技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種光掩膜板清洗裝置，包括處理槽體、槽體上端的供氣供液裝置和槽體底部的排水排氣管，所述的槽體內(nèi)中心位置上下方向?yàn)楣庋谀ぐ遛D(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，排水排氣管均勻分部于槽體底部周邊，供氣供液裝置蓋上于槽體頂端，光掩膜板轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)位于由供氣供液裝置、槽體以及排水排氣管的中心處；在排氣排水管上部沿槽體圓周方向偶數(shù)配置第一整流葉片；第一整流葉片從處理槽頂部開(kāi)始，沿槽內(nèi)壁傾斜到底部，中間凸起的彎曲葉片狀；處理槽周?chē)膫?cè)壁從上到下不同直徑呈彎曲狀，側(cè)壁以轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的回轉(zhuǎn)軸為中心形成圓筒狀。解決在清洗過(guò)程中停止轉(zhuǎn)動(dòng)光掩膜板時(shí)，表面出現(xiàn)水珠的現(xiàn)象的問(wèn)題。

技術(shù)研發(fā)人員：王向陽(yáng)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海東朋科技有限公司
文檔號(hào)碼：201510347873
技術(shù)研發(fā)日：2015.06.23
技術(shù)公布日：2017.01.11