技術(shù)編號：12593738
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種光掩膜板清洗裝置，特別涉及到一次性洗凈且表面無霧氣及水珠的光掩膜板清洗裝置。本發(fā)明還涉及一種光掩膜板的清洗方法。背景技術(shù)光掩膜板行業(yè)通常稱之為光掩膜板，用于半導(dǎo)體以及液晶等行業(yè)生產(chǎn)工藝，作為母版曝光的時候使用，通過曝光將光掩膜板上的電路圖形投影到液晶面板或芯片上，曝光的在整個生產(chǎn)工藝中非常重要。光掩膜板上有塵粒和垃圾顆粒等嚴(yán)重影響曝光的效果，產(chǎn)品報廢率極高，因此光掩膜板在使用前及使用后必須進行清洗。光掩膜板清洗裝置100構(gòu)成見(A)，光掩膜板101放置在可旋轉(zhuǎn)支持部102上，槽體1...
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