技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種曝光方法，其通過測量光罩的當前溫度值，并計算光罩的當前溫度值與預(yù)設(shè)的標準溫度值的差值，之后根據(jù)光罩形變量與光罩溫度變化的關(guān)系，利用光罩當前溫度值與預(yù)設(shè)的溫度標準值的差值計算出光罩上各點的原始坐標值的偏移量，再根據(jù)光罩上各點的原始坐標值的偏移量驅(qū)動曝光機的鏡頭對光罩因溫度變化而產(chǎn)生的形變進行補正，能夠提升曝光效果，保證產(chǎn)品質(zhì)量。

技術(shù)研發(fā)人員：胡德瑩
受保護的技術(shù)使用者：武漢華星光電技術(shù)有限公司
文檔號碼：201610541070
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.11
技術(shù)公布日：2016.12.07