分并然后才可以將顯影的掩膜用于一種結(jié)構(gòu)的蝕刻。按該方式制成的掩膜的可重復(fù)性是很困難的和成問題的，因?yàn)樵谶@種情況下用于感光層曝光的底片或正片總是必須精確地定位在相對(duì)于感光層的同一位置，如果欲 接連多于一個(gè)曝光過程和蝕刻過程的話，以便由此將復(fù)雜的三維結(jié)構(gòu)沉積到壓制板的表面上。例如，如果將用于感光層曝光的底片或正片直接敷設(shè)在其上和底片或正片不在感光層的任何點(diǎn)精確地具有到其相同的間距，則這就不再產(chǎn)生。掩膜涂覆的可重復(fù)性因此特別在影印方法中對(duì)于達(dá)到高的成像精度具有特別的重要性。在這種情況下如果欲通過多個(gè)接連進(jìn)行的曝光和蝕刻過程達(dá)到一種三維結(jié)構(gòu)，則可能增加困難性并且為此必須依次涂敷多個(gè)掩膜，同時(shí)在每一次掩膜涂敷之間實(shí)施一蝕刻過程。由于精確的定位和需要的相應(yīng)的掩膜的數(shù)目因此壓制板或連續(xù)帶的制造耗費(fèi)是很大的和成本高的。待涂敷掩膜的分辨率在這種情況下很強(qiáng)烈地取決于應(yīng)用的方法并且還需要大量的工作步驟，其特別由于壓制板或連續(xù)帶的尺寸需要復(fù)雜的操作。

此外由現(xiàn)有技術(shù)已知，代替絲網(wǎng)印刷方法，通過涂蠟來制造一掩膜，其在化學(xué)上抗采用的腐蝕劑并從而能夠在未由蠟覆蓋的表面的區(qū)域內(nèi)進(jìn)行蝕刻。在該方法中，使得將蠟噴涂到表面上的印刷頭沿X軸和Y軸移動(dòng)，以便通過一系列的各個(gè)工作過程涂敷要求的結(jié)構(gòu)。在該方法中因此將掩膜直接和不繞道地經(jīng)由曝光、顯影和未顯影的層部分的去除涂覆到壓制板上。原則上采用的印刷頭可以類似如在噴墨印刷(打印)機(jī)中的設(shè)計(jì)。只是代替墨水噴射蠟，其在壓制板或連續(xù)帶的表面上硬化并且然后可以實(shí)施需要的蝕刻。雖然在該現(xiàn)有技術(shù)的方法中可以達(dá)到很大的改進(jìn)，但其在實(shí)踐中已表明，蠟層的去除是很成問題的，因?yàn)椴豢捎没瘜W(xué)處理去除蠟并因此板在蝕刻過程以后的凈化是極困難的并且例如只能用高壓凈化器實(shí)現(xiàn)。在這樣的加工中也需要高的時(shí)間耗費(fèi)并且如果欲接連涂敷多個(gè)蠟層，同時(shí)在每一掩膜涂敷之間實(shí)施蝕刻過程，以便例如達(dá)到一種深紋結(jié)構(gòu)，則不可能達(dá)到顯著的優(yōu)點(diǎn)。由于蠟的特性為掩膜的精度和結(jié)構(gòu)的細(xì)度規(guī)定一極限，從而不可能分辨出特別精細(xì)的結(jié)構(gòu)。由通過潤(rùn)濕的純物理的粘附預(yù)先給定該極限。因?yàn)樵跓岬暮鸵簯B(tài)的蠟向冷的壓制板上噴射的過程中蠟過快地凝固并形成不完全的潤(rùn)濕的結(jié)構(gòu)如“冷焊點(diǎn)”。即使壓制板加熱也不能導(dǎo)致成功，因?yàn)樵谶@種情況下液態(tài)的蠟流散并減小可達(dá)到的分辨率。

由該現(xiàn)有技術(shù)出發(fā)，本發(fā)明的目的在于，提出一種方法和裝置，借其避免已知的現(xiàn)有技術(shù)中的缺點(diǎn)并且明顯改善所得到的掩膜的可重復(fù)性和分辨率。

按照本發(fā)明為達(dá)到該方法目的，對(duì)于掩膜，規(guī)定使用一種至少部分地硬化的UV(紫外線)漆，其中用裝置涂敷UV漆并且直接在涂敷之后、優(yōu)選在直到60秒的時(shí)間間隔內(nèi)至少部分地用UV光照射，以便硬化，其中，為了加工，將壓制板或連續(xù)帶支承在一個(gè)具有平坦表面的工作臺(tái)上。由諸從屬權(quán)利要求得出本發(fā)明的其他的有利的實(shí)施形式。

通過使用UV硬化的漆和為涂敷而設(shè)置的適用裝置，可以將所要求的掩膜優(yōu)選在必要時(shí)也以多個(gè)印刷和蝕刻過程中直接涂敷到壓制板或連續(xù)帶上并且有可能通過一UV光源達(dá)到UV漆的至少部分地硬化，從而確保在金屬表面上的特別好的粘附。此外在壓制板或連續(xù)帶的傳送過程中確保在漆與金屬表面之間的連接具有高的粘附性，從而在緊接的蝕刻過程中避免下面蝕刻并從而避免相對(duì)設(shè)定的表面結(jié)構(gòu)的偏差。借助于印刷頭，硬化的漆可以顯著更精確地和首先更精密地涂敷在表面上，并且直接在UV穩(wěn)定的漆涂敷以后已可以實(shí)施部分硬化，從而防止抹掉掩膜。部分地硬化英語稱為“凍結(jié)”，由此導(dǎo)出“被凍結(jié)”的說法。為了涂敷掩膜，將壓制板例如支承在一個(gè)具有平坦表面的工作臺(tái)上。

另一特別的優(yōu)點(diǎn)在于，例如通過絲網(wǎng)印刷方法，能夠?qū)嵤┍绕湓诓捎孟灮騻鹘y(tǒng)掩膜時(shí)明顯更深的蝕刻。因此可以制造一種顯著改善的壓制板或連接帶的表面結(jié)構(gòu)，其必要時(shí)也包括一種三維的深紋結(jié)構(gòu)。以此制成的壓制板或連續(xù)帶還使壓制板的買主能夠壓印更精確的表面結(jié)構(gòu)，其還由于掩膜的當(dāng)前的數(shù)字化與采用的裝飾紙是完全相同的，從而可以達(dá)到這樣的表面質(zhì)量，其能夠形成與裝飾紙相合的壓印出的圖案。此外，通過多個(gè)印刷和蝕刻過程有可能達(dá)到一種三維的深紋結(jié)構(gòu)，其很接近自然的表面，如其例如由木質(zhì)結(jié)構(gòu)所給定的那樣。

此外本發(fā)明的方法的特點(diǎn)是，將兩種至今認(rèn)為是不相容的技術(shù)相 互結(jié)合起來。在涂蠟技術(shù)中將掩膜直接和徑直地涂敷到壓制板上，在那里則是借助于顯影的UV漆制造的絲網(wǎng)印刷掩膜，需要使待加工的材料的完全曝光，并且在掩膜涂層以后在蝕刻以前實(shí)施緊接著的曝光和UV涂層的顯影，在另一步驟中必須去掉UV漆的未顯影的部分。通過本發(fā)明的方法，將兩種工藝方法的優(yōu)點(diǎn)相互組合并且達(dá)到表面結(jié)構(gòu)的高的分辨率。

在掩膜制造的過程中，將壓制板或連續(xù)帶保持在一平面的位置，從而特別確保，噴射頭到壓制板或連續(xù)帶的表面的間距保持不變。

按照本發(fā)明，漆在通過印刷頭印上或噴上以后短時(shí)內(nèi)曝光，直到漆部分地硬化。借此為操作之目的保持使漆不柔性地流散并且到過程結(jié)束可以通過再曝光硬化。為了阻止UV漆的流散優(yōu)選采用一種具有減少了的熔劑成分的UV漆。

為了避免在表面上的周邊形成和保留各個(gè)掩膜部分的流動(dòng)性，直到制造，作以下規(guī)定，在涂敷之前預(yù)熱UV漆并在恒定的溫度下進(jìn)行涂敷。在這種情況下，漆和/或壓制板的50℃至100℃的溫控已證明是有利的。特別好的經(jīng)驗(yàn)是用65℃至75℃的溫度。

在本發(fā)明的方法的一種特別的實(shí)施形式中，將漆、優(yōu)選美國廠商“Markem”的UV漆預(yù)熱到70℃并且優(yōu)選通過相對(duì)壓力涂覆在一調(diào)溫的壓制板上。

為了制造掩膜，可以采用一印刷頭，其主要包括一具有噴嘴矩陣的噴射頭或可以通過印刷方法涂敷UV漆，其中，在涂敷掩膜以后用UV光實(shí)現(xiàn)掩膜的至少部分地照射。可以直接在涂敷以后、特別是在采用噴射頭的情況下實(shí)現(xiàn)照射，其中在達(dá)60秒的時(shí)間間隔內(nèi)UV漆被至少部分地硬化，亦即使其在表面上硬化，而不實(shí)現(xiàn)UV漆的完全的徹底硬化，從而其保留彈性并且在進(jìn)一步的處理中也具有足夠的彈性，以便在板的彎曲過程中不被剝落。因而只是將UV漆部分地硬化，其中可以通過UV照射的持續(xù)時(shí)間并從而施加的光強(qiáng)度來控制硬度。

優(yōu)選地，為了涂敷UV漆而采用一噴射頭、特別是一噴嘴頭，其中該噴嘴頭具有多個(gè)噴嘴，它們以矩陣的形式設(shè)置并且可以分別單獨(dú) 控制。噴嘴頭本身保持沿X方向或Y方向可移動(dòng)，從而經(jīng)由EDV(電子數(shù)據(jù)處理)支持的控制單元、特別是PC，類似于在繪圖機(jī)中，可以沿每一任意的方向移動(dòng)噴嘴頭。在這種情況下還要注意，以到壓制板或連續(xù)帶的表面優(yōu)選0.1-4mm、特別優(yōu)選0.8mm的微小的間距引導(dǎo)噴嘴。

在本發(fā)明的特別的實(shí)施形式中規(guī)定，將噴射頭通過一伺服電機(jī)始終保持離基體相同的間距。為此可以使噴射頭沿高度、亦即沿Z方向移動(dòng)。在這種情況下可以在一水平的或垂直的位置實(shí)現(xiàn)加工，必要時(shí)也在一傾斜的位置，其中，將壓制板或連續(xù)帶支承在一工作臺(tái)上，其具有平坦表面并且附加地通過真空吸住壓制板，從而在整個(gè)加工過程中確保壓制板具有不變的位置。在這種情況下特別應(yīng)考慮，壓制板目前可以達(dá)到3m寬和達(dá)到8m長(zhǎng)，因此掩膜的涂敷需要一定的時(shí)間范圍。

為了防止掩膜的UV漆因在一個(gè)工作過程中有過高的漆涂層而在某一位置流散，規(guī)定，在多個(gè)分開的工作過程中構(gòu)成待制造的掩膜，其中特別動(dòng)用在移過表面時(shí)大量的矩陣的單噴嘴，從而噴涂的各點(diǎn)互相補(bǔ)充組合成線條并產(chǎn)生所要求的掩膜。為此在基體上方引導(dǎo)一個(gè)二維的矩陣。該矩陣這樣動(dòng)作，即，整個(gè)矩陣多次移過一個(gè)待印刷的極小的點(diǎn)。同時(shí)通過隨機(jī)選擇的矩陣點(diǎn)印刷每一待印刷的點(diǎn)。如果一個(gè)印刷頭例如具有256個(gè)噴嘴頭，其構(gòu)成為16×16矩陣并且印刷頭兩次移動(dòng)一待印刷的點(diǎn)，即其由矩陣的不同的行涂敷，則對(duì)于印刷點(diǎn)得出32種可能性，由隨機(jī)選擇的噴嘴來印制。如果附加地隨機(jī)改變行進(jìn)給，則得出16×16等于256個(gè)可能性，而由唯一一個(gè)噴嘴印刷該點(diǎn)。如果多于一個(gè)噴嘴向一待印刷的點(diǎn)噴射墨水或UV漆，則還可以進(jìn)一步提高這個(gè)數(shù)目。通過實(shí)際印刷的噴嘴閥的這樣的隨機(jī)決定的選擇防止在壓制板上形成細(xì)的條紋和系統(tǒng)固有的印刷缺陷，其在印刷過程中可能通過不完美的機(jī)械過程和通過極小的振動(dòng)產(chǎn)生。

往拋光的壓制板表面上印刷圖案題材會(huì)產(chǎn)生特別的困難。在此，游離的UV射線在再曝光時(shí)射向印刷頭，因而使印刷頭被凝固的UV 漆損壞。為了避免該問題，給出了多種卓有成效的解決方案。

首先有可能，用化學(xué)方式使壓制板表面粗糙，從而壓制板呈現(xiàn)為無光澤的。借此更好地吸收光并且不向印刷頭游離。

另一可能性是應(yīng)用一濾光器，其只允許這樣的UV射線通過，其由壓制板基體完全吸收。

還有另一解決方案業(yè)已證明是很有成效的，其抵制印刷頭的阻塞。為此采用激光二極管或UV二極管，其只在短時(shí)內(nèi)發(fā)射一光脈沖，在那里印刷頭實(shí)施一種泵送沖擊。在該時(shí)間期間，雖然粘附在頭上的漆吸收放射，但其不被立即噴出并且不停留在閥上，在那里漆凝固并損壞頭。由于在采用的印刷頭中全部噴嘴實(shí)施正常的泵送沖擊，不存在可能發(fā)生堵塞的閥。

此外有可能采用一黑色的掩膜，其阻止UV光的反射，以及采用一燈罩，將其很緊密地在待部分硬化的基體的上方引導(dǎo)并且控制尾隨的UV燈，使UV燈和印刷頭并不是直接接近活性的，其中僅僅引導(dǎo)UV燈并使之逆對(duì)或尾隨印刷頭。

為了涂敷掩膜，在本發(fā)明的進(jìn)一步的實(shí)施形式中規(guī)定，將預(yù)處理的、例如機(jī)械清潔的或凈化的壓制板或連續(xù)帶用異丙醇、乙醇或酒精清洗，并且必要時(shí)用底層涂料例如有機(jī)的甲硅烷基化合物進(jìn)行預(yù)處理。借此達(dá)到：形成一種特別好的表面粘附，并且可以將UV噴涂直接涂敷到壓制板或連續(xù)帶上。另外可以蝕刻壓制板或連續(xù)帶的表面。將印刷頭本身在制造掩膜時(shí)沿待制造的壓制板或連續(xù)帶的縱向邊緣移動(dòng)，此時(shí)優(yōu)選涉及X軸并且除與其垂直的Y軸外來回運(yùn)動(dòng)，其中沿x軸方向的運(yùn)動(dòng)步距相當(dāng)于矩陣寬度減去或加上矩陣的相鄰噴嘴的間距除以矩陣行的數(shù)目，從而在沿Y軸移動(dòng)的過程中通過單噴嘴部分地構(gòu)成掩膜并且緊接著按照沿X軸的步距實(shí)現(xiàn)一運(yùn)動(dòng)，從而在沿X軸的大量步驟以后可以以高的分辨率實(shí)現(xiàn)掩膜的完全構(gòu)造。

緊接在掩膜制成之后，為了化學(xué)的表面加工而使用傳統(tǒng)的已知的蝕刻技術(shù)，并且，在蝕刻過程結(jié)束以后可以通過凈化劑和中和劑的沖洗來處理表面，同時(shí)可以無困難地去掉涂敷的掩膜。為了去掉處于結(jié) 構(gòu)凹槽中的UV漆而附加采用一超聲振動(dòng)器，其通過空化作用從結(jié)構(gòu)凹槽中解離漆殘留物。

為了進(jìn)行再處理，壓制板或連續(xù)帶設(shè)有一涂層，其中為了再處理將壓制板或連續(xù)帶全面地鍍鉻，優(yōu)選硬鍍鉻，或用金剛石狀的碳或硼化鈦涂層。

按照本發(fā)明，提出了一種裝置用以實(shí)施該方法，其包括一支承裝置用于待加工的材料、一噴射頭和一滑塊導(dǎo)軌用于噴射頭在一個(gè)由X坐標(biāo)和Y坐標(biāo)展開的平面內(nèi)向一任意位置運(yùn)動(dòng)以及包括各獨(dú)立的用以移到位置的驅(qū)動(dòng)元件和一控制單元?？刂茊卧谶@里用于借助于驅(qū)動(dòng)元件將噴射頭移到確定的位置，其通過待制造的掩膜的數(shù)字化成像預(yù)先給定。在此優(yōu)選設(shè)置一滑塊導(dǎo)軌，其確保用于相應(yīng)位置的高的啟動(dòng)精度并同時(shí)確保：噴射頭不僅沿X方向而且沿Y方向的移動(dòng)是可能的。為了保持到表面或到待加工的材料的間距，將滑塊導(dǎo)軌在考慮設(shè)定的最大值的情況下這樣設(shè)計(jì)，即，排除由于噴射頭的自重引起的撓曲。為了抵消因溫度變化、滑塊移動(dòng)的最小的撓曲和壓制板或連續(xù)帶的偏斜引起的微小的間距變化，規(guī)定，將印刷頭借助于一找平裝置通過沿Z方向的移動(dòng)保持在到壓制板的表面的一個(gè)恒定的間距上，以便由此得到恒定的印刷質(zhì)量。借此特別是確保：保持噴射頭到待加工的材料的表面的不變的間距。為了使待加工的材料在涂敷過程不可能滑動(dòng)并且保持在精確的位置，附加地通過真空吸住待加工的材料。

噴嘴頭本身以矩陣形式裝備大量噴嘴，它們可分別單獨(dú)控制并且以到待加工的材料微小的間距、優(yōu)選0.1-4mm、特別優(yōu)選0.8mm進(jìn)行引導(dǎo)。按照設(shè)定的方法通過多個(gè)分開的工作過程構(gòu)成掩膜，其中將噴嘴頭沿X軸逐步地移動(dòng)并在每一移動(dòng)步以后，在沿X軸實(shí)施另一運(yùn)動(dòng)之前首先實(shí)現(xiàn)噴嘴頭的沿Y軸方向的移動(dòng)。為此將噴嘴頭的各噴嘴并排地沿X方向和Y方向設(shè)置，其中，各噴嘴按功能由分別至少兩個(gè)噴嘴組成多個(gè)組，并且使各噴嘴和/或壓制板或連續(xù)帶在加工以后可沿X軸方向移到一個(gè)新的位置，并且，沿X軸方向的運(yùn)動(dòng)步距相當(dāng)于組寬度減去或加上該組的相鄰噴嘴的間距除以組的數(shù)目。

用于待加工的材料的支承裝置在這種情況下保持在接近水平或垂直的位置，其中，必要時(shí)按照設(shè)定的使用目的也可以選擇一種傾斜于垂直線的位置。

為了保持支承面的平面度，支承裝置配備有各個(gè)平面的分面，其中在各分面內(nèi)存在一抽吸孔，其直接連接于真空裝置，從而每一分面同時(shí)可以作為支承面和抽吸面用于待加工的材料并且確保一種沿著待加工的工件的全表面均勻的和平面的支承。借此補(bǔ)償不符合要求的不平面度。

為使涂敷的UV漆部分地硬化，噴嘴頭還配備一UV燈，其在完成局部涂敷掩膜以后立即將完成的局部部分曝光，從而首先使UV漆部分硬化。借此達(dá)到顯著的優(yōu)點(diǎn)，即，阻止UV漆的流散并且還實(shí)現(xiàn)了耐磨性，從而在其他的工作過程中防止涂敷的掩膜被損壞。為了避免UV漆從壓制板或連續(xù)帶的表面上剝落，在這種情況下規(guī)定，不實(shí)現(xiàn)完全的硬化。

噴嘴頭還具有一屏蔽，其防止在加工過程中便已照射不完全涂敷的掩膜或掩膜結(jié)構(gòu)的各個(gè)單點(diǎn)并因而可能硬化。作為UV燈，設(shè)置一汞氣燈或一氙燈，其中必要時(shí)也可采用UV功率發(fā)光二極管(LED)，其由于其狹窄的有限的放射角故而能夠照射掩膜的精確確定的區(qū)域并，因此能夠與噴射頭一起直接跟蹤掩膜的成功完成。但也有可能在脈沖式激光器上、在激光二極管、簡(jiǎn)單的UV-LED或燈上應(yīng)用一干涉濾光器或等同作用的濾光器。

上述方法的特別優(yōu)點(diǎn)是，可以以高的精度和可重復(fù)性借助于本發(fā)明的裝置將掩膜涂敷到預(yù)處理的壓制板或連續(xù)帶上，并且通過所采用的UV漆確保壓制板或連續(xù)帶的快速凈化，以便進(jìn)一步再加工。UV漆對(duì)大多數(shù)酸來說是穩(wěn)定的，因此最好地適用于表面的鈍化作用，以便實(shí)施緊接著的蝕刻過程。在這里，借助于EDV支持的噴射頭的運(yùn)動(dòng)確保了在要求的范圍內(nèi)的精度和可重復(fù)性，其中，特別是基于一種數(shù)字化的模型(其與為壓制板的以后使用的裝飾紙的印刷圖象是完全相同的)，能夠?qū)崿F(xiàn)一種相合的壓印圖案，從而導(dǎo)致用壓制板或連續(xù)帶 處理的表面具有優(yōu)異的表面結(jié)構(gòu)。

以下借助附圖進(jìn)一步說明本發(fā)明。其中：

圖1本發(fā)明用于加工壓制板的裝置的俯視圖，和

圖2壓制板在不同的工作步驟的剖面圖。

圖1示出一種用以應(yīng)用本發(fā)明方法的裝置的俯視圖。該裝置包括一支承工作臺(tái)2，其具有由大量單個(gè)平坦表面3構(gòu)成的支承面4，在其上支承一壓制板5。在各平坦表面3中分別構(gòu)成一抽吸孔6，它們借助未示出的真空泵將壓制板5吸到平坦表面3上，從而確保在整個(gè)工作過程中壓制板5有一不變的位置。

在所示的實(shí)施例中，裝置1設(shè)置在一水平的位置，但無疑也有可能將其設(shè)置在一垂直的位置或在一傾斜于垂直線的位置，以便實(shí)施壓制板5的加工。沿壓制板5的最大的延長(zhǎng)構(gòu)成導(dǎo)軌7、8，在其上可移動(dòng)滑動(dòng)導(dǎo)軌9、10，而且是借助于驅(qū)動(dòng)電機(jī)11、12進(jìn)行，驅(qū)動(dòng)電機(jī)經(jīng)由一控制單元13、優(yōu)選是EDV支持的控制單元來控制。借助于驅(qū)動(dòng)電機(jī)11、12，使噴射頭14沿X軸和Y軸的方向逐步地移動(dòng)，同時(shí)借助于另一驅(qū)動(dòng)電機(jī)15相對(duì)Z軸實(shí)現(xiàn)其他的運(yùn)動(dòng)，用以找平噴射頭14。噴射頭14本身主要包括一噴嘴矩陣16、一用于待噴涂的漆的儲(chǔ)料容器17和至少一個(gè)發(fā)光裝置18，其按確定的時(shí)間間隔在一定的時(shí)間照射至少部分完成的掩膜并從而致使UV漆的至少部分硬化。

圖2以放大的剖面圖示出一壓制板5，包括掩膜20，其通過所描述的方法和按圖1的裝置涂敷到壓制板上。這里，由按左邊的分圖的放大圖明顯可見的是，UV穩(wěn)定的漆21被局部涂敷在壓制板5上。在實(shí)施蝕刻過程以后，其由中間的分圖示出，掩膜20仍處在壓制板5的表面上，但已部分地蝕刻出區(qū)域22，其不由掩膜覆蓋，從而形成一凹槽。在完成凈化以后，如其例如在右邊的分圖中所示，壓制板5在所示實(shí)施例中在一面帶有表面結(jié)構(gòu)23，該表面結(jié)構(gòu)在實(shí)現(xiàn)凈化和去掉掩膜以后應(yīng)符合顧客的預(yù)定要求。該表面結(jié)構(gòu)必要時(shí)可以通過其他的蝕刻過程在深度上構(gòu)造，亦即制成三維的。另外，以這種方式可以對(duì)壓制板的兩面進(jìn)行加工。

為了在制造掩膜時(shí)達(dá)到最大的分辨率，使用另一方法，以便在每一印刷過程中控制噴嘴，其中，各噴嘴按功能組成多個(gè)組。這些組包括2-4個(gè)噴嘴，但其中也可包括多倍的噴嘴，它們按照統(tǒng)一的模式來控制。在這種情況下，在任意的時(shí)刻校準(zhǔn)在第一噴嘴組與工件之間的重疊，隨后噴射頭沿工件經(jīng)由其全長(zhǎng)沿Y方向相對(duì)于工件移動(dòng)一次并同時(shí)由噴嘴噴涂UV硬化的漆。接著，將噴射頭在一稍后的時(shí)刻沿X軸方向移動(dòng)到使另一選擇的噴嘴組與工件的表面重疊，其中，步距選擇成，使其相當(dāng)于噴嘴的組寬度減去相鄰噴嘴的間距除以組的數(shù)目。借此確保在印刷頭與工件之間的第二相對(duì)運(yùn)動(dòng)的過程中不發(fā)生在由第二組產(chǎn)生的圖形與由第一組產(chǎn)生的圖形之間的重疊，而是使其以最大的分辨率補(bǔ)充。緊接其后將印刷頭重新沿X軸方向移動(dòng)組寬度減去相鄰噴嘴的間距的大小。然后經(jīng)工件的全寬沿Y軸方向重新進(jìn)行印刷頭與工件之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，由此再次以最大的分辨率將UV硬化的漆的鄰接的圖形噴涂到工件上。一旦最后的噴嘴組在結(jié)束印刷頭與工件之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)重新沿X軸方向移動(dòng)一步距，就按照第一組寬度以最大的分辨率制備完成由UV硬化漆構(gòu)成的掩膜。將更多個(gè)這樣的組寬度相互接續(xù)，從而得到欲制備的完整掩膜。

附圖標(biāo)記清單

1 裝置 10 滑動(dòng)導(dǎo)軌

2 支承工作臺(tái) 11 驅(qū)動(dòng)電機(jī)

3 平坦表面 12 驅(qū)動(dòng)電機(jī)

4 支承面 13 控制單元

5 壓制板 14 噴射頭

6 抽吸孔 15 驅(qū)動(dòng)電機(jī)

7 導(dǎo)軌 16 噴嘴矩陣

8 導(dǎo)軌 17 儲(chǔ)料容器

9 滑動(dòng)導(dǎo)軌 18 發(fā)光裝置

20 掩膜 22 區(qū)域

21 漆 23 表面結(jié)構(gòu)。