技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種曝光基臺及其制備方法、曝光機(jī)，屬于光刻技術(shù)領(lǐng)域，其可解決現(xiàn)有的曝光基臺的浮雕圖案會在玻璃基板的光刻膠形成色差圖案，導(dǎo)致顯示產(chǎn)品畫面品質(zhì)差，良率低的問題。本發(fā)明的曝光基臺的本體上設(shè)有第一膜層，第一膜層上設(shè)有多個支撐部，當(dāng)對放置在支撐部上的基板進(jìn)行曝光時，第一膜層和支撐部均不會反射透過玻璃基板的多余紫外光，不會導(dǎo)致顯示產(chǎn)品形成色差圖案，提升產(chǎn)品畫質(zhì)質(zhì)量，降低不良率，節(jié)約成本。本發(fā)明的曝光機(jī)適用于曝光各種玻璃基板，尤其適用于曝光大尺寸顯示產(chǎn)品的玻璃基板。

技術(shù)研發(fā)人員：蔣盛超;孟慶勇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：京東方科技集團(tuán)股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
文檔號碼：201610465462
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.23
技術(shù)公布日：2016.11.16