一種具有脫泡功能的顯影裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種具有脫泡功能的顯影裝置，能有效去除顯影液中的氣泡，提高光刻膠清洗效果，從而提升芯片的生長良率。該顯影裝置包括依次設置的高壓氣源、氣體管路、儲液瓶及其出液管路；氣體管路上安裝有第一閥門，儲液瓶的出液管路上安裝有第二閥門；其特殊之處在于：儲液瓶的出液管路的出口端伸入一封閉的緩沖瓶內，經該緩沖瓶的出液管路流出顯影液對光刻膠進行涂覆；所述緩沖瓶上設置有與外部大氣聯(lián)通的氣體支管，該氣體支管上安裝有第三閥門，緩沖瓶的出液管路上安裝有第四閥門。
【專利說明】一種具有脫泡功能的顯影裝置

【技術領域】
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[0001]本實用新型涉及一種在半導體元器件制作過程中采用的顯影裝置。

【背景技術】
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[0002]曝光顯影技術是芯片領域中非常重要的環(huán)節(jié)，是當今用來制備精密器件微納米圖形最常用的手法。其基本工作原理是，首先在清洗潔凈的襯底表面均勻涂布一層光刻膠；然后利用掩膜曝光技術，通過紫外光的照射，使受到紫外光照射的光刻膠部分性狀發(fā)生改變；最后通過顯影液的清洗，將人們所需要的光刻膠圖形保留下來，完成微納米圖形的設計。
[0003]光刻膠一般分為正光刻膠和負光刻膠兩種。以正光刻膠為例，當光刻膠受到紫外光照射時，其分子結構發(fā)生變化，由油溶性變?yōu)樗苄?，當其遇到顯影液時能迅速溶解到顯影液中，而未被照射的光刻膠部分將不會溶解，從而制備出所需圖形。
[0004]傳統(tǒng)的顯影方法是，首先將顯影液盛放在密閉鋼瓶中(如圖1所示)，然后開啟閥門I向密閉鋼瓶中沖入氮氣或者壓縮空氣，使鋼瓶內的氣壓大于外界氣壓，然后控制閥門2的開啟時間，即可控制噴涂顯影液的量。然而，在實際生產過程中，經常會出現(xiàn)由顯影液中的氣泡產生的缺陷，即含有氣泡的顯影液被直接涂覆在光刻膠上，使光刻膠和顯影液發(fā)生隔離，原本受到紫外光照射，應被顯影液溶解的光刻膠，由于未能有效接觸到顯影液而保留下來，造成圖形失真，嚴重影響產品的質量。這些氣泡大多是在向鋼瓶中添加顯影液時產生的。由于鋼瓶中的氣壓超過大氣壓，且顯影液的粘性阻滯作用較大，都不利于顯影液中的氣泡的有效釋放。實際生產時，這些氣泡會直接通過管道到達光刻膠表面，產生缺陷。
實用新型內容:
[0005]本實用新型提供了一種新的顯影裝置，能有效去除顯影液中的氣泡，提高光刻膠清洗效果，從而提升芯片的生長良率。
[0006]本實用新型的技術方案如下:
[0007]—種具有脫泡功能的顯影裝置，包括依次設置的高壓氣源、氣體管路、儲液瓶及其出液管路；氣體管路上安裝有第一閥門，儲液瓶的出液管路上安裝有第二閥門；其特殊之處在于:儲液瓶的出液管路的出口端伸入一封閉的緩沖瓶內，經該緩沖瓶的出液管路流出顯影液對光刻膠進行涂覆；所述緩沖瓶上設置有與外部大氣聯(lián)通的氣體支管，該氣體支管上安裝有第三閥門，緩沖瓶的出液管路上安裝有第四閥門。
[0008]另外，本實用新型還將儲液瓶的出液管路的出口端設計為多孔噴頭形式。這樣，通過多孔噴頭的噴淋，來自儲液瓶的顯影液中存在的氣泡會破裂，從顯影液中釋放出來。
[0009]本實用新型具有以下優(yōu)點:
[0010]本實用新型采用兩級出液，設置緩沖瓶，通過緩沖瓶的大氣聯(lián)通環(huán)境使得顯影液中的氣泡得到有效釋放；而且，采用多孔噴頭作為緩沖瓶內的入液端口，噴淋過程也將顯影液中存在的氣泡進行初步釋放。最終，能夠使得顯影液無氣隙地涂覆在光刻膠上，清洗質量聞，從而提升芯片的生長良率?！緦＠綀D】

【附圖說明】:
[0011]圖1為傳統(tǒng)顯影裝置圖。
[0012]圖2為本實用新型的結構示意圖。
[0013]附圖標號說明:
[0014]1-氮氣瓶；2_儲液瓶(密閉鋼瓶);3_緩沖瓶；
[0015]11-第一閥門；12_第二閥門；13_第三閥門；14_第四閥門。

【具體實施方式】
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[0016]如圖2所示，本實用新型中，儲液瓶2的出液管路的出口端采用多孔噴頭的結構形式，該出口端伸入一封閉的緩沖瓶3內，經該緩沖瓶3的出液管路流出顯影液對光刻膠進行涂覆；所述緩沖瓶3上設置有與外部大氣聯(lián)通的氣體支管，該氣體支管上安裝有第三閥門，緩沖瓶3的出液管路上安裝有第四閥門。
[0017]采用本實用新型，可按照以下步驟操作:
[0018]一，補液:首先打開第一閥門11和第二閥門12，關閉第三閥門13和第四閥門14，在壓強差的作用下，顯影液會從儲液瓶2流入緩沖瓶中，完成補液，通常要求緩沖瓶3中顯影液的緩沖量超過緩沖瓶容積的三分之二。在這個過程中，顯影液經過多孔噴頭，對氣泡進行初步釋放。
[0019]二，靜置:打開第三閥門13，關閉第二閥門12和第四閥門14，此時，緩沖瓶3中的氣壓為大氣壓，增加顯影液中氣泡的釋放。
[0020]三，涂液:關閉第一閥門11和第二閥門12，打開第三閥門13和第四閥門14，通過控制第四閥門14的開啟時間，即可控制顯影液的涂布量。
[0021]四，補液:關閉第三閥門13和第四閥門14，此時，緩沖瓶中為大氣壓，打開第二閥門12，顯影液會由于壓強差，自動從鋼瓶流入緩沖瓶中，完成補液。
【權利要求】
1.一種具有脫泡功能的顯影裝置，包括依次設置的高壓氣源、氣體管路、儲液瓶及其出液管路；氣體管路上安裝有第一閥門，儲液瓶的出液管路上安裝有第二閥門；其特征在于:儲液瓶的出液管路的出口端伸入一封閉的緩沖瓶內，經該緩沖瓶的出液管路流出顯影液對光刻膠進行涂覆；所述緩沖瓶上設置有與外部大氣聯(lián)通的氣體支管，該氣體支管上安裝有第三閥門，緩沖瓶的出液管路上安裝有第四閥門。
2.根據權利要求1所述的具有脫泡功能的顯影裝置，其特征在于:儲液瓶的出液管路的出口^而米用多孔喂頭。
【文檔編號】G03F7/20GK204178123SQ201420617826
【公開日】2015年2月25日 申請日期:2014年10月23日 優(yōu)先權日:2014年10月23日
【發(fā)明者】商毅博 申請人:西安神光皓瑞光電科技有限公司