技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供有關(guān)具有在第一方向上以第一間距重復(fù)的元件的周期性結(jié)構(gòu)的目標(biāo)設(shè)計(jì)及方法。所述元件沿垂直于所述第一方向的第二方向以第二間距為周期，且在所述第二方向上的特征為具有所述第二間距的交替的對焦點(diǎn)敏感及對焦點(diǎn)不敏感的圖案。在所產(chǎn)生目標(biāo)中，所述第一間距可為大約裝置間距，且所述第二間距可為數(shù)倍大。所述第一對焦點(diǎn)不敏感的圖案可經(jīng)產(chǎn)生以產(chǎn)出第一臨界尺寸，且所述第二對焦點(diǎn)敏感的圖案可經(jīng)產(chǎn)生以產(chǎn)出第二臨界尺寸，僅在滿足指定焦點(diǎn)要求時(shí)，所述第二臨界尺寸才可等于所述第一臨界尺寸，或基于沿所述垂直方向的所述較長間距提供零以及第一衍射級的散射術(shù)測量。

技術(shù)研發(fā)人員：M·埃爾科達(dá)迪;N·阿米爾;R·弗克維奇;V·萊溫斯基;Y·弗萊;D·坎戴爾;N·古特曼;S·潘戴夫;D·桑科
受保護(hù)的技術(shù)使用者：科磊股份有限公司
文檔號碼：201580018392
技術(shù)研發(fā)日：2015.03.30
技術(shù)公布日：2016.11.23